Способ контроля дефектов полупроводниковых приборов

Номер патента: 491879

Авторы: Кононович, Парняков

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пщ 491879 Союз Советских Социалистических Реснублик(23) Приорите ета Министров СССРделам изобретенийи открытий 53) УДК 535.242(0 убликовано 15.11,75, Бюллетень4 та опубликования описания 27.01,76) Заявитель фЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХИБОРОВ Изобретение от осится к визуальным методам обнаружения и определения различного характера дефектов, осуществляемым путем наблюдения изображения объекта с помощью оптических приборов.Известен визуальный способ контроля дефектов полупроводниковых приборов, в котором используется изменение характера освещения, например, поочередное включение освещения по методу темного или светлого поля.Для повышения качества контроля по предлагаемому способу освещение исследуемого объекта производят одновременно с сканированием полученных зон, т. е. при этом согласовано перемещают сформированные зоны по объекту, и во время этого смещения зон виты на поверхности зуально определяют дефеобъекта.Предложенный способзован как в отраженном,свете. ожет быть реали к и в проходящеи редмет изобретенп Способ контроля дефект вых приборов, заключающ следуемый объект освеща лого и темного поля и товой поток после его вза ектом, отл ич ающи й с я повышения качества контр следуемого объекта произ с сканированием полученн то иссветт свес объцелью ие ис- еменно(54) СПОСОБ КОНТРО ов полупровоийся в том, чют по методурегистрируюимодействиятем, что, соля, освещенводят одноврых зон.

Смотреть

Заявка

1911146, 26.04.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6495

КОНОНОВИЧ АЛЕКСАНДР ЮЛИАНОВИЧ, ПАРНЯКОВ ЮРИЙ СЕРАФИМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 21/16

Метки: дефектов, полупроводниковых, приборов

Опубликовано: 15.11.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-491879-sposob-kontrolya-defektov-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля дефектов полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты