Способ измерения диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков

(5) 4 С НЫЙ КОМИТЕТ СССРОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУДАРСТВЕПО ДЕЛАМ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оницаемости, о т тем, что, с цель электричес ч а ю щ и и с обеспечения л альности измерени ханиннический и СР 5. ство СС 26, 197 во СССР 00, 198 СОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЦАЕМОСТИ ПЛО РИКОВ, включ емого плоско трика с расп еской подложк ДИЭЛЕ- ККОПАРющий обарал- ложенной ле лнои, фазовую модволны, измерениеэффициента отражееренной величине и(21) 3735281/24-09(54)(57) 1. СП ТРИЧЕСКОИ ПРОН ЛЕЛЬНЫХ ДИЭЛЕК лучение исслед лельного диэле за ним металли тромагнитной в цию отраженной комплексного к и расчет по из фазовую модуляцию отраженнои волны осуществляют возбуждением ультразвуковых колебаний в контролируемом участке прижатого.к металлической подложке исследуемого плоскопараллельного диэлектрика, нормально к его поверхности.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью контроля неоднородностей диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков, последовательно возбуждают различные участки поверхности исследуемого плоскопараллельного диэлек трика и по изменениям модуля коэффициента отражения судят об изменениях диэлектрической проницаемости по поверхности исследуемого плоскопараллельного диэлектрика .1185269 Размер зоны локализации измеренийопределяется поперечными размерами 30 пьезоэлектрического преобразователя.Для контроля неоднородностей диэлектрической проницаемости исследуемого плоскопараллельного диэлектрика З 5 последовательно возбуждают его различные участки поверхности и по изменениям модуля коэффициента отражения судят об изменениях диэлектрической проницаемости по поверхности ис следуемого плоскопараллельного диэлектрика,Составитель В.ВасильевРедактор К.Волощук Техред О,Неце Корректор В,Синицкая Заказ 6360/42 Тираж 747 Подписное ЬНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Б, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к радиотехническим измерениям в диапазоне СВЧи может быть использовано для измерения диэлектрической проницаемостиплоскопараллельных диэлектрикоВ и 5для контроля ее неоднородностей.Цель изобретения - обеспечениелокальности измерений и контроль неод"нородностей диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков,На чертеже гщедставлена функциональная схема устройства, реализующего предлагаемый способ измерения диэлектрической проницаемости плосконаправленных диэлектриков.Устройство содержит генератор СВЧ 1,вентиль 2, направленный ответвитель 3,циркулятор 4, приемо-передающую антенну 5, регулируемый фазовращатель 6, 20регулируемый а.т-нюатор 7, двойнойволноводный тройник 8, детектор 9,индикатор 10, плоскопараллельныйдиэлектрик 11, металлическую подложку 12, пьезоэлектрический преобразователь 13,генератор 14 ультразвуковой частоты.Способ измерения диэлектрическойпроницаемости плоскопараллельныхдиэлектриков реализуется следующимобразом.ПлоскопараллелЬный диэлектрик 11облучают электромагнитной волной спомощью приемо-передающей антенны 5,возбуждаемой генератором СВЧ 1, черезвентиль 2, направленный ответвитель 3и циркулятор 4,В плоскопараллельном диэлектрике11 возбуждаются ультразвуковые колебания с помощью пьезоэлектрическогопреобразователя 13, находящегося в контакте с металлической подложкой 12, к которой прижат плоскопараллельный диэлектрик 11.Напряжение ультразвуковой частоты подается на пьезоэлектрический преобразователь 13 от генератора 14 ультразвуковой частоты.Волна, отраженная от участка металлической подложки 12, где расположен пьезоэлектрический преобразователь 13, оказывается промодулированной по фазе с ультразвуковой частотой. Она принимается приемо-передающей антенной 5 и через циркулятор 4, двойной волноводный тройник 8 поступает на детектор 9, на который одновременно поступает часть опорного сигнала от генератора СВЧ 1 через вентиль 2, направленный ответвитель 3, регулируемый фазовращатель 6 и двойной волноводный тройник 8. Индикатором 10 измеряется амплитуда переменной составляющей выходного сигнала детектора (определяющая коэффициент отражения, по которой судят о диэлектрической проницаемости).