Система для фокусировки заряженных частиц из четырех квадрупольных линз

Номер патента: 190503

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республиквисимое от авт. свидетельстваявлено 19.Х 1 Л 963 ( 871222/26-25) 21 д, 37/2 с присоединением заявкиПриоритет МПК Н 01 Комитет зобретений.533,33 (088,8) 11,1969. Бюллетень9 убликов ри Совете ССта опубликования описания 15.И 1.1969 Авторыизобретения т сХ, щ,"чнб.тцб;";,: Я, Явор, А, Д. Дымников, Т. Я. Фишкова и Е. В. Шпак " физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Заявител СИСТЕМА ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТ ИЗ ЧЕТЫРЕХ КВАДРУПОЛЬНЫХ ЛИНЗ рт КОГО и маГнитнобыть одинаковым,анны Предмет бретени х час- аждая ровки заряженньупольных линз, кна 90 по отноши(аяся тем, что, с.енно астигматичемав системе исп Система для фокуси тиц из четырех квадр из которых повернута предыдущей, отличаю обеспечения одноврем ахроматического режинию к целью кого и ользогде При фокусировке пучков заряженных частиц, обладающих разной энергией, значительную роль играет хроматическая аберрация фокусирующей системы. От величины этой аберрации существенно зависит разрешение различных электронно-оптических и ионнооптических приборов. Доказано, что хроматическая аберрация обычно используемых для фокусировки аксиально-симметричных систем принципиально не может быть уменьшена до нуля,Предложена система из четырех неаксиально-симметричных элементов (комбинированныхных электростатических и магнитных квадрупольных линз), обладающая нулевой хроматической аберрацией и позволяющая получить астигматическое изображение предмета с равными увеличениями во всех направлениях (оптический аналог аксиально-симметричной системы).Для получения ахроматического режима напряжение /) и ампер-витки возбуждения (и/) линзы должны быть связаны между собой следующим соотношением:04 Кк / т(тс+) ф в (2 тсв+в)3 1пт К , тм( т 2 с 4+ (тсз+ в)" е - масса покоя и энергия заряж ной -частицы; с - скорость света;т, и г - радиусы апертуры электростатиче.ской и магнитной линз (расстояние от оптической оси до электрода или полюса);К - коэффициент, зависящий от фор.мы электродов и полюсов (п 1 гиперболических полюсах К. ,= = К=1).Распределение электричесго полей вдоль оси должноа эффективные длины линз р/вф / вфмЛинзы соосны и каждая последующая линза повернута относительно предыдущей на 90. Первая и четвертая линзы и вторая и третья имеют (соответственно) равные возбуждения.Необходимые соотношения между геометрическими и электрическими параметрами системы приведены в предмете изобретения., 1 = 1,2,Г 2 С ) 2 П 12 Составитель В. БогдановаРедактор В, Борисова Техред Л. К. Малова Корректор 3. И, Чванкин аказ 145313 Тираж 480 ПодписноеИИИПИ Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 ипография, и Сапунова,ваны ахроматические комбинированные квадрупольные линзы, причем между геометриче 6 и д - эффективные длины линз; Х - расстояние между средними линзами; 8 - расстояние между средней и крайней линзами (все расстояния отсчитываются с учетом эффективных длин линз); т и я - масса покоя и энергия заряженной частицы; с - скорость света; г, и г, - радиусы апертуры электростатической и скими и электрическими параметрами системы установлены следующие соотношения; магнитной линз (расстояние от оптической оси до электрода или полюса); Ккоэффициент, зависящий от формы электродов и полюсов (при гиперболических полюсах К, = 35 К=1); +111 - напряжения на электродах1-ой линзы, аУ - количество ампер-витков на один полюс 1-ой линзы.

Смотреть

Заявка

871222

МПК / Метки

МПК: H01J 3/12, H05H 7/08

Метки: заряженных, квадрупольных, линз, фокусировки, частиц, четырех

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-190503-sistema-dlya-fokusirovki-zaryazhennykh-chastic-iz-chetyrekh-kvadrupolnykh-linz.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Система для фокусировки заряженных частиц из четырех квадрупольных линз</a>

Похожие патенты