Устройство дефектоскопического контроля планарных структур

ЗОБРЕ ГЕНИЯДЕТЕЛЬСТВУ МА СКОМУ С при межоперационном автоматическомконтроле. Целью изобретения являетсяуменьшение времени контроля правильных 2 п-угольников эа счет исключенияоперации базирования. В устройство,содержащее координатный стол, оптическую систему и телевизионный датчик, синхронизатор, пороговый элемент, видеоконтрольное устройство,блок формирования "электронного окна", введены . блок определения спектра изображения, блок привязки спектра изображения, блок формированияадресов, блок запоминания спектраиэображения, блок анализа спектраизображения и блок управления, чтопозволяет эффективно решить поставленную задачу. Устройство может найти применение в приборостроительныхотраслях промышленности и отраслях,связанных с точным машиностроением.4 з.п.ф-лы, О ил. ков за с эирования.На фиг. представлена структурная схема предлагаемого устройства; на фиг2 - функциональная схема генератора тактовых импульсов; на фиг.3функциональная схема блока формирования "электронного окна"; на фиг.4 - функциональная схема блока определения спектра изображения; на фиг.5 -функциональная схема блока привязкиспектра изображения; иа фиг.б - функциональная схема блока формированияадресов; на фиг.7 - функциональнаясхема блока запоминания спектра изображения; на фиг.8 " функциональная ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГННТ СССР дК.И.Колляков, Г.Н.Явнов и В.К.Румас(56) Авторское свидетельство СССРВ 1381731, кл. Н 04 И 7/18, 1985.(54) УСТРОЙСТВО ДЕФЕКТОСКОПИЧЕСКОГОКОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР,(57) Изобретение относится к технологии радиоаппаратостроения, а имен"но к устройствам для обнаружения дефектов поверхностей, в частности каппаратуре неразрушающего контролякачества планарных структур, к которым относятся незагерметиэированныедискретные и интегральные полупроводниковые структуры, фотошаблоны, позволяет выявлять аномалии и дефектытопологии и может быть использовано Изобретение относится к технологии радиоаппаратостроения, а именно к устройствам для обнаружения дефектов4поверхностей, в частности к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметизированные дискрет,ные и интегральные полупроводниковые структуры, толстопленочные платы гибридных интегральных схем, фотошаблоны, предназначено для выявления и оценки аномалий и дефектов топологии и может быть использовано при межоперационном автоматическом контроле.Цель изобретения - уменьшение времвнн контроля правильных 2 п-угольт исключения операции ба"РПИЛ з 4682/40 Тираж 789 Гагарина, 10 оиэводственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород,Составитель В,Сор И.Горная Техред М,Дидык НИИПИ Государственного комитета по и 113035, Москва, Ж, богатоваКорректс Подписное етениям и открытиям при ГКНТ СССРУшакая наб., д. 4/53 1499195 схема блока анализа спектра иэображения; иа фиг.9 - функциональная схема блока управления; на фиг.10 - принцип определения симметричности горизонтального спектра изображения планарной структуры.Устройство дефектоскопического контроля планарных структур (фиг,1) содержит оптически соединенные коор динатный стол 1, оптическую систему 2 и телевизионный датчик 3, причем все они находятся на одной оптической оси. Выход телевизионного датчика 3 подключен к входам видеоконт рольного устройства 4 и порогового элемента 5. Выходы кадровой и строчной синхронизации синхронизатора 6 подключены к соответствующим входам генератора 7 тактовых импульсов и те левизионного датчика 3. Входы блока 8 формирования "электронного окна" соединены соответственно с выходами порогового элемента 5 и генератора 7 тактовых импульсов. Первый и второй выходы блока 8 формирования "электронного окна" подключены соответственно к первому и второму входам блока 9 определения спектра изображения, а к третьему входу - выход генератора 30 7 тактовых импульсов . К первому и второму входам блока 10 привязки спектра изображения подключены соответственно второй и третий выходы блока 8 формирования электронного окна, а первый 35 выход его подключен к входу блока 11 формирования адресов. Управляющий выход блока 11 формирования адресов является первым выходом устройства, а второй выход соединен с адресным вхо б дом блока 12 запоминания спектра изображения, информационный вход которого соединен с выходом блока 9 определения спектра изображения. Выход блока 12 запоминания спектра иэобра жения подключен к входу блока 13 анализа спектра, первый и второй выходы его соединены с вторым и третьим входами блока 11 формирования адресов, а третий выход является вторым выхоО дом устройства и одновременно подключен к третьему входу блока 14 управ,ления. Первый, второй и с четвертого по седьмой входы блока 14 управления соединены соответственно с вторым выходом блока 10 привязки спектра изображения, с первым выходом блока 11 формирования адресов, с выходами кадровой и строчной синхронизации синхрониэатора 6, с первым входом устройства и с первым выходом блока 13 анализа спектра иэображения. ВыхОды блока 14 управления с первого по пятый подключены соответственно к четвертому и пятому входам блока 9 определения спектра изображения, к третьему и четвертому входам блока 10, к четвертому и шестому входам блока 11 формирования адресов.Координатный стол 1 предназначен для точного позиционирования контролируемой планарной структуры в поле зрения телевизионного датчика 3.Оптическая система 2 служит для создания оптической связи между координатным столом 1 с находящимся на нем объектом контроля (планарной структурой) и телевизионным датчиком 3.Телевизионный датчик 3 предназначен для создания аналогового электрического видеосигнала, соответствующего иэображению контролируемой планарной структуры. Видеоконтрольное устройство 4 предназначено для визуализации контролируемой планарной структуры.Пороговый элемент 5 служит для преобразования аналогового электрического видеосигнала, вырабатываемого телевизионным датчиком 3, в бинарный цифровой сигнал, уровни логическихО и 1 которого соответствуют напряжениям " О " и " 1 " для интегральных микросхем .Синхронизатор 6 предназначен для выработки сигналов кадровой и с трочной синхронизации , синхрони зирующих работу телевизионного датчика 3 и в с его устройства в целом .Генератор 7 тактовых импульсов (фиг . 2 ) служит для генерации импульсов , следующих с частотой 1 О МГц и предназначенных для квантования видео сиг нала по времени и синхронизации работы всего устройства в промежутке времени между строчными импульсами синхрониэ ации , Генератор 7 т актовых импульсов представляет собой релаксационный генератор , содержащий элемент ИЛИ 1 5 , входы которого являются входами кадровой и строчной син-, хрониэ ации , а выход подключен к первому входу элемента И-НЕ 1 6 выходкоторого соединен с входом инвертора 17. Выход последнего является выхо 4991дом генератора 7 тактовых импульсов.Между вторым входом элемента И-НЕ 6и его выходом включен резистор 8, амежду этим же входом элемента И-НЕ 16и выходом инвертора 17 подключен конденсатор 19,Блок 8 формирования "электронногоокна" (фиг.3) предназначен для задержки видеосигнала на время длительности Остроки, равное 64 мкс, и задержки видеосигнала на время длительности такта, равное 100 нс, и содержит элемент120 задержки на время 64 мкс, выходкоторого является первым входом и, 5одновременно третьим выходом блока 8формирования электронного окна", Выход элемента задержки является вторымвыходом блока 8 формирования "электронного окна" и одновременно подключен к Р-входу Р-триггера 21, С-входкоторого подключен к второму входу,а выход - к первому выходу блока 8формирования электронного окна".Блок 9 определения спектра изображения (фиг.4) служит для выработкидвоичного кода горизонтального спектра, т.е. в каждой строке блок определяет число элементов разложения изображения объекта. Блок 9 определения 30спектра изображения содержит элементИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 22, входы которогоявляются первым и вторым входами блока, а выход подключен к С-входу 3 Ктриггера. К-вход ЗК-триггера 23 подключен к источнику питания, 3-вход -к пятому входу блока 9 определенияспектра, а прямой выход - к первомувходу элемента И 24, второй вход которого является третьим входом блока, 40а выход соединен с первым входом двоичного счетчика 25. Второй входсчетчика является четвертым входомблока 9 определения спектра иэображения, а выходы соединены соответственно с первыми входами элемента И 26первой группы, Инверсный выход ЛКтриггера 23 подключен к Б-входу КБтриггера 27, К-вход которого соединенс третьим входом блока, а выход - с 50вторыми входами элементов И 26 первойгруппы, выход которой является выходом всего блока.Блок О привязки спектра изображения (фиг.5) служит для определенияразмера изображения планарной структурй по вертикали и в соответствии сэтим определения моментов включенияи выключения блока 11 формирования 95 6адресов (фиг.6) для запоминания спектра. Блок О привязки спектра содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 28, входы которого являются первым и вторым ; входами блока, а выход подключен к С-входу 3 К-триггера 29. К-вход ,3 К- триггера 29 подключен к источнику питания, Л-вход является третьим входом блока, выход подключен ко вторым входам элемента И 30 и Р-триггера 31, ко вторым входам которых подключен четвертый вход блока, а выходы являются соответственно первым и вторым выхо" дами блока 1 О привязки спектра.Блок 11 формирования адресов (фиг.6) предназначен для формирования адресных кодов, по которым происходят запись и считывание элементов спектра из блока запоминания спектра (фиг.7). Блок содержит реверсивный счетчик 32 и прямой счетчик 33, причем первый вход реверсивного счетчика 32 является первым входом блока, а вторые входы обоих счетчиков соединены с шестым входом блока. Выходы реверсивно-, го счетчика 32 соединены соответственно со вторыми входами элементов И 34 первой группы, первые входы которых объединены и являются пятью входом блока, а выходы соответственно подключены к первым входам группы элементов ИЛИ 35Второй вход блока соединен с первым входом первого элемента И 36, выход которого соединен с первым входом КЯ-триггера 37. Второй вход ВЯ-триггера 37 соединен с шестым входом блока, а выход подключен к первому входу элемента И 38, второй вход которого является третьим входом блока. Выход второго элемента И 38 подключен к первому входу третьего элемента И 39. Четвертый вход блока соединен со вторыми входами первого 36 и третьего 39 элементов И.Выход третьего элемента И 39 подключен к третьему входу реверсивного счетчика 32. К входам элементов И 40 второй группы подключены соответственно выходы прямого счетчика 33 и второй вход блока 11, а выходы соединены соответственно со вторыми входами группы элементов ИЛИ 35, выход которой является вторым выходом блока 11. Первым выходом блока 11 является выход реверсивного счетчика 32.Блок 2 запоминания спектра (фиг.7) предназначен для запоминания элементов горизонтального спектра в соответст 149919вии с адресами, поступающими из блока 11 формирования адресов (фиг.б). Блок запоминания спектра представляет собой ряд параллельно включенных оперативных запоминающих устройств 41 (ОЗУ), причем адресные сигналы с блока 11 формирования адресов н управляющий сигнал с блока 14 управления (фиг.9) поступают соответственно од новременно на адресные и управляющие входы всех ОЗУ 41, а на их информационные входы поступают параллельные коды с блока 9 определения спектра изображения. Информационные выходы 15 ОЗУ 41 являютСя выходами блока.Блок 13 анализа спектра (фиг.8) производит попарное сравнение элементов спектра и выдает информацию о симметричности контролируемой струк турц. Вход блока 13 анализа спектра подключен к первым входам элементов И 42 и 43 первой и второй групп. Выходы элементов И 42 первой группыподключены к Б-входам группы КБ-триг геров 44выходы которой и выходы элементов И 43 второй группы объединены группой элементов ИСЮЮЧАЕЩЕЕ ИЛИ инверсное 45, Выходы элементов этой группы объединены многовходовым эле ментом И 46. Инверсный выход многовходового элемента И 46 является третьим выходом блока. Дополнительно прямой и инверсный выходы многовходового элекента И 46 объединены элемен том ИЛИ 47, выход которого соединен с К-входаин группы К 5-триггеров 44. Выходы элементов И 42 первой группы дополнительно объединены многовходо" вым элементом ИЛИ 48, прямой и инвер сный выходы которого являются соответственно вторым и первым выходами блока и подключены соответственно ко вторым входам элементов И 42 и 43 первой и второй групп. 45Блок 14 управления (фиг.9), предназначеи для обеспечения правильных режимов работы остальных блоков устройства. Блок 14 управления содержит первый 49 и второй 50 элементы И, первые входы которых являются соответственно пятым и четвертым входами блока, а вторые входы соединены с шестым входом блока. Выход первого элемента И 49 является первым выходом блока и подключен к первому входу третьего элемента И 51, выход которого являет,ся третьим выходом блока. Второй и третий входы блока объединяются первым 5 8(элементом ИЛИ 52, выход которого является пятым выходом блока 14 управления и одновременно подключен к 8"входу КЯ-триггера 53. Выход второгоэлемента И 50 подключен к первому входу счетчика 54. Первый выход счетчика54 подключен к К -входу КЯ-триггера53, является вторым выходом блока, авторой выход счетчика 54 соединен спервым входом четвертого элемента И55 и замкнут на второй вход счетчика54, Второй вход четвертого элементаИ 55 является седьмым входом блока,а выход соединен с первым входом второго элемента ИЛИ 56, выход которогоявляется четвертым выходом блока, Инверсный выход КБ-триггера 53 соединен со вторым входом второго элемента И 50.Устройство работает следующим образом,Контролируемая планарная структура устанавливается нв координатныйстол 1 и ее изображение, увеличенноеоптической системой 2, передаетсяна мишень видикона телевизионногодатчика 3, который развертывает полученное изображение в последовательныйстандартный электрический сигнал. Работа телевизионного датчика 3 синхронизируется строчными и кадровыми синхроимпульсами от синхронизатора 6. Свыхода телевизионного датчика 3 видеосигнал поступает на вход порогового элемента 5 и видеоконтрольногоустройства 4. Пороговый элемент 5осуществляет двухуровневое квантование видеосигнала по амплитуде и привязку значений выходного сигнала клогическим значениям "0" и "1", Видеоконтрольное устройство 4 отображает иэображение планарной структурыиа экране, С выхода порогового элемента 5 видеосигнал поступает на входблока 8 формирования "электронногоокна", т.е. на вход элемента 20 задержки, на котором он задерживаетсяна время длительности строки, а затем поступает на вход Р-триггера 21,на котором он задерживается на времядлительности такта. Таким образом образуется "электронное окно" размером2 х 2 элемента разложения, имеющее форму уголка, которое зв время кадра поСледовательно пробегает все элементыразложения. Работа Р-триггера обеспечивается генератором 7 тактовых импульсов, который синхронизируется1 О 20 25 30 35 40 45 50 кадровыми и строчными синхроимпульсами по соответствующим входам. При .этом синхроимпульсы подаются на двавхода элемента ИЛИ 15, где они смешиваются и по первому входу стробируют собственно генератор, собранный на двухвходовом элементе И-НЕ 16, инверторе 17, резисторе 18 и конденсаторе19, величины параметров которых определяют рабочую частоту генератора 7 тактовых импульсовСигнал разрешения измерения, поступающий на устройство, открывает входные элементы И 49 и 50, через ко торые в блок 14 управления проходят кадровые и строчные синхроимпульсы. Кадровые синхроимпульсы поступают насчетчик 54, работающий в режиме делителя на два. Таким образом, работавсего устройства распадается на двакадра.В первом кадре на выходе счетчика54 присутствует сигнал логической 1единицы (на выходе "1"), на выходе.7 К-триггеров 23 и 29 блока 9 определения спектра иэображения и блока 10 привязки спектра. Поскольку на К-входах этих триггеров постоянно присутствует сигнал логической единицы, то ,7 К-триггеры работают как обычные Т- триггеры,Как только в вертикальных элементах "электронного окна" появляетсясочетание "0-1", свидетельствующее о том, что с данной строки в кадре начинается изображение объекта, на выходе элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 28 появляется сигнал логической единицы,который переводит ЛК-триггер в закрытое состояние. 7 К-триггер 29 открывает элементы И 30, и на вход реверсивного счетчика 32 начинают поступать строчные синхроимпульсы. 0-триггер 31 стробирует первую группу элементов И 34, которая пропускает выходной код с реверсивного счетчика,32 через группу элементов ИЛИ 35 наадресные входы ОЗУ 41 блока 12 запоминания спектра. В течение следующейстроки, как только в гориэонтапьныхэлементах окна появляется сочетание"0-1", то аналогично тому, как это происходит в блоке 1 О привязки спект"ра, тактовые импульсы с генератора 7 тактовых импульсов начинают поступать на вход двоичного счетчика 25. Таким образом происходит подсчет числа элементов объекта в данной строке.В момент, когда кончается изображение объекта в данной строкедК- триггер 23 переходит в выключенное состояние, что прерывает стробирование элемента,И 24 и на выходе счетчи-. ка 25 фиксируется код, соответствующий числу элементов разложения иэоб" ражения планарной структуры в данной строке. Одновременно положительный перепад с инверсного выхода ЗК-триггера 23 включает КЯ-триггер 27, который стробирует выходную группу элементов И 26, и на информационные входы ОЗУ 41 блока 2 запоминания спектра изображения подается двоичный код с выхода счетчика. Поскольку ОЗУ 4 в соответствии с сигналом из блока 14 управления работают в режиме записи, то по адресу, соответствующему номеру данной строки в изображении объекта, в него записывается число, соответствующее числу элементов разложения в иэображеиии объекта в строке. Аналогично, при появлении в вертикальных столбцах "электронного окна" сочетаыия "1-0", Ж-триггер 29 выключается и перестает стробировать элемент И 30. На выходе реверсивного счетчика 32 фиксируется код, соответствующий номеру последней строки изображения объекта. Чтобы избежать записи нулевой информации по последнему адресу при отключении выходной группы элементов И 26 от информационных входов ОЗУ 41, 0-триггер 3 после последнего счетного, строчного синхроимпульса перестает стробировать первую группу элементов И 34,и перекрывает адресные входы ОЗУ 41. Таким образом, носле первого кадра в блоке 12 запоминания спектра оказывается записан весь горизонтальный спектр иэображения контролируемой структуры. Во втором кадре происходит собст" венно контроль изображения планарной структуры. Контроль основан на том, что для бездефектной 2 п-угольной структуры независимо от ее разворота относительно строчной развертки горизонтальный спектр полностью симметричен, а если в контролируемой планарной структуре имеется некий де-.". фект, то в горизонтальном спектре появляется провал или выброс и он становится несимметричным (фиг.10).14991 Во втором кадре на первом выходе счетчика 54 появляется сигнал логического нуля, который, воздействует на 7-входы ЗК-триггеров 23 и 29, переводит их в пассивное состояние и этим отключает блок 8 формирования "электронного окна от остальных бло.ков устройства. Во время длительности первой строки на адресных входах ОЗУ 10 41 присутствует код с выходов реверсивного счетчика 32, соответствующий последней строке разложения изображения объекта. Код проходит через первую группу элементов И 34 благо даря тому, что на входах многовходового элемента ИЛИ 48 блока 13 анализа спектра сигналы отсутствуют и на его инверсном выходе присутствует сигнал логической единицы. Поскольку 20 ОЗУ 41 в данном кадре сигналом из блока 14 управления переводятся в режим считывания, то код числа элементов в данной строке, считанный иэ блока 12 запоминания спектра иэобра жения, проходит через первую группу элементов И 42, записывается в КБ- триггерах 44 и воздействует на входы многовходового элемента ИЛИ 48 блока 13 анализа, спектра изображения, что 30 приводит к прекращению, стробирования элементов И 34 первой группы в блоке 11 формирования адресов. и первой группы элементов И 42 в блоке 13 анализа спектра изображения и к стробированию элемента И 36 и второй группы 1элементов И 40 в блоке 11 формирования адресов и второй группы элементов И 43 в блоке 13 анализа спектра. Следующий строчной синхроимпульс прохо- М дит через элемент И 36, включает КВ- триггер 37 и воздействует на счетный 1вход прямого счетчика 33, откуда код, соответствующий номеру синхроимпульса, через вторую группу элементов И 40 и 4 Б группу элементов ИЛИ 35 проходит на блок 13 анализа спектра и через вторую группу элементов И 43 поступает 1на вторые входы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ инверсное 45, где происходит сравнение данного кода с кодом, хранящимся в КБ-триггерах 44. Если коды не равны, то на инверсном выходе многовходового элемента И 46 появляется сигнал "1", С помощью элемента ИЛИ 47 происходит обнуление КБ-триггеров 44, что подготавливает блок 13 анализа спектра к следующему циклу сравнения 9512(к сравнению следующей пары элементовспектра),Поскольку блок 13 анализа спекТраизображения возвращен в исходное состояние, то очередной строчный синхроимпульс через третий элемент И 39проходит на вход вычитания реверсивного счетчика 32. Таким образом, вблоке 13 анализа спектра изображенияпроисходит попарное сравнение элементов спектра по принципу "первый - по-.следний , второй - предпоследнийи т.д. Если спектр имеет четное число элементов, то сравниваются попарно все элементы спектра, а если вспектре нечетное число элементов, тоцентральный элемент спектра сравнивается сам с собой, что не влияет нарезультат измерения, Если все элементы в спектре попарно равны, то кактолько реверсивный счетчик 32 выработает сигналО", что свидетельствует об анализе последних элементов вспектре, то делается вывод о симметричности спектра, т.е. о бездефектности планарной структуры.Как только вырабатывается сигналлибо о симметричности, либо о несимметричности спектра, то выработанныйсигнал обнуляет прямой 33 и реверсивный 32 счетчики, а также КЯ-триггер37 в блоке 11 формирования адресов.Одновременно этот же сигнал включаетКЯ-триггер 53 в блоке 4 управления.Сигнал с инверсного выхода КЯ-триггера 53 закрывает третий элемент И 51,в результате чего строчные синхроимпульсы перестают поступать на входысчетчиков 32 и 33. Этот запрет снимается обнулением КБ-триггера 53 приследующем измерении сигналов с первого выхода счетчика 54.Предлагаемое устройство обеспечивает воэможность контроля не толькочетырехугольных, но и более сложных2 п-угольных планарных структур, атакже позволяет исключить предварительное базирование планарной структуры на координатном столе, являетсяболее универсальным, а процесс контроля становится менее трудоемким. Формула изобретения 1. Устройство дефектоскопического контроля планарных структур, содержащее оптически соединенные и расположенные на одной оптической оси ко 13149919514ординатный стол, оптическую систему и телевизионный датчик, входы строчной и кадровой синхронизации которого подключены к соответствующим выходам синхронизатора, выход телевизионного датчика подключен к входу порогового элемента и видеоконтрольного устройства, выход порогового элемента соединен с первым входом блока формирования "электронного окна", генератор тактовых импульсов, первый и второй входы которого соединены соответственно с кадровым и строчным выходами синхронизатора, отличающееся тем,что,с целью уменьшения времени контроля правильных 2 п-угольников.за счет исключения операции базирования, в устройство введены блок определенияШспектра изображения, блок привязки спектра изображения, блок формирования адресов, блок запоминания спектра изображения, блок анализа спектра изображения и блок управления, причем выход генератора тактовых импульсов подключен к второму входу блока формирования "элеронноо окна", первый и второй выходы которого соединены соответственно с первым и вторым входами блока определения спектра изображения, третий, четвертый и пятый входы которого соединены соответственно с выходом генератора тактовых импульсов, с первым и вторым выходами блока управления, информационный выход блока определения спектра изображения соединен с информационным входом блока запоминания спектра изображения, первый и второй входы блока привязки спектра изображения соединены соответственно с вторым и третьим выходами блока формирования электронного окна, а третий и четвертый - с вторым и третьим выходами блока управления, первый выход блока привязки спектра изображения соединен с первым входом блока формирования адресов, а второй выход - с первым входом блока управления, второй и третий входы блока формирования адресов соединены соответственно с вторым и первым выходами блока анализа спектра изображения, а четвертый, пятый и шестой входы - соответственно с третьим, четвертым и пятым выходами блока уп 1 равления, управляющий выход блока формирования адресов соединен с вторым входом блока управления и являет.Ф510 ся первым выходом устройства, адресный выход блока формирования адресовподключен к адресному входу блока запоминания спектра изображения, управляющий вход которого соединен с вторым выходом блока управления, а информационный выход - к входу блокаанализа спектра изображения, третийвыход которого подключен к третьему входу блока управления и являетсявторым выходом устройства, четвертыйи пятый входы блока управления подключены соответственно к кадровому истрочному выходам синхронизатора,шестой вход блока управления подключен к входу устройства, а седьмойвход - к первому выходу блока анализа спектра изображения202. Устройство по и.1, о т л и ч а -ю щ е е с я тем, что блок определения спектра изображения содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, первый и вто рой входы которого являются первыми вторым входами блока определенияспектра изображения, ЛК-триггер, Свход которого соединен с выходом элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, К-вход подключен к источнику питания, а Л-вход является пятым входом блока определенияспектра изображения, элемент И, первый вход которого соединен с прямымвыходом ЗК-триггера, а второй входявляется третьим входом блока определения спектра изображения, двоичныйсчетчик, первый вход которого соединен с выходом элемента И, второй входявляется четвертым входом блока определения спектра иэображения, а информационные выходы подключены к первымвходам группы элементов И, КЯ-триггер, первый вход которого соединен синверсным выходом ЛК-триггера, второйвход - с третьим входом блока определения спектра иэображения, а выход -с вторыми входами группы элементов И,выход которых является выходом блокаопределения спектра иэображения.3. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, блок привязки спектра изображения содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕИЛИ, первый и второй входы которогоявляются первым и вторым входами блока привязки спектра изображения, ЗКтриггер, С-вход которого подключен к выходу элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, К- вход соединен с источником питания, а Ю-вход является третьим входом бло 151 б1499195ка привязки спектра изображения, элемент И, первый вход которого является четвертым входом блока привязкиспектра иэображения, второй вход соединен с выходом ЛК-триггера, а выходявляется первым выходом блока привязки спектра иэображения, 0-триггер,первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вто"рым входами элемента И, а выход является вторым выходом блока привязкиспектра изображения,4. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что блок формирования адресов. содержит реверсивныйсчетчик, первый и третий входы которого являются первым и шестым входами блока формирования адресов, второй выход является первым выходомблока формирования адресов, первуюгруппу элементов И, первые входы которых соединены с пятым входом блокаформирования адресов, а вторые входыподключены соответственно к информационным выходам реверсивного счетчика, группу элементов ИЛИ, первые входы которой соединены соответственнос выходами элементов И первой группы,первый элемент И, первый и второйвходы которого соединены соответственно с вторым и четвертым входамиблока формирования адресов, ВЯ-триггер, первый вход которого подключенк выходу первого элемента И, а второй вход соединен с шестым входомблока формирования адресов, второйэлемент И, первый вход которого соединен с выходом В 5-триггера, а второйвход является третьим входом блокаформирования адресов, третий элементИ, первый вход которого подключен квыходу второго элемента И, второйвход соединен с четвертым входом блока формирования адресов, а выход соединен с вторым входом реверсивногосчетчйка, двоичный счетчик, первыйвход которого соединен с выходом пер вого элемента И, а второй вход - сшестым входом блока формирования адресов, вторую группу элементов И,первые и вторые входы которых соединены соответственно с информационными выходами двоичного счетчика и свторым входом блока формирования адресов, а выходы подключены соответственно к вторым входам группы элемен 1тов ИЛИ, причем выходы группы элементов ИЛИ представляют собой адресныйвыход блока формирования адресов. 5 1 О 15 5. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что блок анализа спектра изображения содержит первую и вторую группы элементов И, причем первые. входы элементов И обеих групп соединены с входом блока анализа спектра, группу В 5-триггеров, первые входы которых подключены соответственно к выходам элементов И первой группы, группу элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ инверсное, первые и вторые входы которых соединены соответственно с выходами ВБ-триггеров и элементов И второй группы, многовходовый элемент И, имеющий прямой и инверсный выходы, причем входы его соединены соответственно с выходами элементов ИСКЛЮЧАЮ 35 М40 45 20 25 30 ЩЕЕ ИЛИ инверсное, а оба выхода многовходового элемента И объединеныэлементом ИЛИ и дополнительно инверсный выход многовходового элемента Иявляется третьим выходом блока анализа спектра изображения, выход элемента ИЛИ соединен с вторыми входами ВБтриггеров, входы многовходового элемента ИЛИ подключены соответственнок выходам элементов И первой группы,прямой и инверсный вйходы многовходового элемента ИЛИ являются соответственно вторым и первым выходами блокаанализа спектра изображения и соответственно подключены к вторым входамвторой и первой групп элементов И.