Раствор для травления ковара
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 293066
Авторы: Конова, Кудр, Лутовинова, Шапкин
Текст
О П И С А Н И Е 293066ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалисткнеских РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 09.1,1970 ( 1393880/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 15,1,1971, БюллетеньДата опубликования описания 10.111,19 МПК С 231 1/00 Комитет по делам изобретении и открыти при Совете Министров 21.794.41:669,152425(088,8) Авторыизобретения,Н. А, Кудряшова, Л. Т. Дьяконова, Г Г, М, Белевич и В, В. Лутови сю с,пкин аявител ВА АСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕ Травление проводитспературе в растворе(в вес, %):соляная кислотаперекись водородлимонная кислотвода я при комнатнои тем следующего состава 480,13тально растворе ско - 40 лкл/пин - 10 лклт/лтин.5 - 5 лин. По отовок после естящая, полиПри травлении 0 рость глубинного скорость бокового Время травления внешнему вид по обработки в данно 5 рованная (9 классв указанно равления 3 травления аготовки ерхность зрастворе б истоты) . изобретения П р едме Раствор для т щий соляную кис 20 что, с целью улу в его состав введе монная кислота п компонентов (в ве соляная кис 25 перекись в лимонная к вода2 - 6 4 - 12 0,05 - 0,5 остальное соляная кислотаперекись водоролимонная кисловода П р и м е р. Для изг дов интегральных еих сторон листовой качестве копировал оторезист СЦК. товления рамочных выхем обрабатывается с ковар толщиной 0,3 лтль ного слоя используется 4 - 12 0,05 - 0,15 остальное Изобретение относится к области химической обработки ковара и может быть использовано при производстве изделий электронной техники, в частности при изготовлении элементов интегральных схем,Известен раствор для травления ковара, содержащий соляную кислоту.Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав перекиси водорода и лимонной кислоты при определенном соотношении компонентов. Это позволяет улучшить качество травления и чистоту обрабатываемой поверхности.Описываемый раствор содержит соляную кислоту, перекись водорода и лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов (в вес. % ): равления ковара, содержа- лоту, отличающийся тем, щения качества травления, ны перекись водорода и лири следующем соотношении с. %):лота 2 - 6 одородаислота
СмотретьЗаявка
1393880
Н. А. Кудр шова, Л. Т. конова, Г. А. Шапкин Г. М. Белевич, В. В. Лутовинова
МПК / Метки
МПК: C23F 1/30
Метки: ковара, раствор, травления
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-293066-rastvor-dlya-travleniya-kovara.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления ковара</a>
Предыдущий патент: Способ ремонта эмалевых покрытий
Следующий патент: Способ защиты диафрагм донных
Случайный патент: Электрическая машина