Способ изготовления фотошаблона

Номер патента: 619780

Опубликовано: 15.08.1978

Авторы: Каменихин, Хруничев, Цветков

МПК: G01B 5/30

Метки: деформаций, контактной, подложки, фотолитографии, фотошаблона

...б применяются соответственно измерителя 6 и 9 деформаций. Измеритель 7 расположен так, что его наконечник направлен навстречу наконечнику измерителя 8, и взаимодействует с наконечкяком измерителя 9, причем накокечиикя всех трех измерителей расположены по одной оси. Измеритель 8 абсолютной деформации подложки 3 закреплен на опоре 2, а измеритель 9 абсолютных деформаций фотошаблона б - на основания 1. Вакуумированнв ко лости между подложкой я Фотсшаблоном может осуществляться с помощью гиб кой манжеты М я канала 11, соединенного с вакуумяой системой (на чертеже нв показана) . Иагружеиие осуществляется тарированкьвая грузаия 12. Устройство работает следующим образом.Подложку 3 устанавливают на опоре 2. Микровинтом 4 через рычаг 5...

Номер патента: 695433

Опубликовано: 15.04.1985

Авторы: Зайцев, Кадомский, Свиридов

МПК: G03B 27/20, H01L 21/68

Метки: подложки, рисунков, совмещения, фотошаблона

...систему, манипулятор совмещения, держатель фотошаблона, столик для подложки, механизм образования микрозазора, калибратор с базовыми упорами со стороны.подложки, выполненный с воэможностьюгоризонтальных перемещений иа базо 1 вых упорах калибратора выполненывакуумные прихваты, а на его обратнойстороне - дополнительные базовыеупоры, параллельные первым, причемкалибратор выполнен с возможностьювзаимодействия с механизмом созданиямикрозаэора, в который введен узелкомпенсации толщины калибратора,выполненный, преимущественно, в видекулачка со ступенью подъема, имеющей высоту, равную толщине калибратора.На фиг. 1 представлен общий видустройства для совмещения рисунковподложки и фотошаблона; на фиг. 2 развертка рабочей поверхности кулачка....

Номер патента: 356314

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Батюн, Горлин

МПК: C23C 20/06, C25D 5/56

Метки: нанесения, пластмассовых, поверхность, проводящего, слоя

...Способверхносттролитичпокрытияспензиейрителе,пластмаспанесениполикарб Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий на поверхность пластмассовых изделий, в частности к области нанесения на них проводящего слоя перед осаждением гальванических покрытий,Известен способ нанесения проводящего слоя на поверхность пластмассовых изделий, заключающийся в обработке их суспензией, содержащей наполнитель и органический растворитель, растворяющий металлизируемую пластмассу.Предложенный способ отличается от известного тем, что обработку осуществляют в суспензии карбонильного железа в дихлорэтане, что позволяет наносить проводящую пленку на поверхность изделий из поликарбоната,Согласно предложенному способу нанесение проводящей...

Номер патента: 1183455

Опубликовано: 07.10.1985

Авторы: Горлов, Плюто, Чуйко

МПК: C01B 33/18

Метки: дисперсного, кремнезема, поверхности, содержащего, соединения, хрома, шестивалентного

...хромаов токе азота при 170 С в течение30 мин и дополнительно выдерживаютв токе азота при температуре реакции 5530 мин. После охлаждения реактора докомнатной температуры полученныйпродукт извлекают и анализируют,П р и м е р 2. Навеску аэросила массой 1 г дегидратируют при 400 С-э -4и вакууме 10 - 10 мм рт,ст. в течение 1 ч в вакуумном кварцевом реакторе стандартной конструкции, после чего проводят обработку насыщеннымиопри 20 С парами оксихлорида хромаопри 170 С в следующем режиме: напуск паров оксихлорида хрома, выдерживание в течение 10 мин, откачка газообразных продуктов реакции и избытка оксихлорида хрома при темпеватуре реакции и вакууме 10 - 10 мм рт,ст, в течение 10 мин. Перечисленные операции повторяют з указанной...

Номер патента: 598947

Опубликовано: 25.03.1978

Авторы: Крылов, Никольская, Юматов

МПК: C21D 1/74

Метки: инструмента, термической

...давления 0,7-1,2 атм.Получаемьд в результате металлизованный поверхностный слой при последующем взаимодействии с утлеродсодержащим газом в процессе охлаждения инструмента образует на поверхности тонкий карбид. ный слой, который при последующем охлаждении в результате взаимодействия с аммиаком может прев ратиться в карбоннтридный. В результате обраэова. ния на поверхности инструмента тонкого метакарбо. ннтридного слоя, находящийся с ним в равновесии твердый раствор более глубоких слоев инструмента не стабилизируется растворением дополнительных количеств углерода и азота из газовой фазы. Это при. водит к образованию твердой мартенситной подлож. ки при закалке инструмента в вакууме, н как след-5989 ф 7 Составитель. Л. БурлиноваТехред Н....