Патенты с меткой «профилометра»
Способ измерения толщины селективно осажденных проводящих слоев с помощью профилометра
Номер патента: 1824014
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Домбровский, Сарычев, Турцевич, Чигирь
МПК: H01L 21/66
Метки: осажденных, помощью, проводящих, профилометра, селективно, слоев, толщины
Способ измерения толщины селективно осажденных проводящих слоев с помощью профилометра, включающий формирование на кремниевой подложке диэлектрического покрытия, вскрытие в нем окон, определение высоты рельефа в окнах с помощью иглы профилометра, определение толщины проводящего слоя после его осаждения как разницы высоты рельефа в окнах до и после осаждения проводящего слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, диэлектрическое покрытие на подложке формируют толщиной, удовлетворяющей соотношению: 0,1 h/H 0,8,где h -...