Патенты с меткой «зондоформирующей»

Номер патента: 1157589

Опубликовано: 23.05.1985

Авторы: Панкратов, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/26

Метки: зондоформирующей, системы, электромагнитной, юстировки

...растр с помощью отклоняющей системы. Яа эк ране индикатора формируют изображение участка обьекта с характеристи ческим элементом топологии в центре растра.После этого включают первый юсти руемый элемент, производят подфокусировку электронного зонда на объекте и изменяют полярность тока возбуждения обмоток вспомогательной линзы. При этом на экране регистрируется 25 смещение изображения на величину а соответствующую величине разъюстировки осей вспомогательной линзы и юстируемого элемента, С помощью какого-либо устройства юстируемый элемент перемещают на величину, вызывающую соответствуюшее перемещение изображения на экране: а 2 ="0,5 а,. Эти операции повторяют до того момента, когда а.дМ, где дМ- погрешность1 35 определения перемещения...

Номер патента: 1307490

Опубликовано: 30.04.1987

Автор: Рыбалко

МПК: H01J 37/26

Метки: зондоформирующей, системы, электромагнитной, юстировки

...поля этои45жение будет иметь вид ровного кругапри горизонтальном положении о ъектоонтальном положении объекто- тоДержателЯ наклонЯют в стоРонУ придержателя. такого емного окна преобРажения не представляется слож- чения сим етрич изным как при ручном, так и при авто- верстия диафрагмы,Составитель В.ГаврюшинРедактор А.Гулько Техред В.Кадар Корректор М.Шароши Заказ 1 б 37/50 Тираж 699 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д,4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к микрозондовой технике, может быть использовано в электронной и ионной микроскопии, и является дополнительным к авт. св. У 1157589. 5Целью...