Интегральный тензопреобразователь

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИН 6 1) 4 С 01 В 7/1 ЕН ТОРСКОМУ ТЕЛЬСТ о 1969ССР РАЗОВА изме но д ски май ышени и тензо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(57) Изобретение относитсятельной технике и предназнаизмерения различных механичпараметров - перемещений, дций, усилий, давлений, ускои т.п. Цель изобретения - пточности и воспроиэвФимосттеристик тенэорезисторов вчто достигается расположени резисторов смежных плеч моста на п дложке с чередованием по крайней мерев одном направлении, вследствие чегоразброс характеристик отдельныхтензореэисторов, усредняется, а чувствительности и условия функционирования тенэорезисторов, входящих всмежные плечи моста, взаимно уравниваются. Интегральный тенэопреобразо.ватель содержит подложку 1, на которой в одном или в двух направлениях чередуются тензореэисторы 2-7,входящие в смежные плечи моста.Такое расположение выозволяет обеспечить более высокую воспроиэводимость характеристик тенэопреобраэователей в партии при заданных технологических отклонениях, снизить чувствительность к температуре, старе-,нию, градиенту температур и т.п.1 ипеЗаказ 1913/36 Тираж б 70 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным тензопреобразователям, используемым для измерения различныхмеханических параметров - перемещений, деформаций, усилий, давлений,ускорений и т.п.Цель изобретения - повышение точности и воспроизводимости характеристик тенэорезисторов в партии.На чертеже представлен интегральный тензопреобразователь общийвид,Интегральный тензопреобраэовательсодержит подложку 1, тензорезисторы2 - 9, принадлежащие одному плечумоста, тенэореэисторы 10 - 17, принадлежащие смежному с первым плечумоста, и токопроводящие дорожки 18,соединяющие тензорезисторы 2-17 между собой последовательно, Тензоре-зисторы 2-17 размещены на подложкес чередованием по крайней мере водном направлении (на чертеже -в двух направлениях).Интегральный тензопреобраэователь работает следующим образом. При деформации подложки изменяются сопротивления тензореэисторов 2-17 в соответствии с их индивидуальными тенэочувствительностями, Поскольку сигналы тензорезисторов 2-9, входящих в одно плечо моста, и сигналы тензорезисторов 10-17, входящих в другое плечо моста, соответственно складываются в каждом плече, то отклонения от номинала сопротивления отдельных тензореэисторов усредняются, как и их тензочувствительности, чувствительности к температуре, старению и другим влияющим факторам. Поэтому результирующий сигнал имеет меньшее отклонение от этих Факторов, чем 5 10 15 20 25 отклонение у отдельно взятого тензо" резистора, При воздействии на подложку градиента температур также происходит частичная компенсация отклонений сопротивлений отдельных тензореэисторов под влиянием изменения температуры, поэтому точность измерения предлагаемым интегральный тензопреобраэователем вьппе, чем при измерении устройством с другим расположением тензорезисторов,Усреднение технологических отклонений, получающихся при изготовле-, нии интегральных тензорезисторов методами групповой интегральной технологии, обеспечивает более высокую воспроизводимость характеристик тензопреобразователей в партии,Использование предлагаемого интегрального тенэопреобразователя в датчиках различных механических параметров позволяет повысить их взаимозаменяемость,. увеличить выход числа годных датчиков в партии, уменьшить чувствительность этих датчиков к термоударам и градиентам температур, что способствует повышению точности измерений. Интегральный тензопреобразователь,содержащий подложку и по крайнеймере два смежных плеча моста, каж-дое иэ которых выполнено по крайнеймере иэ двух тензореэисторов и соединяющих их токопроводящих дорожек,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения точности и вос- .производимости характеристик тензопреобразователей в партии,тензореэисторы, принадлежащие смежнымплечам моста, размещены на подложкес чередованием по крайней мере водном направлении,