Устройство для измерения парциального давления кислорода в вакууме

Номер патента: 1008632

Авторы: Голубков, Окуневский, Смолий, Таланчук, Цветкова

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН Я 01008632 С, 01 1, 21/3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТЙРЫТИЙ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ ОПИСАНИ К АВТОРСКОЬВУ ТВУ ЕТ 54) 157 ) УСТРОЙСТВО ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ ВАКУУМЕ по авт. св. 9 о т л и ч а ю щ е е с с целью повышения чув эа счет выравнивания поля диэлектрической нем нагреватель выпол ной шириной, увеличив его краев к середине. Вюл. Р 12ков, П.М.Тала, О.Е.Цветковордена Ленина ститут им. 50 ьской социали чук,поли лети тиче 88.8 б 1(61) Р 851143 (,21) 3274109/ 122).14.04.81 .46) 30.03,83 72) С,П.Голу Ю.Н.Окуневски и А,В.Смолий (71) Киевский технический и Великой Октяб революции .153) 531,787( ДЛЯ ИЭИЕРЕНИЯКИСЛОРОДА В851143,я тем, что,твительностиемпературнргодложки, в"ен с переменющейся от1008632 ВНИИПИ Заказ 2329/54 Тираж 871 одписно ППП "Патент", г.ужгород, ул,Проектная,4 Фи Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерейии парциального давления кислорода в вакууме.По основному авт. св. Р 851143 известно устройство для измерения парциального давления кислорода в вакууме, содержащее корпус, на кото. ром закреплена диэлектрическая подложка с расположенными на ней в виде разделенных диэлектриком слоев термометра сопротивления, нагревателя й чувствительного слоя с катодом и анодом. Недостатком этого устройства яв ляется неодинаковая температура на поверхности диэлектрической подложки, обусловленная теплоотводом с диэлектрической подложки по изоляторам, на которых закреплена 2 О подложка, а также по выводам с чувствительного слоя, нагревателя, термометра сопротивления. Это приводит к различной чувствительности в разных точках поверхности чувствительного слоя - большей в центре и меньшей по краям. Вследствие этого снижается общая чувствительность устройства к парциальному давлению кислорода. 30 Цель изобретения - повышение чувствительности за счет выравнивания температурного поля диэлектрической подложки.35Указанная цель достигается тем, что в устройстве нагреватель выполнен спеременной шириной, увеличивающейся от его краев к середине. На фиг. 1 изображено устройство в разрезе; на фиг. 2 - нагревательный элемент в плане.Устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изоляторы 3, на которых расположена подложка 4. На подложке 4 расположены слой термометра 5 сопротивления с контактными площадками, диэлектрик 6, слой 7 нагревателя, имеющий переменную площадь поперечного сечения с контактными площадками 8, диэлектрик 9, чувствительный слой 10 с катодом и анодом.На фиг. 2 приведена форма слоя 7 нагревателяимеющая переменную ширину, увеличивающуюся от его краев к середине. Такая форма нагревателя позволяет получать равномерное температурное поле на .поверхности подложки.Измеритель работает следующим Образом.При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного слоя 10 при температурах 400-600 оС изменяется сопротивление чувствительного слоя 10. Величина его сопротивления является функцией парциального давления кислорода в, вакууме. Получение температуры 400- 600 оС и измерение ее величины осуществляется соответственно нагревателем 7 и термометром 5 сопротивления.Таким образом, использование нагревателя, выполненного с переменной шириной, увеличивающейся от его краев к середине, позволило повысить чувствительность устройства.

Смотреть

Заявка

3274109, 14.04.1981

КИЕВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. 50-ЛЕТИЯ ВЕЛИКОЙ ОКТЯБРЬСКОЙ СОЦИАЛИСТИЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ

ГОЛУБКОВ СЕРГЕЙ ПАВЛОВИЧ, ТАЛАНЧУК ПЕТР МИХАЙЛОВИЧ, ОКУНЕВСКИЙ ЮРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ЦВЕТКОВА ОЛЬГА ЕФИМОВНА, СМОЛИЙ АЛЕКСАНДР ВАДИМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 21/30

Метки: вакууме, давления, кислорода, парциального

Опубликовано: 30.03.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1008632-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-parcialnogo-davleniya-kisloroda-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения парциального давления кислорода в вакууме</a>

Похожие патенты