Устройство для измерения параметров интерференционной картины

(51)6 01 В 2 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЛЬСТВ АВТОРСКОМУ С Бюл. М 47шин .й ордена Лен ут им.Серго авиа- жони 8)П. Неа 1-г.ыпе-Орг.1 са 1 Епс 31 т18, Р 6, р. 648 ША Р 4159522,00, 1979 (прототип),ЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИоптическую системуический блок и.схемуалов, о т л и ч а ю 2. 11 атент С кл.01 В 11/ (54)(57) УСТРО ПАРАМЕТРОВ ИНТ НЫ, содержащее электронно-опт обработки сиги ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И 01 ЯРЫТИЙ(56) 1. 81 цщрй1 пгегйегощеегпеег 1 пу, 197653 щ е е с я тем, что, с целью упрощен.ния конструкции, электронно-оптический блок выполнен в виде двух расположенных взаимно перпендикулярнолинеек, каждая из которых состоитиз четырех фотоэлементов, один изсредних фотоэлементов - общий длялинеек, а схема обработки сигналоввыполнена в виде двух каналов,каждый из которых состоит из соединенных последовательно блока деленияс вычитанием единицы и блока вычисления агссоз, и двух блоков вычитания, выходы которых соединены спервым и вторым входом блока деления с вычитанием единицы,а входыподключены соответственно к крайним и средним фотоэлементам однойиз линеек.1062518 Тираж 602 Подписное филиал ППП "Патент", г,ужгородун.Проектная,4 Изобретение относится к контроль. но-измерительной технике и можетбыть использовано в интерференционных измерителях линейных размеров.Известен интерферометр, предназначенный для контроля качества опти ческих систем состоящий из движущейся дифракционной решетки, многоканального фотоприемника с измерителем фазы сигнала на выходе каждого канала и схемы обработки сиг налов Г 1 .Недостатком этого интерферометра является наличие дифракционной решетки с механическим перемещением, что снижает надежность и точность измерения.Наиболее близким к изобретению является устройство для измерения параметров интерференционной картины, содержащее оптическую систему, электронно-оптический блок и схему обработки сигналов.Электронно-оптический блок выполнен в виде замкнутой телевизионной системы, а схема обработки сигналов- в виде схемы анализов первой и второй производных измерительного видеосигнала с применением линии ЭВМ 12 .Недостатком известного устройства является сложность конструкции, обусловленная наличием телевизионной системы, что вызывает необходимость предварительного измерения направления интерференционных полос, а затем ориентирования их перпендикулярно развертке телевизионной З 5 камеры.Целью изобретения является упрощение конструкции.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения па раметров интерференционной картины, содержащем оптическую систему,электронно-оптический блок и сХему обработки сигналов, злектронно-оптический блок выполйен в виде двух распо ложенных взаимно перпендикулярно линеек, каждая из которых состоит из четырех фотоэлементов, один из средних фотоэлементов - общий для обеих линеек, а схема обработки сигналов выполнена в виде двух каналов, каждый иэ которых состоит из соединенных последовательно блока деления с вычитанием единицы и блока вычисления агссоз, и двух блоков выЧитания, выходы которых соединены с первым и вторым входом блока деления с вычитанием единицы, а вхо-. ВНИИПИ Заказ 10204/41 ды подключены соответственно к крайним и средним фотоэлементам одной из линеек.На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.Устройство состоит из оптической системы 1, электронно-оптического блока 2, состоящего из двух расположенных взаимно перпендикулярно линеек, каждая из которых содержит четыре фотоэлемента, один из средних фотоэлементов - общий для обеих линеек, схемы обработки сигналов, содержащей два канала, состоящих из блоков 3,4 и 5,6 вычитания, блоков 7 и Ь деления с вычитанием единицы, соединенных с выходами соответствующих блоков 3,4 и 5,6 вычитания, блоков 9 и 10 вычисления агссоз,подключенных соответственно к блокам 7 и 8 деления с вычитанием единицы, блоки 3,4 и 5,6 вычитания подключены к краиним и средним фотоэлементам соответствующей линейки электронно-оптического блока 2.Устройство работает следующим образом.Анализируемая интерференционная картина с помощью оптической системы 1 проецируется на линейки электронно-оптического блока 2, сигналы с фотоэлементов каждой линейки пода ются на блоки 3,4 и 5,6 вычитания, в которых вычисляется разность сигналов крайних и средних фотоэлементов линеек.Выходные сигналы ьлоков 3,4 и 5,6 вычитания подаются на блоки 7 и 8 деления с вычитанием единицы, где происходит деление разности сигналов крайних фотоэлементов на разность сигналов средних фотоэлементов и вычитание из полученного отношения единицы. Сигнал из блоков 7 и 8 поступает в блоки 9 и 10 вычисления агссоз, выходные сигналы которых пропорциональны частоте пространственной гармоники интерференционной картины в направлении расположения соответствующей линейки фотоэлементов.Таким образом, за счет замены телевизионной системы электронно- оптическим блоком с двумя взаимно перпендикулярными линейками фотоэлементов и применения описанной схемы обработки сигналов упрощается конструкция устройства, а следовательно, снижается ее стоимость и повышается надежность.