Устройство для жидкостной эпитаксии

Номер патента: 938642

Автор: Гамазов

ZIP архив

Описание

Устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых материалов методом сдвига, включающее подвижной контейнер с емкостью для раствора цилиндрической или прямоугольной формы, установленной на подложкодержателе, имеющем ячейку для подложки, отличающееся тем, что, с целью улучшения однородности толщины получаемых слоев, в нижней части емкости выполнен вырез, имеющий в сечении форму сегмента.

Заявка

2988002/26, 26.09.1980

Кубанский государственный университет

Гамазов А. А

МПК / Метки

МПК: C30B 19/06

Метки: жидкостной, эпитаксии

Опубликовано: 20.06.2005

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-938642-ustrojjstvo-dlya-zhidkostnojj-ehpitaksii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для жидкостной эпитаксии</a>

Похожие патенты