Вакуумная установка

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК09) аф (11) 3/О САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯЬСТВУ ОМУ СВИДЕТЕЛ ВТОР 3939192/25-202.08.8507.01,87. БюА,В,Багрянценаменский и 620.165.29(0Контроль герспектрометри2-1527-79, с(21) (22) (46) (72) П,В.З : (53) (56) масс- ОСТ 9 В 1 Б.А.Г .В.Иван 8.8) етичнос еским м 65. евковскийв и изделтодом. ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ(57) Изобретение относится к областиконтроля герметичности изделий массспектрометрическим методом и обеспечивает оценку чувствительности до испытания на герметичностьизделий, работающих в вакууме в негерметичныхоболочках, путем моделирования схемыиспытаний. Вакуумная установка содержит основную и дополнительную вумные камеры 1 и 3 с датчиками 2 и 4вакуума. На камере 3 установлены натекатель 5 и контрольная течь 6 свентилем 7. Объем камеры 3 соединенс течеискателем 8 и через дросселирующий вентиль 9 с объемом камеры 1,которая, в свою очередь, сообщена свысоковакуумным насосом 10 и форвакуумным насосом 11, снабженными течеискателем 2. Камеры 1 и 3 вакуумируют, Включают масс-спектрометрические течеискатели 8 и 12. Подают пробный газ из контрольной течи 6 в ка- .меру 3. Измеряют поток пробного газатечеискателями 8 и 12 в камерахи3. По результатам измерений согласнометодик определяют чувствительностьсистемы испытаний. 1 ил.1281946 ВНИИПИ Заказ 7256/39, Тираж /76 Подписное Произв.-полигр. пр"тие г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к контролюгерметичности изделий масс-спектрометрическим методом,Цель изобретения - обеспечениеоценки чувствительности до испытанияна герметичность изделий, работающихв вакууме в негерметичных оболочках,путем моделирования схемы испытаний.На чертеже изображена схема вакуумной установки,Вакуумная установка содержит камеру 1 с датчиком 2 вакуума, внутри которой расположена дополнительная герметичная камера 3, снабженная датчиком 4 вакуума, натекателем 5 и контрольной течью 6 с вентилем 7. Дополнительный масс-спектрометрическийтечеискатель 8 соединен с дополнительной герметичной камерой 3, которая соединена с камерой 1 через дрос-селирующий вентиль 9,Высоковакуумный насос 10 соединенс камерой 1, механический насос 11соединен с выходом высоковакуумногонасоса 10, а масс-спектрометрическийтечеискатель. 12 соединен с выходомвысоковакуумного насоса 10,Устройство работает следующим об"разом. После получения при полностью открытом дросселирующем вентиле 9 вкамере 1 и в дополнительной герметичнойокамере 3 вакуума, который создается вакуумными насосами 10 и 11 иизмеряется датчиками 2 и 4 вакуума,включаются масс-спектрометрическиетечеискатели 8 и 12 и вентилем 7 открывается подача пробного газа изконтрольной течи 6 в дополнительнуюгерметичную камеру 3. Затем натекателем 5 и дросселирующим вентилем 9в дополнительнойгерметичной, камере3 создают вакуум, равный вакууму вреальной негерметичной оболочке изделия,Масс-спектрометрическими течеискателями 8 и 12 соответственно измеряют величины потоков пробного газа от контрольной течи 6 в дополнитель,ной герметичной камере 3 и камере 1.По результатам измерений согласно методик определяют чувствительность системы испытаний. При проверках герметичности изделий особенно крупногабаритных), работающих в вакууме в негерметичныхкожухах, оценка реальной герметично"сти иэделия осложнена наличием кожуха с собственной степенью негерметичности, что вызывает необходимостьиспользовать моделирование процессаиспытаний для оценки чувствительностиметода.Размещение в вакуумной камере 1 накамере 3, имитирующей пространствомежду кожухом и изделием, контрольной течи 6 и натекателя 5 выполнение объема внутренней камеры 3 критериально подобным (критерий в -) обьюМгЦнму между кожухом и изделием, установка на магистрали между внешней и внутренней камерами 1 и 3 дросселирующего вентиля 9, обеспечивающего ре"гулирование газового потока из внутренней камеры на уровне Як ц вИ 25 критериально подобного негерметично-.сти кожуха О , а также установка навнешней камере дополнительного газоанализатора позволяют моделироватьиспытания реального объекта и оце нить чувствительность метода испытаний реального изделия, что обеспечивает исключение неоправданных затратна обработку метода испытания на реальном объекте. 35 Формула изобретения Вакуумная установка, содержащаякамеру, соединенные с ней средства ,10 откачки с вакуумными коммуникациямии запорными вентилями, датчики вакуума, контрольную течь и масс-спектро"метрический течеискатель, о т л и -ч а ю щ а я с я тем, что, с цельюобеспечения оценки чувствительностидо испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, она снабжена размещенной внутри камеры дополнительнойгерметичной камерой, на которой установлены натекатель и контрольнаятечь, и дополнительным масс-спектрометрическим течеискателем, соединенным с дополнительной герметичной ка мерой, которая соединена с основнойкамерой через дросселирующий вентиль.