Устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскии Социалистических Республик.06.74 (21) 2033403/28 5) 4, Кл,В 9/О с присоединением заявки Государственный комитет Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытий23) Приоритет 43) Опубликован46) Дата опубл 53) УДК 531 (088,8) етеиь 2 5,07,775 ю ования описания 19.08,(72) Автор изобретени И. Т. Уверски есоюзный научно-иссл метрологической служ вательский инстиы(71) Заявитель 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРЯЕМЫХ ОБЪЕКТО Изобретение относится к иной технике и предназначено дных высокоточных измеренийперемещений, например, в прмашиностроении. мерительля абсолютинейныхзиционном5 Известен интерферометр длизмерений линейных перемешеный по двухлучевой схеме, сооснование, источник монохромсвета, коллиматор, эталоннуюную и наблюдательную ветви,стоят из системы зеркал, приустановленных в соответствунии. я абсолютных ний, построендержащий ичес измерите оторые с зм и линз ющем положе ер известного о он не пок е приспособ интерферометразывает нулеен для измерех направлениях Не достатком вляется то, чю полосу и н я перемещен зличн пространст Известенве, интерферометр емещений, в коого света и наофильтров, что 2 ля измерения ором имеется линейных пеисточник беционных све бор интерференобеспечивает улевой полосы,при измерении нахождение Недостатком такого интерферометра является то, что он не приспособлен дляизмерения перемещений в различных направлениях в пространстве.Наиболее близким по технической сущности к предложенному изобретению является устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов, содержащеевстроенный в корпус контактный интерферометр, узел крепления корпуса с основаниемустройства и узел крепления .поверяемогообьекта,Однако оно не позволяет производитьизмерения линейных п емещений в различных направлениях в п транства.Целью изобретения является расширениеэксплуатационных возможностей устройства,Это достигается за счет тото, что узелкрепления поверяемого обьекта жестко связан с корпусом интерферометра а узелкрепления корпуса с основанием установленс возможностью поворота корпуса интерферометра в плоскости перпендикулярнойоснованию.На фиг. 1 изображена схема устройства,а на фиг. 2 - схема отсчета.Устройство содержит источник 1 монохроматического света и источник 2 белогосвета, зеркало 3 для поочередного включения источников 1 или 2, объектив 4 коллиматора, призму 5, светофильтр 6, полупрозрачное зеркало 7, неподвижное (опорное)зеркало 8, компенсатор 9, измерительное(подвижное) зеркало 10, закрепленное на 10измерительном стержне 11, ширмы 12,частично закрывающие зеркала 8 и 10,Наблюдательная ветвь интерферометра содержит объектив 13, призму 14 двойногоизображения,экран со шкалой 15, эерка 5ло 16, Схема отсчета (фиг.2) содержитсчетчик 17 полос, фотоприемники 18 ипризму 19. Счетчик снабжен приспособлением для программирования,Работает устройство следующим образом,Пучок лучей от источников света 1 или2, проходя обьектив коллиметра, призму 5и, когда требуется, светофильтр 6, падаетна зеркало 7, разделяется на два пучка,один из которых направляется на неподвижное зеркало 8, а другой , пройдя компенса,тор 9, - на подвижное зеркало 10, закрепленное на измерительном стержне 11. Обазеркала частично закрыты непрозрачнымиширмами 12. После отражения от зеркал8 и 10 пучки лучей, частично проходяобъектив 13 и призму 14 двойного изображения, направляются на экран со шкалой 15.Если разность хода невелика, то лучи ин 35терферируют в полости экрана - шкалы инаблюдаются с помощью зеркала 16, причем на экране получаются два изображения системы полос интерференции света,40прямое и обратное, перевернутые друг от- .носительно друга на 180 о (фиг. 2).Б белом свете оба изображения интерференционных полос окажутся цветными и среди нихчерные (нулевые) ахроматические полосы 45служат указателями положения измерительного стержня интерферометра на оси прибора. Когда черные полосы (прямая и перевернутая на 180 ) совпадут, стерженьбудет в нулевом положении. При перемешении стержня полосы синхронно перемещаются в противоположных направленияхИнтервал перемещения измерительного стержня определяется в длинах волн (полосах) визуально или счетчиком 17 полос с помощью фотоприемников 18 и призм 19 (фиг. 2), следящих эа перемещениями полос на экране,Стержень интерферометра перемещается вручную с помощью редуктора 20 или электродвигателем 21 и одновременно перемешается стержень .22 поверяемого прибора. При этом оба стержня находятся. на одной прямой, перпендикулярной оси 23, на которой интерферометр вместе с поверяемым прибором могут поворачиваться в стойке 24 в требуемое положение.После присоединения, например, поверяемой головки к интерферометру и установки его в требуемое положение в пространстве показания интерферометра и поверяемой головки устанавливают на "нуль начальный". Перемешают измерительный стержень интерферометра, а следовательно, и поверяемой головки на заданное число длин волн. (полос) и производят отсчет по шкале головки, Проверяют "нуль конечный, Разность между перемещениями в длинах волн и показаниями головки - резуль тат поверки головки,формула изобретенияУстройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов, содержащ шее встроенный в корпус контактный интерферометр, узел крепления корпуса с основанием устройства и узел крепления поверяемого объекта, о т л и ч а ю ш е е-. с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей устройства, узел крепления поверяемого обьекта жестко связан с корпусом интерферометра, а узел крепления корпуса с основанием установлен с воэможностью поворота корпуса интерферометра в плоскости, перпендикулярной основанию.56451 Составитель В. Климоваузьмийа Техред О. Луговая Корректор С, Патрушев едвктор Г. илиал ППГ "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная Заказ 2135/206 Тираж 907 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СС по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб. д. 4/5