Интерферометрический задатчик перемещений

СОЮЗ СОВЕТСНИХаваэйввРЕСПУБЛИК ЗСЮ 601 В БРЕТЕН ОЛИСАНИ ГВУ ВТОРСКОМУ СВИД 25-28(Ооа.Ы)н ВПС рычев И.И, Механи М., 1976, последовательно размещенными во мы в втулке штоком. контактирующим с 5,опорой цилиндрической пружиной и регулировочным винтом, а передаточныйевск ехни тип) ЕСКИЙ ЗАДАТ- щий корпус рану с сфериустановленный кий винт, ось к плоскостимеханизм, ометрическимчающий- вышения(54) (57) ЧИК ПЕРЕ закрепле ческой о на корпу которого мембраны взаимоде винтом и с я тем,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧ ЩЕНИИ, содержа ную на нем мемб орой в центре, е микрометричес перпендикулярна и передаточный ствующий с микр опорой, о т л и что, с целью по 801024685 А точности тарировки и регистрации перемещения, он снабжен закрепленной на корпусе втулкой, ось которой( параллельна оси микрометрического вин" та и проходит через центр опоры, механизм выполнен в виде расположенной между мембраной и штоком пружины с прорезью в средней части, имеющей ширину, меньшую диаметра сферической опоры, размещенной в ней, и со. сферическим наконечником на одном из концов, взаимодействующим с микро- метрическим винтом, и установленого щ в корпусе.с возможностью поворота вокруг оси ролика, контактирующего ,с другим концом плоской пружины.исаж 602 Подписное ород.ул,Проектная,4 Изобретениеотносится к измерительной технике и может быть использовано для юстировки и проверки измерительных приборовИзвестен интерферометрический задатчик перемещений, содержащий корпусзакрепленную на нем мембрану с сферической опорой в центре, установленный на корпусе микрометрический винт,ось которего перпендикулярна к плоскости мембраны, и передаточный механизм, взаимодействующий с микрометрическим винтом и опорой 1 11.В этом задатчике ось микрометрического винта проходит через центр опоры, а передаточный механизм выполнен 15в виде овальной пружины, что исключает возможность воздействия на этуопору с помощью образцового прибора.Образцовым прибором воздействуют намембрану, что исключает возможностьполучения голографической интерферограммы поверхности мембраны, Это приводит. к невысокой точности тарировкии регистрации перемещений,Пель изобретения - повышение точности тарировки и регистрации перемещений.Эта цель достигается благодарятому, что интерферометрический задатчик перемещений, содержащий корпус,.закрепленную на нем мембрану ссферической опорой в центре, установленный на корпусе микрометрическийвинт, ось которого перпендикулярнак плоскости мембраны, и передаточный механизм, взаимодействующий смикрометрическим винтом и опорой,снабжен закрепленной на корпусевтулкой, ось которой паралельна осимикрометрического винта и проходитчерез центр опоры, последовательноразмещенными во втулкештоком, . 40контактирующим с опорой цилинцричес-.койпружиной и регулировочным винтом, ;а передаточный механизм выполнен ввиде расположенной междумембранойи штоком плоской пружины с прорезью, 45в средней части, имеющей ширинуменьшую диаметра сферической опоры,размещенной в ней, и со сферическимнаконечником на одном иэ концов,взаимодействующим с микрометрическим 5 Овинтом, и установленого в корпусес воэможностью поворота вокруг осиролика, контактирующего с другимконцом плоской пружины.на чертеже показана схема интерферо-,метрического задатчика перемещений,5: Задатчик содержит корпус 1,закрепленную на нем мембрану 2 ссферической опорой 3 в центре,установленный на корпусе 1 микрометрический винт 4, закрепленнуюна корпусе 1 втулку 5 последовательноразмещенные в ней шток б, пружину 7 .ВИИИПИ Заказ 437534филиал ППП "Патент". г.ужг и регулировочныи винт д, плоскую пружину 9 с прорезью 10 в средней части, имеющей ширину, меньшую диаметра опоры 3, и со сферическим наконечником 11 на одном иэ концов, взаимодействующим с микрометрическим винтом 4, и установленный в корпусе 1 с воэможностью поворота вокруг оси ролика. 12, контактирукщий с другим концом плоской пружины 9.Интерферометрический задатчик работает следующим образом.В исходном состоянии втулку 5 вместе со штоком 6, пружиной;7 и винтом 8 снимают с корпуса 1 и устанавливают в освободившееся отверствие до упора в опору.3 измерительный"шток образцового прибора например контактного интерферометра. устанавливают шкалу обраэцовго прибора на нуль и делают голографическую интерферограмму в реальном масштабе времени всей поверхности мембраны 2, обращенной наружу. Задают вращение микрометрическому винту 4 и регистрируютпокаэания образцового прибора. Строят тарировочную зависимость показаний образцового прибора от перемещения винта 4. Извлекают из корпуса 1 измерительный шток образцового прибора и закреп" ляют в нем втулку 5 со штоком 6, пружиной 7 и винтом 8. Поворачивают регулировочный винт .8 и наблюдают внешнюю поверхность мембраны 2 через голограмму реального масштаба времени, Фиксируют винт 8 в положении, соответствующем наибольшему разрежению интерференционных полос, которое соответствует измерительному усилию образцового прибора.При юстировке или поверке измерительных приборов при помощи тарировочной зависимости задают микрометрическим винтом перемещения, которые чет рез пружину 10 передаются йа опору 3 и центр мембраны 2.Поверхность мембраны от центра до точек А и В закрепления об-,: т разует поле перемещений с аттестованным перемещением в центре. Это поле перемещений и используется в качестве образцо. вого при юстировке и поверке приборов.Использование предлагаемого интерферометрического задатчика перемеще"ний по сравнению с известным задатчиком обеспечивает более высокую точность тарировки и регистрации перемещений за счет применения втулки снагружающим штоком, контактирующим сопорой, а также за счет, выполненияпередаточного звена в виде механизмаредуцирования перемещений, обеспечивающего возможность применения тарировочных образцов приборов с,одновременным получением голограмм.