Устройство для жидкостной эпитаксии
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 938642
Автор: Гамазов
Описание
Устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых материалов методом сдвига, включающее подвижной контейнер с емкостью для раствора цилиндрической или прямоугольной формы, установленной на подложкодержателе, имеющем ячейку для подложки, отличающееся тем, что, с целью улучшения однородности толщины получаемых слоев, в нижней части емкости выполнен вырез, имеющий в сечении форму сегмента.
Заявка
2988002/26, 26.09.1980
Кубанский государственный университет
Гамазов А. А
МПК / Метки
МПК: C30B 19/06
Метки: жидкостной, эпитаксии
Опубликовано: 20.06.2005
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-938642-ustrojjstvo-dlya-zhidkostnojj-ehpitaksii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для жидкостной эпитаксии</a>
Предыдущий патент: Створка пилона летательного аппарата
Следующий патент: Способ изготовления диффузионной сваркой составного зубчатого колеса
Случайный патент: Роторная мельница