Электронно-оптическая система

(В) . (Ц) НИЯ ТОРСКСИМУ Св ЕЛЬСТ 2 612 00 ") Л 8-222.05.7830.09,83. Бюл,А.Макаров,нов, В.К.Мозаков, В.В. У 36О.П.Братов, озов, Г.Д.Кисел урин и М В Деон Г.Д.,овые ус ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ПИСАНИЕ ИЗО(72) К А.Ф,Па р Л.В.Ка , Г паска (53) 621,385,8(088,8) (56) 1. Деркач В.П Княшко Кукрчук М.С. Электронно-зонд ройства. Киев, "Наукова Думка", 1974, с,166,2. Авторское свидетельство СС У 366512, кл, Н 01 5 37/26, 1971(54)(57) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЛ СИСТЕМА, содержащая электромагнитныелинзы, включающие обмотку, вн;.шнийи внутренний магнитопровады и полюса, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью упрощения констр.циисистемы, она снабжена общим дляэлектромагнитных линз внутренниммагнитопроводом, выполненным в видетолстостенной трубы с Кольцевымиканавками на ее внешней поверхностив количестве, соответствующеМ чи:лулинз в системе.Заказ 7601/55 Тираж 703 Подписное ВНИИПИ ГосударственногО комитета СССР по делам изсбретений и открытий 113035, Москва, Ж,.Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП "Патен ", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электронно-оптическим системам электронноэондовых приборов и может быть использовано для просвечивающих ирастровыХ электронных микроскопов,рентгеновских микроанализаторов идругих устройств,Известна электронно-оптическаясистема для формирования и фокусировки электронного пучка,содержащаяэлектромагнитные линзы в которых 103внутренний магнитопровод снабженСпециальными полюсными наконечниками, требующими тщательной подгонкипри установке 1 ,Такая конструкция электроннооптическойсистемы трудоемка в изготовлении и не обеспечивает точнойюстировки. Наличие большого числарезиновых уплотнителей усложняетКонструкцию и не обеспечивает высокой степени разряжения в системе.Наиболее близким к предлагаемойпо технической сущности являетсяэлектронно-оптическая система, содержащая электромагнитные линзы, 25включающие обмотку, внешний и внутренний магнитопроводы и полюса (. 21.В известном устройстве имеет место большое число посадок, что не позволяет обеспечить соосность электронно-оптической системы, а большоечисло резиновых вакуумных уплотнений и полных вакуумных соединенийзатрудняет получение необходимого)азряжения в системе.Цель изобретения - упрощение кон- З 5струкции электронно-оптической систе.мыПоставленная цель достигается тем,что электронно-оптическая системаСнабжена общим для электромагнитных 40линз внутренним магнитопроводом, выполненным в виде толстостенной трубыс кольцевыми канавками на ее внешнейповерхности в количестве, соответствующем числу линз в системе. На чертеже представлена конструкция трехлинзовой электронно-оптической систеьн.Электронно-оптическая системасодержит внутренний магнитопровод 1, выполненный в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками 2, расположенными на внешней поверхности трубы, одну или несколько обмоток 3 линз, внешний магнитопровод 4, боковые фланцы 5 магнитопровода, которые в совокупности со стыковочными элементами образуют вакуумные уплотнения 6 по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на его концах.Электронно-оптическая система работает следующим образом.Электронный пучок подает в магнитное поле первой линзы (первая по ходу пучка канавка), магнитное поле которой формирует изображение кроссовера электронной пушки, ниже средней плоскости первой канавки.Это.изображение является предметом для второй линзы (район второй канавки), которая формирует второе промежуточное изображение источника электронно-оптической системы, позволяет существенно упростить юстировку системы, так как внутренний магнитопровод всех входящих в систему линз выполняется из цельного куска материала, и коаксиальность внутренних отверстий магнитопровода ог- раничивается только точностью изготовления. Применение вакуумного уплотнения по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на его концах упрощает конструкцию электронно-оптической системы и позволяет более точно состыковать электронно-оптическую систему с электронной пушкой, последующей электромагнитной линзой или рабочей камерой.г