Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских СоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 22.01. 80 (21) 2871327/25-28 Р 1)М, Кл,з с присоединением заявки М -С 01 М 3/00 ГОсударственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(23) Приоритет Опубликовано 07,1181 Бюллетень В 41 Дата опубликования описания 07, 11. 81В.М Мясников, С.Г. Сажин, А. И, Юрченко,А.И.Лузин, О.Н.Дружков .и В.Б.ПоликарповГорьковский политехнический институт им. АА, Жданова,и Научно-исследовательский институт химиипри Горьковском государствеыном университетеим. Н.И. Лобачевского(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РОНИЦАЕМОГО ЭЛЕМЕНТА КОНТРОЛЬНОЙ ТЕЧИИзобретение относится к технологии изготовления контрольных течей, которые могут применяться для калибровки течеискательной аппаратуры при испытаниях на герметичнбсть.Известен способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что на образец из пластичного материала наносят хрупкое покрытие и подвергают образец растяжению до образования трещин в покрытии 1.Такой способ не позволяет получать течи с заданной проводимостью,поскольку размеры трещин в покрытии зависят кроме толщины покрытия и величины растягивающего усилия от ряда неконтролируемых параметров.Наиболее близким к иэобретенйю по технической сущности является способ ,изготовления проиицаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластину с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем и осаждают на стенки отверстия слой металла 21. Этот способ не обеспечивает точного изготовления проницаемого элемента, так как пропускная способность последнего не контролируетсяв процессе изготовления.Цель изобретения - повышение точности изготовления.Поставленная цель достигается тем,.что перед осаждением металла пластинунагревают, осаждают металл путем про-пускания через отверстие пластины газообразного металлооргаиического сое,динения, одновременно с осаждениемметалла пропускают через это отверстиеиндикаторный гаэ, измеряют пропускную,способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной 15 величины пропускной способностипрекращают осаждение металла.На чертеже представлена схема установки, с помощью которой осуществляется предлагаемый способ.20 установка содержит вакуумную камеру 1, в которую помещена пластина2 с отверстием 3, дозирующее устройсаво 4 для подачи металлоорганическогосоединения, испарительную камеру 5с нагревателем 6 для испарения металлоорганического соединения, трубку7 для подачи индикаторного газа в.камеру 1, нагреватель 8 пластины 2,датчик 9 температуры, средство О 30 откачки камеры 1, последовательно879344 НИИПИ Заказ 9703 ираж 910 Подписно соединенные с камерой 1 вымораживающую подушку 11 и течеискатель 12.Способ осуществляется следующим образом.Пластину 2 с отверстием 3 диаметром 0,1 мм помещают в камеру 1 и вакуумируют последнюю с помощью средства 10 откачки до давления-2110 мм рт.ст, Включают нагреватель 8 для нагрева пластины 2 доотемпературы 400 С. После этого подают дозирующим устройством 4 металлоорганическое соединение, в качестве которого используют бис-этилбен" эолхром, в испарительную камеру 5, где оно испаряется при температурео120 С и в газообразном состоянии проходи через отверстие 3 пластины 2. При этом на нагретых стенках отверстия 3 происходит разложение металлоорганического соединения и осаждение металла, приводящее к постепенному уменьшению размеров отверстия и соответственно его пропускной спосооности. Одновременно с подачей бис-этилбензохрома в камеру 1 через трубку 7 подают индикаторный газ,в качестве которого используют гелий, и измеряют его поток, определяемый пропускной способноетью отверстия 3 пластины 2, течеискателем 12. При уменьшении величины потока гелия до значения, соответствующего за-. данной пропускной способности отверстия, подачу металлоорганического соединения и гелия прекращают. Время, затраченное на осаждение металла на стенки отверстия.для достижения заданной величины потока, равной 1,7 10"н 2,310 Эл мкм/с,составило соответственно 40,2 и 39,5 мин.Использование изобретения позволяет получать проницаемые элементы течей в широком диапазоне требуемых проводимостей и с высокой очностью. формула изобретения Способ изготовления проницаемогоэлемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластинус отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем и осаждают на стенкиотверстия слой металла, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности изготовления,перед осаждением металла пластинунагревают, осаждают металл путемпропускания через отверстия пласти ны газообразного металлоорганическогосоединения, одновременно с осаждением металла пропускают через этоотверстие индикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия д по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускнойспособности прекращают осаждение металла. ЗО Источники информации,принятые Ьо внимание при экспертизе1. Патент США У 3791198,кл. 73-531977.2. Авторское свидетельство СССР35 Р 213517,М.кл. С 23 С 17/00, 1968