Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 51)4 Н 01 237 РЕТЕНИЯ АВТОВС лектронного ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОПИСАНИЕ У СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Московский институт эмашиностроения(56) Авторское свидетельство СССУ 1157589, кл. Н 01 3 37/26, 198(54) СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЗОНДОФОРМИРУЮЩЕЙ СИСТЕМЫ(57) Изобретение относится к областимикрозондовой техники и является усовершенствованием известного способаюстировки электромагнитной зондофор.мирующей системы по авт.св.У 1157589,Цель - повышение точности юстировки.При юстировке перемещают юстируемыеэлементы до положений, при которыхизображения (И) в плоскости объектодержателя (0), полученные для прямой и обратнои полярности тока возбуждения, смещены. Перед получением И между юстируемыми элементами и О устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу (ВЭЛ) и изменение полярности тока осуществляют только ВЭЛ.Для достижения цели ВЭЛ возбуждаютдо уровня, при котором ее плоскостьизображения совмещена с плоскостьюдиафрагмы, устанавливаемой в областифокусирующего магнитного потока этойВЭЛ, а плоскость О наклоняют до техпор, пока не исчезнет асимметрия Иполуокружностей границ И отверстиядиафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта,который подвергался исследованию доюстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени на поиск исовмещение этого участка с полем облучения, .Изобретение может быть использовано в электронной и ионноймикроскопии.1307490 Ф о р м у л а изобретения В данном случае характеристическим Способ юстировки электромагнитнойэлементом является круглое отверстие зондоформирующей системы по авт. св.диафрагмы, смещение центра изображе- ф 1157589, о т л и ч а ю щ и й с яния которого определяют по смещению 40тем, что, с целью повышения точностиего границ. При регистрации прошедших юстировки, вспомогательную линзу возили отраженных электронов преобразо- буждают до УРовня, при котором еевателем приемное окно которого рас- плоскость изображения и плоскостьположено симметрично относительно диафрагмы, устанавливаемои в областио си симметри диафрагмы, это изобра- фокусирующего магнитного поля этои45жение будет иметь вид ровного кругапри горизонтальном положении о ъектоонтальном положении объекто- тоДержателЯ наклонЯют в стоРонУ придержателя. такого емного окна преобРажения не представляется слож- чения сим етрич изным как при ручном, так и при авто- верстия диафрагмы,Составитель В.ГаврюшинРедактор А.Гулько Техред В.Кадар Корректор М.Шароши Заказ 1 б 37/50 Тираж 699 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д,4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к микрозондовой технике, может быть использовано в электронной и ионной микроскопии, и является дополнительным к авт. св. У 1157589. 5Целью изобретения является повышение точности юстировки, достигаемое за. счет использования в качестве контрольного изображения для отверстия диафрагмы. 10Сущность изобретения заключается в следующем.При юстировке электромагнитной зондоформирующей системы перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображенйя в плоскости объектодержателя, полученные для прямой и обратной полярности тока возбуждения, совмещены. Неред получением изображений между юстируемыми элементами и объектодержателем 20 устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу и изменение полярности тока осуществляют только во вспомогательной линзе. При этом вспомогательную линзу возбуждают до уров ня, при котором ее плоскость изображения совмещена с плоскостью диафрагмы, устанавливаемой в области фокусирующего магнитного поля этой линзы,Таким образом анализируют смеще ние изображения отверстия диафрагмы, что существенно повышает точность юстировки, так как погрешность позиционирования объектодержателя не оказывает влияния на точность юстировки. 35 матическом режимах юстировки. Однако в микрозондовой технике принято использовать в основном несимметрично расположенные преобразователи. В этом случае изображение отверстия диафрагмы состоит из двух полуокружностей, плоскость деления которых параллельна плоскости приемного окна преобразователя. Поток первичных электронов претерпевает двойное Рассеяние - сначала на краях диафрагмы, а затем в плоскости объектодержателя и лишь затем попадают на преобразователь, Несимметричность рассеяния на краях диафрагм относительно приемного окна преобразователя может быть скомпенсирована несимметричнос,тью рассеяния в плоскости объектодержателя, Это обеспечивается наклоном облучаемой плоскости объектодержателя в сторону приемного окна преобразователя.Наклон объектодержателя осуществляют до тех пор, пока не исчезнет асимметрия изображения полуокружностей границ изображения отверстия диафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта, который подвергался исследованию до юстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени на поиск и совмещение этого участка с полем облучения.