Каменихин

Номер патента: 939317

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Каменихин, Камышный, Мелехин, Набиев

МПК: B65B 5/10

Метки: кассету, укладки

...г.,. закрепленного на позер;.,Нс;стн .11, устав,.;вленной на платФорме 1 11 в .рая,;"ельне ей, катушки 12якоря 13, Сер, "чник .1.4 с катушкой15 электр".:.агяита продольных колеба- ьний кепите-. Иа поверхнОсти 16 а:.1 оверх.1 остг; 19:Оверхностк 16 и 19вэ аим 1-О перпендикулярны, жесткос 11 Онтирсваны на платформе . и рас.гголажены перпендикуляэна ей. Электромагг 1 нт ггродоль;ых и паречныхгг лебаний .1 ест ;-щий якорь 28,Вс;. якори электромагнитов установ-..1 ея,а держателе 21,закрепленном щна нижней поверхности лотка 2Работа устройства Основана на за".падании деталей 22 в отверстия трафа"рет;, э через них в гнезда кассетыв ггро",ессе их перемещения по дну5 От эфарета под,действием сил инерции,возникающих при колебаниях...

Номер патента: 619780

Опубликовано: 15.08.1978

Авторы: Каменихин, Хруничев, Цветков

МПК: G01B 5/30

Метки: деформаций, контактной, подложки, фотолитографии, фотошаблона

...б применяются соответственно измерителя 6 и 9 деформаций. Измеритель 7 расположен так, что его наконечник направлен навстречу наконечнику измерителя 8, и взаимодействует с наконечкяком измерителя 9, причем накокечиикя всех трех измерителей расположены по одной оси. Измеритель 8 абсолютной деформации подложки 3 закреплен на опоре 2, а измеритель 9 абсолютных деформаций фотошаблона б - на основания 1. Вакуумированнв ко лости между подложкой я Фотсшаблоном может осуществляться с помощью гиб кой манжеты М я канала 11, соединенного с вакуумяой системой (на чертеже нв показана) . Иагружеиие осуществляется тарированкьвая грузаия 12. Устройство работает следующим образом.Подложку 3 устанавливают на опоре 2. Микровинтом 4 через рычаг 5...