Раствор для травления диэлектриков

Номер патента: 434144

Опубликовано: 30.06.1974

Автор: Решетникова

МПК: C09K 13/04

Метки: керамики, раствор, травления

...для травления керамических прокладок, так как не обеспечивают полноты травления и высокого класса чистоты поверхности (через 10 - 15 мин после начала травление прекращается, а чистота поверхности керамики ухудшается на 1 - 2 класса),Предлагаемый раствор отличается от известного тем, что с целью повышения класса чистоты поверхности керамики при сохранении ее электрофизических свойств исходные компоненты, раствора взяты в следующем соотношении на 1 вес. ч. керамики, вес. ч,:Концентрированная сернаякислота 95 - 105Соединение из группы:сульфит (сульфат) натрия,калия, аммония 9,5 - 10,5 Предлагаемый раствор позволяет получатьтонкие керамические прокладки, например от 0,45 - 0,43 до 0,2 - 0,16 мм, за 30 - 45 мин с чистотой поверхности не...

Номер патента: 240792

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Гериц, Седол

МПК: H05K 3/06

Метки: кремния, моноокиси, раствор, травления

...сосдпнительных проводников многослойных пленочных схем и конденсаторов с диэлектрикоиз моноокиси кремния. скорости ачеств изобретенредм Раствор для используемый,0 элементов пе ристоводородн ний, от.гичпюг чения скорост шения качеств 5 створ, содерж ристоводородн стого аммони ляют 201 - 22 рода.Известен раствор для травления мкремния, используемый, например, иговлении элементов печатны: схем, сщий фтористоводородную кислотустый аммоний.Цель изобретения - увеличениепроцесса травления и повышениевытравливаемых фигур.Достигается это, тем, что в раствожащий 2 - 22 вес, ч. 48%-ной фториродной кислоты, 6 - 36 вес. ч. фторисмония и 12 - 108 вес. ч. воды, до201 ввес. ч. 30% -ной перекиси водРаствор не разрушает защитнуюфоторезиста,...

Номер патента: 1427277

Опубликовано: 30.09.1988

Авторы: Гриншпан, Егоров, Лущик, Савицкая, Старобинец

МПК: G01N 27/26

Метки: азотной, кислот, концентрации, растворах, травления, фтористоводородной

...металлов. С другой стороны,при более низких содержаниях жидкогокатионита снижается наклон электродной функции и уменьшается диапазонфункционирования ИСЭ в кислых средах,Таким образом, содержание жидкогокатионита в мембране задается содержанием нейтрального переносчика. Привыходе содержания жидкого катионитаэа указанные вьппе пределы как в большую, так и в меньшую сторону сужается диапазон функционирования ИСЭ,что приводит к уменьшению скачковпотенциала в процессе титрования и кснижению точности определения. Уменьшение содержания нейтрального переносчика в мембране ниже 0,1 мас,Жприводит к уменьшению рабочего реФсурса электрода, при увеличении свыше 1 мас.Е снижаются скачки потенциала на кривых тйтрования, т.е.ухудшается точность...

Номер патента: 1497275

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Васильева, Лебедева, Макарова, Рыклина, Уваров

МПК: C23C 18/24

Метки: металлизацией, пластмасс, поверхности, полистирольных, раствор, травления, химической

...фу ния приведены также данные ио травлению пластмасс в известных растворах и ири отклонении концентрации компонентов от оптимальных (примеры 8-16),Из приведенных данных следует, чтоЬ. введение добавки хромоксана, являющегося поверхностно-активным веществом (ПАВ), снижает поверхностное натяжение раствора для травления, обеспечивая равномерное смачиваиие полимер 14972 75ной поверхцости, что приводит к выравнивающему воздействию травильного раствора, Это, в свою очередь, обеспечивает равномерную по глубине шероховатость поверхности. В отличие от известных фтороргацических соедийеций, используемых в растворах травления полимеров (см, таблицу), хромоксац является более сильным ПАВ засчет одновременного присутствия в нем окси- и сульфоцатцых...

Номер патента: 1502547

Опубликовано: 23.08.1989

Авторы: Бугров, Костомаров, Никитина, Смольская

МПК: C04B 41/88

Метки: керамики, конденсаторной, металлизации, паста

...при 800-870 С,Испытания на прочность сцепленияи на паяемость контактных электродовпроводят известным методом. При этомпрочность сцепления определяют методом точечной пайки мерных выводов кконтактным торцам с последующим отрывом на разрывной машине с фиксациейзначения силы отрыва, а паяемость - 10путем окунания подогретой заготовкипосле ускоренного старения в камеретепла и влаги при 155"С в течение16 ч в расплавленный олово-свинцовыйприпой с использованием спиртоканифольного флюса, Степень и качествообслуживания определяют визуально подмикроскопом,Данные исследований приведены в таблице, причем в составах 1-3 соотношение Ад/РЙ=78/22. Предлагаемая паста обеспечиваетболее высокую прочность сцепленияэлектродов (в 1,5 раза) и...