Способ соединения стекла с металлом
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
.С, КоршуноваИпатов идетельство ССС 27/00, 1978,в электронике,1969, с, 121Ф Ф УДАРСТНЕННЫЙ НОМИТЕТ СССделАм изоБРетений и отнРь 1 т К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТ(54)(57) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛАС МЕТАЛЛОМ путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлаж дения металлостеклянной сборки, о т .л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества одновремен" ного Спая стекла со сталью и коваром, стеклянную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширения (48-52) 10 1 1/град нагрев осуществляют до температуры 1000- 1020 С в тео чение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5- 15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2"3 С/мин до0200-250 С, а затем с выключенной , печью.Составитель С. Белобокова Техред А.Ач Корректор И, Ватрушкина Редактор В, Петраш Тираж 486 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Заказ 7455/20 Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 10446Изобретение относится к полупроводниковой технике, конкретно к спо"собам получения спаев между стекломи различными материалами, в частностисталью и коваром. 5Известен способ изготовления узловиз стекла и ковара, включающий никелирование ковара на участками, не подлежащих спаиванию со стеклом, на толщину 18-24 мкм, обезгаживающий отжиг 1 ои спаивание ковара со стеклом, причемспаивание ведут в защитной среде при940-1000 С в течение 5- 10 мин, а ох.олаждение до 650-700 С осуществляютОв защитной среде, после чего в средеводорода 1 .Данный способ трудоемок, так какимеет место предварительная металлиэация, а для осуществления способаиспользуют защитную среду и средуводорода,Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ соединения металласо стеклом, включающий изготовлениестеклянной заготовки по порошковой 25технологии, нагрев и последующееохлаждение сборки 21,Известный способ предназначендля соединения стекла с одинаковымипо КТР металлами.ЗО Цель изобретения - повышение качества одновременного спая стекла состалью и коваром,Поставленная цель достигается тем,что согласно способу соединения стек-З 5ла с металлом путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлаждения металлостеклянной сборки, стеклянную заготовку изготавливают иэ стекла Омолибденовой группы с коэффициентомтермического расширения (48-52) "-710 1/град.,нагрев осуществляют дотемпературы 1000-1020 С в течение1,5"2 ч, выдерживают при этой темпе 10 2ратуре 5- 15 мин, после чего охлаждаютсо скоростью 2-3 оС/мин до 200"250 С,а затем с выключенной печью.На чертеже представлена схема, поясняющая предлагаемый способ,П р и м е р 1, Собранный и установленный в графитовую кассету узел,содержащий стеклотаблетку 1 из стекламарки С 48-2 (ОСТ 11027.010-75), обечайку 2 из стали и гермоввод 3 изковара, помещают в холодную герметич.ную печь сопротивления, Нагрев ведутдо 1000 С в течение 1,5 ч. Делают выдерику при этой температуре в течение15 мин, далее снижают температуру до200 С со скоростью 2 фС/мин, а затемоведут охлаждение вместе с выключеннойпечью.П р и м е р 2. Подготовительныеоперации те же, что и в примере 1.Нагрев осуществляется до 1020 С в течение 2 ч, далее следует выдержкапри этой температуре в течение 5 мин,затем заваренный узел охлаждают до250 С со скоростью 3 С/мин, а далееа овместе с выключенной печью,Полученные спаи обладают следующими свойствами:оТермостойкость спая, С 200Вакуумная плотность-гспал, торр 10 - 1 ОМеханические испытания:вибропрочность Все спаив диапазоне сохраниличастот 10-2000 Гц герметичи ускорение 15 9 ностьв течение 5 чтермоциклирование То жеот +100 до - 60 С(5 циклов)Использование предлагаемого способа позволит упростить технологиюизготовления полупроводниковых приборов, повысить их термостойкостьи герметичность,
СмотретьЗаявка
3263566, 19.03.1981
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3726
КОНДАКОВА ЛЮДМИЛА ВЛАДИМИРОВНА, КОРШУНОВА РАИДА СЕРГЕЕВНА, МИХАЙЛОВА ВЕРА АЛЕКСАНДРОВНА, ИПАТОВ ВЛАДИМИР ГРИГОРЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 27/02
Метки: металлом, соединения, стекла
Опубликовано: 30.09.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1044610-sposob-soedineniya-stekla-s-metallom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ соединения стекла с металлом</a>
Предыдущий патент: Глушеная глазурь
Следующий патент: Шпаклевка
Случайный патент: Четырехзажимная измерительная катушка электрического сопротивления переменного тока (его варианты)