Свч-эллипсометр

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 191 01) 11 22/О 04 ЕЕ" ВТН;1",Е,10 ИЯ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТН А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 7/24.87 424522 0914.0507.08.89. БюлБелорусский итутН.Н.Пунько, А.Установка дляой диэлектричесмиллиметровом иапазонах волн.иоэлектроника,.78-82. Конев о Н.Н ун адиов метр я,/аукрбов од. реди техник Н ЩеА. и др мплексн мости в змерения ой прони тровом ди УЗов. Рад Х, У 2, с субмиллимИзвестия1976, т.Х(54) СВЧ-ЭЛЛИПСО (57) Изобретение измерений на СВЧ уменьшение габар Т тся к техн изобретени массы.СВЧтно Цел тов и жит С эллипсометр сод новодно-лучевые-р 1,в ВЛН) 2,ерех Фвф ОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР поляризатор 3, держатель образца (ДО) 4, выполненный в виде уголко - вого поворота на базе круглого ди - электрического лучевода с повышен ными потерями, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, поляризационный делитель 7, СВЧ-детекторы 8, у-ли 9, измеритель 10 от - ношения, индикатор 11, исследуемый образец 12 с измеряемой пленкой. Для достижения цели аттенюаторы включены соответственно между поляризатором 3 и ДО 4, ДО 4 и поляризацион-, ным делителем 7, конструктивно объединены с ДО 4. В каждом из измеритель-ных каналов сигнал через ВЛП 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напряжения с с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально поляризованных составляющих отраженного от исследуемого:образца 12 сигнала, усиливаются усилителями 9 и поступают на входы измерителя 10 отношения, сигнал с выхода которого регистрирует- М ся индикатором 11. 1 нл.6 4с взаимно ортогональной поляризацией, которые направляются в измерительные каналы. В каждом из измерительных каналов сигнал через волноводно-лучевые переходы 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напряжения с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально поляризованных составляющих отраженного от исследуемого образца сигнала усиливаются усилителями 9 и поступают на первый и второй входы измерителя 1 О отношений, сигнал с выхода которого регистрируется индикатором 11,Формула изобре тения Составитель В.ГончаровРедактор И.Горная Техред М, Дидык Корректор О.Ципле Заказ 4682/40 Тираж 789 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,01 Э 1499 9Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может быть исполь зовано при измерении параметров покрытий, в частности для определения толщины тонких металлических пленок на диэлектрических подложкахнепроводящих покрытий на металлах, комплексной диэлектрической проницаемости материалов. 10Цель изобретения - уменьшение габаритов и массы.На чертеже представлена электрическая Функциональная схема СВЧ-эллипсометра. 15СВЧ-эллипсометр содержит СВЧ-генератор 1, волноводно-лучевые переходы 2, поляризатор 3, держатель 4 образца, выполненный в виде уголкового поворота на базе круглого ди"; 20 электрического лучевода с повышенными потерями, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, поляризационный делитель 7, СВЧ-де текторы 8, усилители 9, измеритель 1 О отношения, индикатор 11 и исследуемый образец 12 с измеряемой пленкой.СВЧ-эллипсометр работает следую щим образом.Сверхвысокочастотные электромагнитные колебания, генерируемые СВЧ-генератором 1, через первый волноводно-лучевой переход 2 и поляри 35 затор 3 пропускающий компоненту волны заданной поляризации, например ли- нейно поляризованную, под углом 45 к плоскости падения, вводятся в лучевод с повышенными погонными потеря ми образующий аттенюаторы 5 и 6. После отражения от исследуемого образца 12 поляризация сигнала изменяется, Поляриэационным делителем 7 отраженный сигнал разделяется на два СВЧ-эллипсометр, содержащий последовательно соединенные СВЧ-генератор,первый волноводно-лучевой переход,поляризатор, держатель образца, поляризационный делитель, второй волноводно-лучевой переход, СВЧ-детектор,первый усилитель, измеритель отношений и индикатор, последовательно соединенные третий волноводно-лучевойпереход, связанный с вторым выходомполяризационного делителя, второйСВЧ-детектор и второй усилитель, соединенный с вторым входом измерителяотношений, первый аттенюатор в канале падающей волны и второй аттенюаторв канале отраженной волны, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюуменьшения габаритов и массы, первыйи второй аттенюаторы включЕны соответственно между поляризатором и держателем образца, держателем образцаи поляризационным делителем, конструктивно объединены с держателем образца, выполненным в виде уголковогоповорота на базе круглого диэлектрического лучевода с повышенными погонними потерями,