Способ осаждения пленок поликристаллического кремния

Номер патента: 1435962

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Кожин, Ксенофонтов, Павлов, Шевцов

МПК: G01F 23/30, G01K 13/00

Метки: жидкости, поплавковое, резервуарах, систем, температуры, уровня

...в различных отраслях5промышленности - пищевой, химическойи дрЦель изобретения - увеличение надежности и уменьшение массы поплавкового устройстваНа чертеже показано поплавковоеустройство для систем измерения температуры и уровня жидкости в резервуарах. 15Устройство содержит направляющуюопору 1, грузовой поплавок 2, направляющую опору 3, измерительный поплавок 4, измерительные датчики 5,электрический кабель 6. Направляющая опора 3 жестко скреплена с телом грузового поплавка 2.Устройство работает следующим образом,При работе устройства, когда поплавки, 2 и 4 начинают, плавая, какобычно, отслеживать уровень жидкости в резервуаре, поплавок 2, будучи грузовым, "транспортирует"электрический кабель 6 и опору измерительного...

Номер патента: 1030112

Опубликовано: 23.07.1983

Авторы: Зиньковский, Калашник, Крамный

МПК: B23D 33/02

Метки: ножницам, приемное

...фиксации и возврата, а также наклонной приемной пластиной, при 35этом механизм фиксации выполнен в виде штока, один конец которого шарнирно соединен с подпружиненной планкой,а на другом конце выполнен кольцевойпаэ, и двух подпружиненных рычагов, 40установленных с возможностью взаимодействия с поверхностью кольцевого паза штока, а механизм возврата выполнен в виде толкателя, установленного свозможностью взаимодействия с рычагамимеханизма фиксации, и штанги, соединенной тягами с подвижным ножом ножниц,при этом наклонная приемная пластинаустановлена на уровне крайнего нижнегоположения планки.На фиг, 1 изображено приемное устройство к ножницам, общий фид; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1. Приемное устройство к ножницам со.держит...

Номер патента: 1400908

Опубликовано: 07.06.1988

Авторы: Плахов, Уланов

МПК: B41J 3/08

Метки: знакосинтезирующее, печатающее

...по абсолютной величине, но противоположные по знаку углы подъема. Количество знакоформирующих элементов 2 в группе 8 соответствует числу ударных элементов 4 (фиг. 1) в блоке 3 печати,При работе печатающего устройства во время кратковременного взаимодействия ударного элемента 4 и знакоформирующего элемента 2 бумажная лента 6 подвергается воздействию возникающих при этом продольной Г (фиг. 3) и поперечной Г сил, вызывающих упругие деформации бумажной ленты 6 (фиг. 1) в соответствующих направлениях, которая начинает генерировать в окружающую среду звуковые волны. Смежные ударные элементы 4 (фиг. 3) при печати одновременно взаимодействуют с соответствующими знакоформирующими элементами 2, а возникающие поперечные силы Г, действующие на...

Номер патента: 1685417

Опубликовано: 23.10.1991

Автор: Иофис

МПК: A61B 17/32

Метки: микроинструмент, резания

...И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР МУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение относится к медицинскиммикрохирургическим инструментам. Цель -ЯО, 168541 снижение травмирования ткани путем улучшения качества реза и повышения режущих свойств - достигается за счет того, что лезвие 1 выполнено из аморфного металла, имплантированного карбидами, нитридами. боридами, окислами тугоплавких металлов, Упрочняющие вещества могут имплантироваться в материал лезвия 1 как порознь, так и в сочетании друг с другом. 9 ил,1685417 ФуГ Я Составитель Е, ТитоваТехред М.Моргентал Корректор М. Демчик Редактор Н, Бобкова Заказ 3548 Тираж Подписное 8 НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раукская наб 4/5...

Номер патента: 1814468

Опубликовано: 10.08.1996

Авторы: Кравцов, Лесникова, Макаревич, Сарычев, Турцевич

МПК: H01L 21/205

Метки: кремния, осаждения, пленок, поликристаллического

...трудоемкость из-за необходимости изменения температуры при доращивании. При отжиге подслоя при температуре выше 650 С, давлении более 13,3 Па, времени более 1 мин при соотношении %Р -инертный газ более 1:20 происходит полное потребление 81 из зародьппа на восстановление %Р что впоследствии затрудняет процесс формирования рельефного микрорисунка в нихележащих слоях без масочным травлением и появляются отклонения от куполообразной формы зерен при доращивании, Кроме того, увеличивается трудоемкость процесса из-за необходимости изменения температуры при доращивании,П р и м е р. Осахдение пленок поликристаллического кремния осуществляли5 1814468 на установке Изотрон 4-150 с горизонтальным трубчатым реактором с горячими стенками,...