Способ изготовления проводящих пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 362356
Авторы: Бондаренко, Бутузов, Евсеев, Сафонкин, Семенова
Текст
Союз Советских Социалистических Республикс присоединением заявки1449866/26-9 риоритет Комитет по делам каобратвиий и открытий при Совете 1 вииистров СССРЗаявител СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНО Изобретение относится к ния СВЧ-микросхем на осн дящих пленок. Известны способы изгот щих пленок, основанные на рении в вакууме исходного ля косвенного нагрева и о скоростью порядка 1000 А/ ся со скоростью 60 в 1 об тельного нагрева подложкиобласти изготовлеове толстых провоовления проводя- термическом испаматериала из тигосаждении его со ек на вращающиемин без дополниОткачав камеру рт. ст., производя бомбардировкой и дение меди, алюм Однако пленки, изготовленные известными способами, имеют большую величину внутренних напряжений, что приводит к их разрушению.С целью получения толстых пленок, например меди и алюминия, с малыми внутренними напряжениями по предлагаемому способу осаждение в вакууме пленок указанных мате 2 риалов ведут со скоростью не менее, чемо1500 А/сек на вращающиеся со скоростью 60 обмин подложки без дополнительного нагрева при плотности потока лучистой энергии испарителя, падающей на подложки, равной 2 не менее, чем 8 втсм 2.Сущность способа заключается в с до давления 10- - 10- мм очистку подложек ионной ЗО атем осуществляют осажия со скоростью не менее,чем 1500 А/сек на подложки без дополнительного нагрева, вращающиеся со скоростью 60 об/мин, при плотности потока лучистой энергии испарителя, падающей на подложки, не менее, чем 8 вт(см-. Испарение ведут из тиглей с косвенным нагревом, например, электронной бомбардировкой. Медь испаряют из молибденового тигля, алюминий - из тигля, выполненного на основе диборида титана - карбида титана. Для улучшения адгезии проводя цих пленок, например меди и алюминия, осаждение указанных материалов производят на подслой, выполненный, например, из титана.Полученные пленки имеют мелкозернистую структуру и малые внутренние напряжения.Предмет изобретенияСпособ изготовления проводящих пленок, например меди, алюминия, основанный на термическом испарении в вакууме исходного материала из испарителей косвенного нагрева и осаждении его на вращающиеся со скоростью 60 об(мин подложки без дополнительного подогрева, отличающийся тем, что, с целью получения толстых пленок, например меди и алюминия, с малыми внутренними напряжениями, осаждение пленок указанных материалов ведут со скоростью не менее, чемо1500 А/сею при плотности потока лучистой энергии пспарителя, падающей на подложки, не менее чем 8 вт(смК
СмотретьЗаявка
1449865
С. С. Бутузов, Е. В. Семенова, А. Н. Сафонкин, О. Е. Бондаренко, В. И. Евсеев
МПК / Метки
МПК: C23C 14/14
Метки: пленок, проводящих
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-362356-sposob-izgotovleniya-provodyashhikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления проводящих пленок</a>
Предыдущий патент: Проволочный резистор
Следующий патент: Двухпозиционный электромагнит
Случайный патент: Устройство для возведения подземного сооружения из монолитного железобетона