Способ измерения параметров электропроводящих пленок

Номер патента: 1737361

Опубликовано: 30.05.1992

Авторы: Головков, Кузнецов, Осипов, Приходько

МПК: G01R 27/06

Метки: входа, отраженного, параметров, свч-элемента, сигнала

...отражения от исследуемого СВЧ-элемента 8 в секциях измерительной линии 6 устанавливается режим смещенных волн. Луч когерентного света, генерируе 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 мый лазером 1, в делителе света 2 делится на три луча равной интенсивности, которые поступают на оптические входы каждого датчика. После прохождения системы коллимирующих линз 18 и поляризатора 19 линейно поляризованный луч света поступает в фазовую ячейку 20, представляющую собой первую секцию измерительной линии 6, свет в которой распространяется в направлении, параллельном направлению распространения СВЧ-волны,Поскольку диэлектрические подложки секций 20 измерительной линии 6 выполнены из кристаллов, обладающих электрооптическим эффектом, то после их...

Номер патента: 1684634

Опубликовано: 15.10.1991

Авторы: Большаков, Никитин, Самодуров, Тищенко

МПК: G01N 21/59

Метки: волн, коэффициента, металлическими, пленками, поверхностных, поглощения, электромагнитных

...прямо пропорционально энергии поля волны в данной точке по оси Х, В случае адиабатического процесса нагревания пленки 5 за время Л 1 длительности импульса возбуждающего излучения изменение электрического сопротивления Л Я участка металлической пленки 5, расположенного между электродами 7, обусловленное распространением поверхностной электромагнитной волны, равно: хх а хгб Х, (1)хсгде Р - мощность р-составляющей излучения источника 1;д - эффективность возбуждения поверхностной электромагнитной волны;Р - температурный коэффициент электрического сопротивления материала пленки 5;5 - площадь поперечного сечения пленки 5, перпендикулярного к оси Х;д - плотность материала пленки 5;С - удельная теплоемкость материалапленки 5:р - удельное...

Номер патента: 938005

Опубликовано: 23.06.1982

Авторы: Муниц, Петров, Шендерович

МПК: G01B 11/06

Метки: параметров, пленки, прозрачной, тонкой

...системыдиэлектрических слоев на границепоследнего слоя и полного внутреннего отражения на грайице измеряемойпленки с воздухом.Способ эффективен,для измерения 30параметров особо тонких прозрачныхпленок.Схема, с помощью которой осуществляют способ, включает основание 1,систему диэлектрических четвертьвол- уновых слоев 2, последний слой 3 подложки, измеряемую пленку 4,. призму5, просвечивающее излучение 6.Зависимость Фазовой характеристики подложки от фазового сдвига в посвледнем слое имеет вид Ь =Х(9), гдед=й-йр, а и Ьр - фазовые сдвигидля Я и Р компонент отраженного света. четвертьволновых слоев с высоким и50 низким показателями преломления, расНа фиг. 3 приведена зависимость значений 1-К =Е(Ы) для системы ди-.электрических слоев от...

Номер патента: 1116301

Опубликовано: 30.09.1984

Авторы: Пунько, Тиханович

МПК: G01B 7/06

Метки: пленок, толщины

...падения СВЧ излучения ца исследуемую пленку, введены отражатель, который выполнен в виде поляризующей проволочной решетки и расположен на пути распространения СВЧ волны, прошедшей через исследуемую пленку, вторая приемная антенна, которая соединена с введенной согласованной нагрузкой и размещена за отражателем, второй приемный тракт, идентичный первому приемному тракту, и блок вычитания, подключенный к выходам первого и второго приемного трактов. На чертеже приведена структурнаяэлектрическая схема устройства дляконтроля толщины пленок,Устройство для контроля толщиныпленок содержит излучающий тракт 1,состоящий из последовательно соединенных источника 2 СВЧ излучения,поляризатора 3, вращателя 4 плоскости поляризации и излучающей антенны5,...

Номер патента: 474362

Опубликовано: 25.06.1975

Авторы: Домаркас, Кажис

МПК: B06B 3/00

Метки: волной, отраженной, управляемой, электроакустическая

...из ультразвукового преобразователя 1, последовательно с которым соединены конденсатор 2, резистор 3 и первичная обмотка дифференциального трансформатора 4. Вторичная обмотка трансформато ра 4 соединена со входом усилителя 5, выходкоторого подключен ко входу фазокорректирующего каскада 6, с выходом которого соединена средняя точка первичной обмотки дифференциального трансформатора 4.15 Устройство работает следующим образом.При падении ультразвуковой волны на преобразователь 1 на выходе его появляется электрический сигнал, который через трансформатор 4 поступает на вход усилителя 5, 20 усиливается и подается на вход фазокорректирующего каскада 6. С выхода этого каскада сигнал поступает в среднюю точку первичной обмотки...