Способ и устройство юстировки установки для электронно лучевой обработки

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублия(088.8) па делам изобретений и открытий(72) Автор изобретения Иностранное предприятиенфЕБ Карл Цейсс Йена".;т 4) СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ЮСТИРОВКИ УСТАНОВКИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ2 а) при пои постоянИзобретение относится к электроннолучевой обработке материалов и предназначено для облучения мишени устройством, которое содержит средства для отклонения электронного пучка на мишень и для получения преимущественно прямоугольного сечения пучкаПодобные электроннолучевые устройства применяются, например, для образования предварительно спрограммированных элементов на покрытых лаком полупроводниковых платах с целью изготовления микроэлектронных схем.В экономическом патенте Р 126438 описана такая установка для электрон нолучевой обработки. В отличие от известных устройств с точечным электронным пучком (устройства электронного зондирования) устройства с плоским электронным пучком отличаются особен- а но высокой производительностью. Это достигается благодаря двойному программированию электронного пучка, а именно его положения в рабочем поле и его преимущественно прямоугольного поперечного сечения ( фостоянной резкости на крной интенсивности. В то время как для размещения плос кого электронного пучка мише(и могут применяться способы обычные в приборах с зондирующим пучком, например отклонение с цифровым управлением, программированное изменение поперечного сечения электронного пучка, установка его формата,и требуют специальной электроннооптической системы. В указанном патенте описаны два подобных варианта: первый, в котором апертурная диафрагма устанавливается механическим управлением, и второй, в котором ограничение пучка задается механически стационарно в различных оптически сопряженных плоскостях, а величина поперечного сечения устанавливается электроннооптическими средствами. Второй вариант отличается высокой скоростью установки формата, которая может быть даже выше скорости19 91102 мутально параллельно, Расположение системы иэ 11 квадропупей ( ниже обозна" чается как 11 КС ) осуществляется следующим образом; чКС 25 лежит на одинаковом расстоянии выше угловой диафраг мы 3 как 1 КС 18 ниже угловой диафрагмы 7. С последней чКС симметрично к середине. участка Г лежит 4 КС 37. Обе 11 КС лежат симметрично к средней плоскости конденсоров 1 и 6.1 ОКвадропуль 5 1 КС 23 соединяется в одном направлении с квадропулем 61 КГ 120, Эта пара квадропулей 61 КС 23 + + 5 чКС 20 создает асти гматизм в отображении угловой диафрагмы 3 на плоскости угловой диафрагмы 7. Г комбинацией с такой же повернутой на 45 парой квадропулей Ф, ЙКС 23+ с 11 КС 20 получается пара сти гматоров М для компенсации хроматической разности 2 О в отношении отображения между обеими угловыми диафрагмами 3 и 7 без изменения эллиптического искажения, В качестве дополнительного действия появляется астигматизм зрачка, который может быть скомпенсирован парой стигматоров ч 0 ( соответственно 417. КвадропупьчКС 23 соединяетсяв обратном направлении с квадропулем ф 1 КС 20, Эта квадропульная пара(11 КС 23 -ЬКС 20, обозначенная нафиг. 7 позицией 12, создает эплиптицеское искажение только в изображении угловой диаФрагмы 3. С учетомЪповорота изооражения конденсором квадропульная пара ч 2 аэимутально устанавливается так, цтобы большая осьэллипса искажения совпадала с биссектрисой угловой диафрагмы, В кацест 4 Ове дополнительного действия квадропульной пары 12 изменяется астигматизм в первом промежуточном зрачке,в то время как он не изменяется вовтором и третьем промежуточных зрачках,45Квадропуль Я МС 25 соединяется вобратном направлении с квадропулем11 КС 18. Эта квадропульная пара11 КС 25-В 41 КС 18 создает астигматизм впервом промежуточном зрачке без воздействия на второй промежуточный зрачок, Комбинация с такой же повернутой на 15 квадропульной парой611 КС 25-1 КС 18 образует пару стигматоров ч 0 для компенсации астигматизмав первом промежуточном зрачке без изменения астигматизма во втором и третьем промежуточных зрачках. В кацест 56 20ве дополнительного действия появляется эллиптическое искажение, которое изменяет вертикальные углы в изображении угловых диафрагм и может быть скомпенсировано квадропулем 113,Квадропупь 6 11 КС 37, обозначенный на фиг. 7 позицией 43, расположен параллельно со своей осью соответственно перпендикулярно к сторонам угловой диафрагмы 7 и служит для изменения вершинных углов в отображении угловых диафрагм и этим самым для ор- тогонализации четырех сторон сечения пучка, измеренного названными выше средствами к форме параллелограмма. В качестве дополнительного действия появляется незначительный асти гматиэм во втором и третьем промежуточном зрачке, который может быть скомпенсиован беэ отрицательных обратных возействий с помощью пары сти гматопов ч 1. Кяадропупь 1 чКС 18 соединяетсяв противоположном направлении с квадропулем с 1,чКС 37. Эта квадропульная пара создает астигматизм зрачка во втором промежуточном зрачке беэ дополни"тельного воздействия, т.е, без эллиптицеского искажения отображения угловой диафрагмы,Комбинация с такой же повернутойна 15 квадропупьной парой 1"КС 181" 1 КС 37 образует пару сти гматоров 111для компенсации астигматизма зрачкаво втором и третьем промежуточныхзрачках изменения углового положениясторон в изображении угловых диафрагмбез изменения направления четырех сторон сечения пучка,Согласно шестому признаку изобретения, осуществляется юстировка Формата при наблюдении увелиценного спомощью системы 5 ч, формирующей изображение, сецения электронного пучкав плоскости мишени на люминесцентномэкране 55. Эта система, формирующаяиэображение, путем переключения промежуточной линзы 56 позволяет осуществить также отображение плоскости апертурной диафрагмы. Предполагается,что сечение электронного пучка в обесточенном состоянии отклоняющей системы формата при данных условиях согласно соответствующему механическомуи/или электрическому предварительномуцентрированию имеет примерно квадратное сечение Формата со средними длинами сторон, которые примерно в два21 9402 На Фиг, 9 ни одна из четырех сторон не отьюстирована на направлении отклонения отклоняющей системы 13 размещения, Дважды облучаемые зоны 46 являются более светлыми по 35 сравнению с просто освещенными участками 47, которые выделяются от необлуценной и поэтому темной основы 48, Непараллельность ограничивающих сторон электронного пучка вблизи пересечения стыка ( Х, ) 49 (соответственно 51) в изображении угловой диафрагмы 3 и 50 (соответственно 52)45 в изображении угловой диафрагмы 7 можно устранить с помощью вращающейся линзы 38 и квадропульной паоы 42, после чего получают состояние юстиоовки, показанное на фиг, 10, для которого имеет место параллельность про.50 тиволежащих сторон 49-52, Центрирование по направлениям отклонения Х и происходит с помощью изменяемого поворота изображения промежуточной линзы 9 и эллиптического искажения квадропуля 43. С достижением показанного на фиг. 11 состояния закончена юстировка Формата и в заключение следует раза меньше по сравнению с длинамисторон максимального квадратного сечения формата. Задача юстировки формата состоит в том, чтобы установитьстороны в изображении угловых диафрагм 3 и 7 в плоскости мишени параллельно к соответствующим преимущественно перпендикулярно друг к другустоящим Х , 1 направлениям отклоненияотклоняющей системы 13 размещения,Для этого. предусмотрены следующиеисполнительные органы: промежуточнаялинза 9, действующая как вращающаясялинза для общего Формата, квадропуль 43, вращающаяся линза 38 и квадропульная пара 42. Задающее воздействие образуется скачком тока возбуждения в отклоняющей системе размещения для Х -направления и сдвинутым поФазе на 90 периодическйм скацком тока возбуждения в отклоняющей системедля У -направления. При согласованнойс нулевым форматом велицине скачкаполучается таким образом поверхностьоблуцения примерно квадратного сечения, которое в общем случае на сторонах соприкосновения четырех прыгающих нулевых Форматов в зависимостиот состояния юстировки Формата имеетболее или менее широкие и клиновидные 30светлые и темные зоны. 56 22калибровка Формата, Эта калибровкаформата базируется на уравнении дляуправления форматомЧХ 10 Ьм Ь 9 к (3) Регулируемые величины (НХ, Ну) обеспечивают точное выравнивание сторон нулевого формата до величинызадаваемой скачком отклонения в направлении х (соответственно у ) отклонения отклоняющей системы размещения, как это показано на фиг. 12, Через управляющий вектор Формата (Я) изменяется формат, При этом при изменениина 69 Формат изменяется точно на Ь х, ьу = О, а при изменении 9 у наФормат изменяется точно на ьх =- 0, у. Для выполнения этого требования управляющий вектор формата ф, ) аддитивно связан через матрицу связи с вектором тока )1у 1 коэффициенты матрицы которой ЬЬ устанавливаются следующим способом.В положении й 1, фиг, 12) нулевой формат смещается на - д х в направлении х отклоняющей системы 13 размещения и для выравнивания формат открывается на ДЯ. Так как направление отклонения отклоняющей системы формата среди других зависит от установки матрицы связи (а аи вращающейсяи 2линзы 38, то линии ограничения пучка 49, 51в положении Н лежат параллельно линиям ограничения пучка 50, 52 в изображении смещения в положении Н и 1 У соответственно и могут быть совмещены при соответствующем установлении матричных элементовЬ, ,Аналогично осуществляется процесс установки матричных коэффициентов Ь ,21 Ь, при котором (Фиг. 14) нулевой формат смещен в положении 1 У на - 6 в направлении отклонения у отклоняющей системы размещения и открывается для выравнивания формата на Ь 4, Очевидно, цто знаки 1,ьХ и ЬУ можно выбрать наоборот и испытание смещения Форма а можно провести в другом направлении. При соответствующем выборе последовательности смещения испытания ( фиг.13 и 14) можно обьединить с испытанием (фиг. 15), При этом достаточнб рассмотрение соприкасающихся зон внутри круга поля наблюдения 53, так как это рассмотрение уже дает однозначное заключение об изменениях в коэффициентах матрицы (Ь Ь ) управление форматом, а сравнение яркостей четырехсмежных углов циклически размещенного Формата дает заключение о юстировке зрачка. В отЪюстированном состоянии появляется равномерное светлое поле нэблюдени я, 5Ниже описывается свободный от отрицательных обратных воздействий процесс юстировки с указанием определенной последовательности отображений поперецного сечения электронного пуцка, его характерных признаков отклонений от заданного состояния и параметры юстировки, с которыми эти отклонения корри ги руют ся.1, Отображение апертурной диафрагмы и фокусировка зрачка на эту плоскость с помощью регулирования возбуждения друг за другом, включенных катушек возбуждения конденсоров ч и 6.2. Отображение плоскости мишени и циклическое размещение нулевого Формата. Признаком отклонения являются клиновидные дефекты ( фиг. 9), которые корректируются с помощью квадропульной пары ц 2 и вращающейся линзы 38,3. Отображение апертурной диафрагмы и включение вращающейся линзы 39 кацания. Признаком отклонения является непостоянство астигматизма зрачка,зо который устраняется парой стигматоров ч 0, Эта операция может отсутствовать.Отображение плоскости мишени и циклическое размещение формата, Признаком отклонения являются параллелограммные дефекты 1 фиг. 10) которые корригируются квадропулем ч 3 и промежуточной линзой со свойствами вращающейся линзьь4 О5. Отображение плоскости мишени и циклицеское размещение формата. Признаком отклонения является погрешность удаления 1,фиг. 11), которое корригируется задающими величинами М, Му точной установки нуля.45б. Отображение апертурной диафраг мы. Признаком отклонения является астигматизм зрачка, который компенсируется парой стигматоров ч 1.7. Отображение апертурной диафраг- о мы и циклическое размещение форматафиг. 13 и 1 ч). Признаком отклонения являются продольные и поперечные смещения зрачка, которые корригируются элементами а(соответственно а )и а( соответственно а ) матрицы 36 связи.й 18. Отображение плоскости мишени и циклическое размещение Формата согласно Фиг. 15. Признаком отклонения являются погрешности удаления, которые корригируются согласно фиг. 15 элементами матрицы управления форматом ЬНЭтим самым процесс юстировки заканцивается. Для контроля юстировки зрачка служит сравнение яркостей четырех квадрантов 1- 1 У, соприкасающихся в середине поля наблюдения, которые представляют плотность облучения в цетырех углах большого форматаФиг, 15, положение смещения И),До сих пор приведенные примеры исполнения относились к устройству, содержащему диафрагму гашения, отверстие которой выбрано таким образом,что оно является эффективным также вкачестве апертурной диафрагмы. Еслифон облучения кроме собственногоизображения кроссовера является достаточно низким, то отверстие диафрагмы гашения может быть выбрано большим.Преимущество при этом, в частности,состоит в том, что снижается чувствительность при юстировке зрачка. В этомслучае оказывается возможным осуществить искусственное увеличение апертуры отображения угловой диафрагмы путем качания центрирования пучка 26,27 с поворотом вокруг угловой диафрагмы 3 без отключения промежуточной линзы 9, благодаря чему увелициваетсячувствительность отображения угловойдиафрагмы 3"на плоскость угловой диафрагмы 7. В этом случае промежутоцноекольцо 35 подбирается так, что приустановке возбуждения друг за другомвключенных катушек возбуждения конденсоров ч и 6 на резкое отображениеугловой диафрагмы 3 на плоскость угловой диафрагмы 7 неизбежно отображается кроссовер в оптически оптимальной плоскости входного зрачка объектива 11, которая лежит в общем случаевнутри поля объектива,В пунктах 3, б и 7 последовательности операций под отображением апертурной диафрагмы понимают отображениевходного зрачка,В последовательности операций 1-8пункт 1 заменяется,Отображение угловых диафрагм и качание центоирования пуцка с поворотом вокруг угловой диафрагмы 3, Признаком отклонения является осцилляция сторон в изображении угловой диафоагмы 3, которая устраняется с помощью регулирования друг за другом, включенных катушек возбуждения конденсоров 4 и 6 эа исключением противоположной хроматической разности обеих сторон в изображении первой угловой 5 диафрагмы 3.Затем эта хроматическая разность корригируется с помощью пары стигма- торов 44.Оформула изобретения1, Способ юстировки установки дляэлектроннолучевой обработки, в которой первую угловую диафрагму проектируют в плоскость второй дополнительной угловой диафрагмы, так что получается ограниченное преимущественнопрямоугольное сечение пучка, котороес помощью объектива с уменьшениемотображается на плоскость мишени и тамразвертывается по направлениям Х иа кроссовер системы создания л ча проектируют на плоскость поворота отклоняющей системы для изменения Формата и оттуда на плоскость апертурнойдиафрагмы объектива, о т л и ч а ющ и й с я тем, что во временной последовательности на люминесцентномэкране Формируют изображения поперечного сечения электронного пучка в плоскости мишени и апертурной диафрагмы,устанавливают параметры юстировки назаданное положение и исключают взаим 35ное влияние параметров юстировки эасчет отображения апертурной диафрагмы и фокусировки луча в плоскостиапертурной диафрагмы, отображенияплоскости мишени и циклического разме-щения нулевого Формата я направленииотклонения по оси Х ина плоскостимишени с шагом ширины нулевого формата с последующей коррекцией видимойна краях Формата погрешности от клино 45видности, параллелограммной погрешности, погрешности удаления и различных уровней яркости в четырех смежных углах нулевого формата, отображе"ния апертурной диафрагмы и цикличес 50кого изменения Формата, осуществляющиеся со сдвигом по Фазе в направлениии , с последующей коррекциейвозникающего при этом смещения луча,отображения плоскости мишени и циклического размещения Формата при одновременном изменении формата, а такжекоррекции видимой на краях Форматайогрешности удаления,2, Способ юстировки установки для электроннолучевой обработки по и. 1, о т л и ч а ю щ ифй с я тем, что после коррекции погрешности от клиновидности осуществляют дополнительный этап юстировки, который состоит в том, что осуществляют отображение апертурной диафрагмы и устраняют видимое эа счет качания луча непостоянство астигматизма на зрачке,3. Способ юстировки установкидля электроннолучевой обработки пои. 1, о т л и ча ю щ и й с я тем,что осуществляют отображение угловойдиафрагмы и качание центрирования луча с поворотом вокруг первой угловойдиафрагмы 3 и затем устраняют осцилляцию сторон в изображении первой угловой диафрагмы и остающуюся противоположную хроматическую разность обеихсторон в изображении первой угловойдиафрагмы. Устройство юстировки установки для электроннолучевой обработки, содержащее первую угловую диафрагму, которая проектируется через систему конденсоров в плоскость второй дополнительной угловой диафрагмы, так что получается ограниченное, преимущественно прямоугольное, сечение пучка, которое промежуточной линзой и объективом проектируется с уменьшением на плоскость мишени и там раэворачивается с помощью отклоняющей системыкомпоновки, в Мотором ( устройстве)кроссовер системы формирования пучкачерез первый конденсатор проектируется в плоскость поворота двухуровне"вой системы отклонения для измененияформата и оттуда через второй конденсор и промежуточную линзу - в плоскость апертурной диафрагмы объектива,а также систему центрирования лучадля ориентирования его как на первуюугловую диафрагму, так и апертурную диафрагму или диафрагму гашения, и ряд стигиаторов, воздействующих на пучок, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что расстоянием между кроссовером 1и первой угловой диафрагмой 3, расстояние Ъ между первой угловой диафрагмой 3 и главной плоскостью первогоконденсора 4 в пространстве предмета,расстояние С между главной плоскостьюпервого конденсора 4 в пространствеизображений и главной плоскостьювторого конденсора 6 в пространстве27 9 ч 02предмета, расстояние 3 между плоскостью второго конденсора б в пространстве изображений и второй угловойдиаФрагмой 7 и расстояние е междувторой угловой диаФрагмой 7 и плоскостью 16 второго промежуточного зрачка выбраны из соотношения-Фь/с Яс,1 -Ь 1 оФ+сЦе)=2,а между конденсорами И 6 расположена1вращающаяся линза 38 и в системе кон-вденсоров размещены слабо возбуждаемыеквадропули, регулируемые в группахэлектрическим путем, причем каждаягруппа преимущественно состоит издвух квадропулей, которые расположены 15и включены между собой таким образом,цто при коррекции астигматизма астигматическое действие первого квадропуля одинаково направлено с астигматическим действием другого и эллиптическое искажение одного компенсируетэллиптическое искажение другого, апри коррекции эллиптицеского искажения клиновидные деФекты искажающее 56 28действие одного квадропуля направлено одинаково с искажающим действием другого, а астигматическое действие одного компенсирует астигматическое действие другого, кроме того, что отклоняющие токи 14 Му на верхнем и 3 ".у на нижнем уровнях отклонения отклоняющей системы 21, 22 оормата связаны между собой аФфинным преобразованием, и содержащее электроннооптическую систему 5 Формирующую изображение плоскости мишени 12 или плоскости апертурной диаФрагмы 1 О на люминесцентном экране 55 и содержащую переключаемую промежуточную линзу 56.5. Устройство юстировки для электроннолучевой обработки по и, ч, о тл и ц а ю щ е е с я тем, цто между конденсорамии 6 установлена вращающаяся линза 39 качания,Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изрбретательству Германской Демократической Республики.940256 Фиг. Л Составитель В. Александровя Техреду К.Иыцьо Корректор Е. Рошк61 писное о по д3035, и 1 о раув В 4/5 лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,Редактор Н. БезродЗаказ 4680/75ВНИИП Тираж 7 осударствен лам изобретсква Ид Подкомитета СССи открытийская наб.3 9 установки электронного пучка на мишени с отклоняющей системой размещения,Последнее обстоятельство приводит к тому, цто требования к юстировке электронной оптики с плоским пучком существенно разнообразнее по сравнению с требованиями, предъявляемыми к точечному зондирующему электронному пучку, При мозаичной композиции рисунка, облуцаемого плоским лучом, могут получаться дефекты в стыковых зонах облуцаемой мозаики, если не позаботиться о том, чтобы каждая сторона поперечного сечения электронного пучка проходила параллельно к х и у направлениям отклонения отклоняющей системы размещения и имела длину, задаваемую управлением фронта ( калибровка Формата. Кроме того, от оптической системы требуется тоцная фокусировка изображения кроссовера в плоскости поворота отклоняющей системы Формата и его точная юстировка в виде входного зрачка на оптицеской оси объектива или на отверстии диаФрагмы гашения, поскольку это отверстие, с целью устранения паразитного фона рассеяния, должно быть выбрано малым настолько, что оно ограничивает изображение кроссовера, и станови ся возможным ее использование в качестве апертурной диафрагмы.Из экономицеского патента ГДР М 113 ч 16 известен принцип действия электроннооптического устройства для облуцения электронным пучком с плоским поперечным сечением и электронно- оптически регулируемым ограничением светящегося поля, а также способ и устройство для юстировки зрацка. Способ -устройства для юстировки формата и калибровки формата до сих пор не были описаны, Известные электронно оптицеские средства, с помощью которых воздействуют .на электронный пучок таким образом, чтобы его параметры соответствовали требованиям, предъявляемым к электронному пучку в отношении интенсивности и Формата в плоскости мишени, имеют недостаток, заключающийся в том, что их регулировка является трудной и требует много времени. Кроме того, с известным способом юстировки не может быть решен однозначно вопрос, имеется или нет астигматиз в первом промежуточном изображении зрацка.0256Цепь изобретения - повышение эффективностии установки для электроннолучевой обработки, действующей по принципу плоского электронного пучка за счет сокращения времени юстировки, Этим самым создается возможность более частого проведения контроля о состоянии юстировки, например после каждой засветки пластины, благодаря чему величина брака выпускаемой продукции снижается, а требования к стабильности электрического питания снижаются до реализуемых пределов,Задача изобретения состоит в том,цтобы выполнить действующую по принципу электроннооптической апертурной диафрагмы оптическую систему таким образом, чтобы ее юстировка была по возможности проще. В частности, чтобы состояние оптической системы, характеризуемое такими параметрами как юстировкз зрачка юстировка формата и калибровка формата, удобно контролировалось, а появляющиеся отклонения можно быстро и целенаправленно корректировать. 30 35 ,Д 55 Предлагаемый способ юстировки установки для электроннолучевой обработки, в которой первую угловую диаФрагму проектируют в плоскости второй дополнительной угловой диафрагмы, так что получается ограниченное преимущественно прямугольное сечение пучка, которое через объектив отображается с уменьшением на плосгости мишени и там отклоняется по х- и у направлениям, и в которой кроссовер системь, Формирования луча проектируется на плоскость поворота отклоняющей системы и оттуда на плоскость апертурной диафрагмы 1 входного зрачка) объектива в котором во временной последовательности Формируют изображения поперечного сечения электронного пучка, имеющиеся характерные признаки, которые могут быть отнесены однозначным образом к корригирующим параметрам юстировки зрачка, юстировки Формата и калибровки Формата и которые устраняют тем, цто устанавливают соответствующий параметр юстировки на заданное положение, причем при этом устраняются взаимные влияния параметров юстировки за счет отображения апертурной диафрагмы и Фокусирование зрачка на плоскость апертурной диафрагмы в целях предварительной юстировки зрачка, отображения плоскости мишении циклическое размещение нулевого формата в направлении отклонения по оси х и у на плоскос.ги мишени с шагом ширины нулевого формата с последующей коррекцией видимой на краях формата 5 погрешности от клиновидности, параллелограммной погрешности, погрешности удаления и различных уровней яркостей в четырех смежных углах нулевого формата с целью юстировки форма та, отображения апертурной диафрагмы и циклического размещения формата в направлении отклонения как по оси х так и по оси у в комбинации с циклическим изменением формата, которое происходит со сдвигом по фазе в направлении х и у, с последующей коррекцией возникающего при этом смещения с целью юстировки зрачка, отображения плоскости мишени и циклическое 20 размещение формата при одновременном изменении формата, а также коррекция видимой на краях формата погрешности удаления в целях калибровки формата.При этом после коррекции погрешнос 5 ти от клиновидности проводят дополнительный этап юстировки,который состоит в том, что снова осуществляют отображение апертурной диафрагмы и устраняют видимое за счет качания луча 30 непостоянство на зрачке.Кроме того, осуществляют отображение угловой диафрагмы и качание центрирования луча с поворотом вокруг первой угловой диафрагмы и затем уст- з 5 раняют осцилляцию сторон в иэображении первой угловой диафрагмы, а также остающуюся противоположную хроматическую разность обеих сторон в изображении первой угловой диафрагмы, 40Реализация способа осуществляется с помощью устройства юстировки установки для электроннолучевой обработки содержащего первую угловую диаф 145 рагму, которая проектируется через систему конденсоров в плоскость второй дополнительной угловой диафрагмы, так что получается ограниченное, преимущественно прямоугольное, сече 50 ние электронного пучка, которое через промежуточную линзу и обьектив проектируется с уменьшением на плоскость мишени и там разворачивается с помощью отклоняющей системы компановки,ч 55 в котором устройствекроссоверсистемы формирования пучка через первый конденсор проектируется в плоскость поворота двухуровневой отклоняющей системы для изменения формата и оттуда через второй конденсор и промежуточную линзу проектируется в плоскость апертурной диафрагмы объектива, а также систему центрирования луча для ориентирования его как на первую угловую диафрагму, так и на апертурную диафрагму или диафрагму гашения и ряд стигматоров, воздействующих на пучок.Первый признак изобретения отно" сится к количественному ограничению параметров юстировки при текущей эксплуатации устройства, Согласно изобретению, выбор размеров системы конденсоров осуществляется таким образом, что всегда выполняется определенное условие юстировки, а именно отображение первой угловой диафрагмы на вторую, независимо от того, была ли осуществлена другая юстировка, а именно фокусирование изображения кроссовера на плоскость апертур"Фной диафрагмы. Для этого расстояние Ц между кроссовером и первой угловой диафрагмой, расстояние Ь между первой угловой диафрагмой и главной плоскостью первого конденсора в пространстве предмета, расстояние С между главной плоскостью первого конденсора в пространстве изображения и главной плоскостью второго конденсатора в пространстве предмета, расстоянием О между главной плоскостью второго конденсора в пространстве изображения и второй угловой диафрагмой и расстояние Р между второй угловой диафрагмой и плоскостью второго промежуточного зрачка выбраны из соотношения1-4 ЪС ЙС И+Ъа)(1+ ЮЕ) =Э Второй признак изобретения относится к коррекции параллельности стороны в иэображении первой угловой диафрагмы к его сопряженному в изображении второй угловой диафрагмы.Принципиально возможно использование для этого вращающее действие иэображения конденсаторов, когда возбуждают один конденсор слабее, а второй сильнее. Однако этот способ имеет тот недостаток, что при этом проявляются отрицательные обратные воздействия на несколько параметров юстировки, Так, среди других неизбежно дефокусируется отображение зрачка на плоскости поворота отклоняющей системы формата и также изменяется масштаб отображения7 9402 плоскости первой апертурной диафрагмы на плоскость второй, Для того, чтобы устранить этот недостаток, согласно изобретению, между конденсорами на уровне первого промежуточного зрац ка коаксиально располагается слабо возбуждаемая катушка, Она не оказывает отрицательного обратного воздействия на фокусирование и масштаб изображений и является эффективной только в качестве поворотной линзы, причем вращается, очевидно, также направление отклонения верхнего уровня к нижнему отклоняющей системы формата.Третий признак относится к вопросу 15 о критерии настройки стигматоров для компенсации асти гматизма в первом промежуточном зрачке, наличие которо - го может отрицательно сказаться на юс. тировке формата, а также однородности 20 и постоянства интенсивности в поперечном сечении пучка при смене формата. Этот признак непосредственно не обнаруживается, так как сти гматическое отображение кроссовера в плоскос ти второго промежуточного зрачка и в плоскости третьего промежуточного зрачка, т.е. плоскости апертурной диафрагмы, является недостаточным для оценки качества критерия настройки. 30Для того, чтобы выявить этот при -знак предлагается другая, сильнее возбуждаемая катушка, расположенная науровне первого промежуточного зрачка, а ее возбуждение происходит принастройке стигматоров, так что междуплоскостью первого промежуточногозрачка и плоскостью второго промежуточного зрачка устанавливается попеременно вращение изображения, на 40пример 15, которое в соответствиис периодическим изменением обнаруживаемого астигматизма в плоскости апертурной диафрагмы имеет чередование,если не скомпенсирован астигматизмв первом промежуточном зрачке,Четвертый признак изобретения относится к проблеме совмещения угловмежду сторонами в изображении какч 50первои угловой диафрагмы, так и второй угловой диафрагмы с базисным углом, включающим направления отклонения по оси х и у отклоняющей системы размещения, который являетсяпреимущественно прямым углом, не ока 55зывая при этом мешающего влияния присоответствующем процессе юстировки науже отъюстированные состояния элект 56роннооптицеского изображения, в частности на стигматическое изображение зрачка. Наоборот, компенсация астигматизма зрачка не должна оказывать отрицательного обратного воздействия на ортогональность ограничения поперечного сечения пучка. Эта задача решается благодаря тому, что некоторое цисло слабо возбуждаемых квадро- пулей в системе конденсоров расположено и электрически соединено по группам из двух или нескольких кввдропулей таким образом, что при оптически симметричном ходе основного пучка в системе конденсоров при возбуждении квадропулей по группам их запроектированные действия усиливаются, а побоцные компенсируются,Пятый признак относится к требованию равномерности резкости на краях и интенсивности в сечении пучка при произвольном изменении формата внутри регулируемой области Формата, 8 озможность неравномерности связана с поперечным смещением изображения кроссовера в отверстии апертурной диафрагмы, которое может вызываться различными причинами. Если плоскость первого промежутоцного зрачка не совпадает с плоскостью поворота отклоняющей системы формата, то зрачок смещается в одинаковом соответственно противоположном / направлении, в котором формат открывается или закрывается, Путем фокусирования первого промежуточного зрачка на плоскость поворота отклоняющей системы формата, хотя и можно компенсировать эту компоненту смещения зрачка, но в общем случае остается еще поперечная компонента, причина которой состоит в неточном отклонении отклоняющей системы. Например, не существует необходимой фиксированной точки поворота для всех направлений отклонения. Для того, цтобы устранить эти недостатки, в отклоняющей системе Формата, которая состоит из двух лежащих в направлении распространения пучка уровней отклонения, причем каждый уровень отклонения содержит две скрещеннье катушки отклонения, отклоняющие токи которых О, ) на верхнем / и на нижнем / ювне связаны айФинным пгеобразованиемНХ=а Х+ду 1)и у рг. у1 / 1/Гпричем коэффициенты матрицы а, и а9402изменяются, например, в интервале 0,9-1,1 с целью установления точек поворота отклонения Формата по оси х и у на плоскости первого промежуточного зрачка, а.коэффициенты матрицы 5 а, и аизменяются, например, в интервале от -О,1 до +0,1 с целью поворота направления отклонения верхнего уровня отклонения по отношению к направлению отклонения нижнего уровня. Это устройство имеет то преимущество, цто, во-первых, фокусирование иэображения кроссовера на плоскости поворота отклоняющей системы отклонения может иметь значительные допус ки, и во-вторых, поворот направления отклонения верхнего уровня, который возникает при коррекции параллельности вращающейся линзой, может быть легко скомпенсирован простым спосо бом.Шестой признак относится к контролю юстировки Формата и калибровки формата при применении проекционной изображающей системы, значительно 25 увеличивающей плоскость мишени при просвечивании на люминесцентном экране с помощью системы, которая содержит переключаемую промежуточную линзу для отображения плоскости мишени 30 или плоскости входного зрачка на люминесцентном экране. С помощью проекционной системы осуществляется циклическое размещение Формата на плоскости таким образом, цто при правильной юстировке формата и калибровке Формата поверхность в среднем освещается равномерно, при этом последняя является конгруэнтной с поверхностью построенной путем геометрицеского, 40 переноса Формата, в то время как при неправильной юстировке или калибровке формата на краях циклически размещенного Формата вследствие наложения или разделения появляются светлые 45 или соответственно темные зоны, иэ которых можно определить вид погрешности юстировки, а при неправильной юстировке зрачка появляется также различная яркость в четырех смежных .углах циклически размещенного Формата. На Фиг. 1 показано электроннооптицеское устройство прибора для облучения электронным пучком; на фиг. 2 - схема для определения размеров конденсорной системы; на фиг, 3-5 - диаграммы, показывающие связь между вы 5 610бором размеров конденсорной системы и допустимым возбуждением конденсора для случая, где сохранены желаемые изображения угловых диаграмм и кроссовера; на фиг, 6 - .электроннооптическое устройство в соответствии с изображением; на Фиг. 7 и 8 - схематические изображения соединения квадро"улей соответственно стигматоров; на 1иг, 9- 12 - диаграмма для объяснения( юстировки формата; на фиг. 13-15 - диадиаграмма для объяснения калибровки формата.Как показано на Фиг. 1, ограни- чение выходящего от кроссовера 1 ис. тоцника электронного пучка происходит с помощью двух оптически дополнительных угловых диафрагм 3 и 7. Возбуждение конденсоров 4 и 6 выбрано таким образом, что, во-первых, угловая диаФрагма 3 проектируется в плоскость угловой диаФрагмы 7 и, во-вторых, кроссовер 1 проектируется в плоскость апертурной диафрагмы 1 О посредством промежуточной линзы 9, работающей преимущественно в максимуме преломляющей силы, При этом на уровне сред" ней плоскости отклоняющей системы 21, 22 возникает промежуточное иэображе" ние кроссовера (первый промежутоцный зрачок ), в плоскости 5 которой должна также лежать виртуальная точка поворота отклоняющей системы 21, 22.Если стороны угловой диафрагмы 3 включают правый угол и также стороны угловой диафрагмы 7, то при механичес" ки параллельной установке на основе оборачивания изображения преимущественно одинаково возбужденных, но включенных в противоположных направлениях конденсоров 4 и 6, получается прямоугольное сечение пучка в плоскости угловой диафрагмы 7, которое через промежуточную линзу и объектив 11 проектируется с уменьшением на плоскость мишени 12. При этом его можно разложить на две цасти, первая часть которого является изображением механически стационарного ограничения луча, а именно угловой диафрагмы 3, а другая - изображением механически стационарного ограничения луча угловой диафрагмой 7, причем ни первая часть, ни вторая, взятые по отдельности, не образуют сечение, формат.Этот формат, кроме механической юстировки угловых диафрагм и конденсоров, устанавливается только напояжен 9602 ностью поля; ОтклОняюшей системы 21 22 Формата и может изменяться по двум направлениям в виде положения попе- р 8 чнОГО сечсния пучка нэ плоскости мишени 12) которое устанавливается Б с помсщьа отклоняющей системы 13 размещения., Поскольку как отклоняюшэя сист 8 мэ 13, тэк и Отклоняющая система 21, 22 может управляться электрическими средствами, то получается возможность размещать электронный пучок на каждом произвольном ,М 8 стР внутри Оптически возможноГО рабочего поля и задавать сечению пуч,ка произвольный размер внутри опти-ески возможной области Формата.Для полу чени я и ред вари тел ь но сп ро" граммированного рисунка на мишени, предусмотрена система 19 гашения, ко-торая позволяет изображение кроссовера вывести в плоскость апертурной диарагмы 10 и отклонить, олагодаря чему в ппоскости мишени 12 сечение пучка считывается в виде яркого и тем")5 ного уровня, Так как апертура гашения пучка, отображающая глоскость люми- нРсцРнтнОГО поля углсВОй диафрагмы /) является небольшой го сравнению с ее агертурой в плоскости мишени в соответствии с масштабом изображения плоскость люминесцентно-о поля - мишень, тс незначительное возбуждение системь 13 гашения будет достаточным для того чтобы зондировать )ровень темЗУ ного без заметного смещения положения электронного пучка на экране и существенного изменения его формата. С помощью второй синхронно управляемой с -истемой 19 гашРния отклоняющейгв системы 2 ч нине угловой диэйрагмы 3 можно обеспечить, цтобы во время процесса отпирания или запирания не смещалось изображение ограничения пучка в области угловой диаФрагмы 3 на глос 45 кости мишени,.ЭТИМ самым достигается взмож очнго и счесть быстрого сканирования уровней светлого-темного на мишени,.Другие электроннсоптические устройЯ ствэ. служат для того, чтобы автоматически центрировать электроннь)й пучок на угловой диафрагме 3 и апертурной диафрагме 10, измерять ток пучка в поперечном сечении и стигматизировать отображение светящегося поля на Гглоскссти мишРни, Для этого предусмст рены двухуровневая двойная отклоняющая система 6, 2/ для центрирования элек.ронного пучка нэ угловой диафрагме 3 с поворотом вокруг кроссовера 1 и для центрирования изображения кроссовера) третьего промежуточного зрачка) в отверстии апертурной диафрагмы с поворотом угловой диафрагмы 3, а также отклоняющая система 17 для полного отклонения электронного пучка через апертурную диафрагму 10, с целью измерения тока пучка в закрытом состоянии, а также стигматоры 11 и 15 для компенсации астигматизма второготретьего порядка изображения светящегося поля на плоскости мишени.Б электраннооптической системе, кроме того, имеются средства) с помощью которых можно воздействовать на электронный пучок таким образом, чтобы он имел в плоскости мишени желаемую интенсивность и Формат. Для этой цели предусмотрены сти гматоры 18) 20, 23 и 25 и вспомогательные конденсаторы 2 и 8. Среди других средств юстйровки для этой цели предусмотрены также конденсаторы 1 и 6, предназначенные для поворота изображений угловой диафрагмы 3 по отношению к угловой диафрагме 7, и промежуточная линза 9, предназначенная для поворота Формата как целого, Отигматоры О и 25 служат для того цтобы компенсировать астигматизм зрачка в плоскости 5 первого промежуточного зрачка и в плоскости апертурной диафрагмы 10, в то время как стигматоры 23 и 18 предназначень для остировки отображения уггОвых диаФрагм на ортогональность своих сторон. Однако стигматоры не выполняют своих задач без отрицательных обратных воздействий, так например, стигматор 20 тажке воздействует на вершинньй угол в изображе:ии угловой диафрамы 3, как стигматорь 23 и 18 воздействуют на астигматизм зоачкэ. Регулировка стигматоров таким образом является сложной и тресует мнОГС времени, кроме ТОГО, известное электроннолучевое устройство не имеет средства, с помощью которого можно решить вопрос, имеется ли или нет асти гматизм в первом промежуточном зрачке.Остировка на оптическую параллельность противолежащих сторон сечения пучка требуется для того, чтобы можно было установить стороны в изображении угловой диаФрагмы 3 параллельно к соответствующим сторонам угло256 14 3 940вой диафрагмы 7. Это принципиальновозможно при соответствующем установлении возбуждений обоих стигматоров 20и 23 и конденсоров 4 и 6 без изменения астигматизма зрачка в апертурнойдиафрагме 10 и при дополнительном условии, что сохраняется отображение угловой диафрагмы 3 на угловой диафрагме 7. На основе эллиптического искажения, обусловленного стигматорами 20 Ви 23, можно изменить вершинный уголобеих сторон в изображении угловойдиафрагмы 3 и на основе поворота изображения, который обусловлен обоимиконденсорами 4 и 6 при противоположном изменении возбуждения, можно поворачивать как целое изображение угловой диафрагмы 3, Однако при этомпоявляется неизбежное аксиальноесмещение первого и третьего промежуточного зрачка. Для устранения этихдефокусировок предусмотрены вспомогательные конденсоры 2 и 8.Описанные процессы юстировкипрежде всего из-за своих многих отри-цательных обратных воздействий являются очень сложными, а их осуществление является трудоемким. Для того,чтобы устранить эти недостатки, предлагаются в электроннооптической системе ряд усовершенствований, которыеобъясняются на следующих прилагаемых фигуоак,На фиг. 2 показаны обозначения тех расстояний, которые являются существенными при выборе размеров конденсорной системы согласно первому признаку изобретения, Этими расстояниями являются: расстояние С 1 между кроссовером 1 и угловой диафрагмой 3, .40 расстояние Ь между первой угловой диаФрагмой 3 и главной плоскостью Н, конденсора 4 в пространстве предмета, расстояние С между главной плоскостью Н конденсора 4 в пространстве45 изображений и главной плоскостью Н конденсора 6 в пространстве предмета, расстояние д между главной плоскостью Н конденсора 6 в пространстве изображений и угловой диафрагмой 7 и расстояние 6 между угловой диафрагмой 7 и плоскостью 16 второго промежуточного зрачка, которые отображаются промежуточной линзой 9 с увеличением в плоскости апертурной диафрагмы 10. Поскольку главные плоскости при малых изменениях возбуждения обоих конденсоров изменяются незначительно,то эти пять расстояний можно отнести к разряду практически механически фиксированных длин. Гсли теперь система конденсоров выбрана таким образом, что между ними существует соотношение ВИ-Ф Ь(с д/сца(Ь)и+а(е)=а то получается известная область возбуждения обоих конденсоров, в которой при отображении кроссовера в плоскости апертурной диафрагмы происходит также отображение угловой диафрагмы 3 в плоскости угловой диафрагмы 7.На фиг. 3-5 показаны кривые 28, Функциональной связи между токами возбуждения 1 и 12 обоих конденсоров 4 и 6 в случае, когда отображение угловых диафрагм соблюдается одно за другим, а кривая 29 показывает функциональную связь в случае, когда соблюдается отображение кроссовера в плоскости апертурной диафрагмы, Гсли дискриминант О ( О, то согласно фиг. 3 отсутствует состояние возбуждения конденсоров, в котором осуществляются одновременно оба отображения. Гсли дискриминант О ) О, то хотя имеются (фиг, 4) два определенные состояния возбуждения, а именно в точках пересечения 30 и 31, в которых возможно одновременное отображение, однако, из того, что зрачок сфокусирован на плоскости апертурной диафрагмы, не обязательно следует, что угловая диафрагмаотображается на плоскости угловой диафрагмы 7. Это обеспечивается только тогда, когда токи возбуждения 1,не выходят из уз)кой зоны 32 или 33. Существование 1этих зон обосновано относительно большой глубиной резкости отображения угловой диафрагмы, которое допускает известный допуск для кривой 28. При определении системы конденсоров при О = 0 (фиг. 5) зона 34 существенно шире, чем обеспечивается свобода действий для возбуждения конденсаторов, в пределах которой может осу" ществляться также преимущественно грубая юстировка на параллельность отображения угловой диафрагмы и/или грубая юстировка первого промежуточного зрачка на плоскость поворота отклоняющей системы формата. Эта возможность имеет значение постольку, поскольку этим самым устанавливается диапазон значений для матричных коэффициентов связи (1) вращающейся15линзы 38 (фиг. 6) в не слишком широких пределах.целью достаточно точного выборарасстояний, при которых 0 = 0, можнопредусмотреть распорный цилиндр 35, 5высота которого при данных обстоятельствах может быть подобрана эмпирически, если допуски на изготовление ставят под сомнение точный предварительный расчет. Однократное эмпирическое определение происходитс помощью измеренных кривых 28 и 29,из расщепления которых можно определить как в случае фиг. 3 и 4, попростой Формуле изменение высоты распорного цилиндра 35. Для того, цтобыопределить Функциональную связь междутоками возбуждения 1 и 1 , котораяведет к кривой 28, целесообразно отключить промежуточную линзу и, кроме 20того, осуществить искусственное повышение апертуры путем качания центрирования пучка 26, 27 с поворотом вокруг угловой диафрагмы 3. Эта юстировка пригодна для однократного 25предварительного центрирования, ноне для текущей эксплуатации (из-занеобходимого для этого большой затраты времени). Кроме того симметричногосмещения конденсоров 4 и 6 при при- зоменении -ромежуточного кольца 35 может быть предусмотрена также воэможность общего аксиального перемещения, что, например, достигаетсяпутем изменения толщины промежуточных шайб в крепежных устройствахмагнитопроводов конденсоров 4 и 6без существенного ухудшения осуществленной юстировки при 0 = О. Благодаря общему аксиальному смещению изменяется разность тех возбужденийконденсоров 4 и 6, при которых отображается кроссовер 1 как на поворотной плоскости отклоняющей системыдля изменения формата 21, 22, так ина плоскости апертурной диафрагмы 10.Изменение разности встречно включенных возбуждений конденсоров означаетизменение угла поворота изображенияугловой диафрагмы 3 в плоскости угло- овой диафрагмь, 7. Этим обеспечиваетсягрубая юстировка сторон угловых диафрагм на оптическую параллельность,так что область настройки вращающейлинзы 38 и матрица связи 36 необходи-ма только для точной юстировки,56 16обусловливают как одинаковые, так и противоположное направления аксиального смещения конденсоров 4 и 6, можно представить в виде линейной комбинации разностей однозначных определяемых возбуждений, которые установлены всякий раз одним из четырех условий; отображение диафрагмы 3 на диафрагме 7 при преимущественно одинаковом возбуждении 1,1 = 12, отображение диафрагмы 3 на диафрагме 7 при параллельности сторон в иэображении угловой диа-фрагмы 3 и 7, отображение кроссовера 1 на плоскости апертурной диафрагмы 10 при преимущественно одинаковом возбуждении= 1 , отображение .кроссовера 1 на плоскости апертурной диафрагмы 10 при инваривантности места зрачка по отношению к вариации формата.Элементы устройства для реализации способа схематически показаны на фиг. 6 и 7. К ним относятся вращающаяся линза 38, вращающаяся линза 39 качания, включенная друг эа другом в противофазе пара 40 стигматоров 25 и 18, включенная друг за другом в противофазе пара 41 стигматоров 18, вклюценная друг за другом в противофазе квадропульная пара 42, квадропуль 43, синфазно включенная друг за другом пара 44 стигматоров 23 и 20 и матрица 36 связи, Вращающаяся линза представляет собой катушку с воздушным сердечником с несколькими слоями, например по сто витков, которые намотаны на внутренний цилиндр корпуса,несущего отклоняющую систему для Формата симметрично относительно средней плоскости. При максимальном токе до 100 мд и ускоряющем напряжении, например, 30 кВ эта линза обеснечи вает поворот вплоть да +3 изображенияоугловой диаФрагмы 3 в плоскости угловой диаФрагмы 7. При ее располо(ении в плоскости 5 первого промежуточного зрачка в этом диапазоне возбуждения практически не появляется дефокусировка второго (соответственно третьего ) промежуточного зрачка. Единственное побочное влияние состоит в повороте направления отклонения верхнего уровня 22 отклоняюцей системы Формата, который ведет к поперечному отклонению зрачка при смене формата, но которое можно просто скомпенсировать с помощью матрицы 36 связи ( коэффициенты матрицы а7 902 а) для отклоняющих токов, и которое не появляется во время процесса юстировки на параллельность отображения угловых диафрагм, поскольку система отклонения формата обесточена. 5Матрица 36 связи выполняет также другую функцию, а именно точную установку плоскости поворота системы отклонения формата на плоскость 5 пеового промежуточного эоачка, котооая осуществляется с помощью коэффициента матрицы а для отклонения по х-направлению и коэффициента матрицы ад.Я. по у-направлению. До сих пор выполнение этого условия осуществлялосьвспомогательным конденсором 2 (фиг, 1), который этим самым может быть исключен, Точно так же оказывается излишним вспомогательный конденсор 8, поскольку на основе выборов размеров 20 системы конденсоров при О = 0 фокусировка зрачка на плоскость апертурной диафрагмы должна осуществляться путем регулирования возбуждения конденсора, при котором, как следует 15 из Фиг. 5, обеспечено также неизбежное отображение угловой диафрагмы на плоскости угловой диафрагмы 7. Симметрично к средней плоскости отклоняющей системы формата расположена вращающаяся линза качания, возбуждаемая примерно в 5 раз сильнее по отношению к вращающейся линзе 38.Эта линза предназначена для распознавания возможного астигматизма первого35 промежуточного зрачка и может возбуждаться настолько, что поворот изображения между плоскостью первого промежуточного зрачка и плоскостью тре 40 тьего промежуточного зрачка или плоскостью апертурной диафрагмы изменяется, например, до +15", Критерием того, что изображение первого промежуточного зрачка является стигматичным, является наблюдаемое при качании45 вращающейся линзы 39 постоянство астигматизма зрачка в плоскости апертурной диафрагмы или, если зрачок уне стигматизирован в плоскости апертурной диафрагмы, получение стигматического отображения кроссовера в плоскости апертурной диафрагмы.Для того, чтобы простым способом продемонстрировать реализацию четвертого признака изобретения, предположим, что выбор размеров системы конденсоров происходит симметрично при О = О, что описывается соотношением 56 18а = е, 3= Н . Это имеет то преимущество, чтО при применении простого источника питания стигматоры 1 соответственно квадропули) могут быть одногЬ и того же типа, Преимущественно они состоят из четырех квадропулей (с 1, г, э, С), расположенных на четырех концентрических цилиндрах в радиальном направлении плотно друг над другом. Каждый квадропуль образуется из четырех симметрично расположенных по азимуту и соответствующим образом включенных седлообразных отклоняющих катушек с одинаковым числом витков. При этом два квадропуля. лежат азимутально параллельно, а обе пары квадропулей повернуты азимутально друг к другу на 5 . Электрические присо 6единения системы иэ четырех квадро- пулей выведены отдельно и соединяются попарно с квадропулями другой системы из четырех квадропулей по определенной схеме, которая показана на фиг. 7 и заключается в следующем.Для понимания принципа коммутации на фиг. 8 показан типичный ход двух основных решений г и г/ параксального дифференциального уравнения, Основная криваяимеет нулевые значения в точках 3и 7 угловых диафрагм 3 и 7, а основная кривая гр - нулевые значения в точках пересечения с осью 1 кроссовера 5 первого промежуточного зрачка и в точке 16 второго промежуточного зрачка, которая сопряжена с точкой на оси апертурной диафрагмы 10 через промежуточную линзу 9. Как известно, в подынтегральном выражении интеграла действия для астигматизма и эллиптического искажения слабых квадропульных полей эти основные кривые появляются в виде множителей. Подынтегральное выражение для асти гматизма зрачка содержит г, в ка 2. честве множителя, .а подыинтегральное выражение для эллиптического искажения отображения угловой диафрагмы содержит в качестве множителя произведение 1;у. )"р.Всякий раз два лежащих вдоль опти" ческой оси квадропуля включены друг за другом в одном направлении (соответственно в противоположном ) так, что они в одном месте их действие усиливается, а в другом компенсируется. Для этого необходимо, чтобы включенные к паре квадропулей квадропули различных систем были направлены ази