Просвечивающий электронный микроскоп

СОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСН РЕСПУБЛИК 39) 8 4 но 1 д 37/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ ИЗОБРЕТЕНДЕТЕЛЬСТВУ ОПИСАНИ К АВТОРСКОМУ ственное объедиКононенко(57) Изобрэлектронноиспользоваройств для А 10 ЩИЙ ЭЛЕКТРО МИКени носится к област микроскопии и мо о при конструиров перемещения объек ет быт нии ус М(56) Пилянкевич А. Нкий А, М. ЭлектронньКиев, Техника, 1976Браггою Т. 1 Таге П, ОЬ)есгдче 1.епззгаяез Еог а ЧегзагьСТЕМ/БТЕМ. - 1. М 1 сгЕ 1 есйгоп, 1984, ч, 9 просвечивающих электронных микроскопах. Цель изобретения - упрощение конструкции. Верхняя 1 и нижняя 2 платы объектодержателей жестко соединены между собой в единый подвижный стол с помощью стержней 3, выполненных из немагнитного материала. Стержни 3 проходят через симметрично расположенные отверстия, выполненные в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы 9, Приводные элементы 14 механизма перемещения стола размеще" ны в камере объектов. При этом каждая платаи 2 стола снабжена отдельным шлюзовым устройством 11 и 12 для ; с смены исследуемых объектов без нарушения вакуума в колонне микроскопа. Предложенная конструкция позволяет исключить дополнительный механизм для перемещения платы 2 и использовать наиболее простой механизм, являющийся общим для обеих объединенных плат 1 и 2. 1 ил.1262593 2 5 10 15 20 25 Формула изобретения 30 35 40 45 Составитель В, ГаврюшинТехред Л.Сердюкова Корректор. Л. Патай Редактор О, Головач Заказ 5438/52 Тираж 643 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по.делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электройной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройствдля перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах (ПЭМ).Цель изобретения - упрощение конструкции за счет исключения одногоиз механизмов перемещения плат объектодержателей.На чертеже показана схема ПЭМ вобласти объективной линзы,ПЭМ содержит верхнюю 1 и нижнюю 2платы объектодержателей, которыежестко соединены между собой при помощи вертикальных стержней 3,Для верхнего ввода служит первыйобъектодержатель 4, для бокового ввода - второй объектодержатель 5. Приэтом при боковом вводе может быть использовано несколько объектов 6, фиксация положения которых осуществляется фиксатором 7 и пружиной 8.Стержни 3 выполнены из немагнитного материала и проходят через отверстия в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы 9, В немагнитной втулке 10 имеется расточка дляразмещения нижней платы 2.ПЭМ снабжен шлюзовым устройством11 для верхнего ввода и шлюзовымустройством 12 для бокового вводаобъектов,Электронно-лучевая конденсаторнаясистема 13 размещена на объективнойлинзе 9, оптические оси которых совмещены. Приводные элементы 14 механизма перемещения плат размещены вкамере объектов ПЭМ,Устройство работает следующим образом.Первичный пучок электронов, формиру-,емый электронно-лучевой конденсорнойсистемой 13, направляется на исследуемый объект, находящийся в. объектодержателе 4, размещенном на верхнейплате 1, В таком режиме работы объективной линзы 9 могут быть полученывысококонтрастные изображения прималых увеличениях, исследованы магнитнйе объекты, так как объект расположен практически вне магнитногополя объективной линзы,При исследовании объектов в характеристических рентгеновских лучах вовторичных и отраженных электронахнеобходимо использовать боковой вводобъекта. При этом объектодержатель 4выводится из канала объективной лин"зы с помощью шлюзового устройства 11,и вводится без нарушения вакуума второй объектодержатель 5 для боковоговвода, смонтированный на нижней плате 2 в немагнитной втулке 10.Перемещение объекта в горизонтальной плоскости при верхнем и боковомвводе осуществляется одними и темиже приводными элементами 14 механизма перемещения плат, размещенными вкамере объектов,Это позволяет исключить дополнительный механизм для перемещения нижней платы и использовать для этогоодин наиболее простой механизм,являющийся общим для обеих объединенных плат,Просвечивающий электронный микроскоп, содержащий электронно-лучевую конденсорную систему, объективную линзу с верхним 1 и нижним нолюсными наконечниками между верхней и нижней платами объектодержателей и механизм перемещения плат, о т л и ч а ю. - щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции, верхняяи нижняя платы объектодержателей жестко соединены между собой с помощью вертикальных стержней, выполненных из не- магнитного материала и размещенных в отверстиях, симметрично выполненных в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы, причем диаметр отверстий составляет не менее суммы диаметра стержняи предельной величины перемещения плат в перпендикулярном к оптической оси направлении.