Способ изготовления датчиков давления

Номер патента: 1318117

Автор: Козин

ZIP архив

Описание

Способ изготовления датчиков давления, включающий формирование профилированной области кремниевого чувствительного элемента с тензорезисторами, имеющими контакт с внешними выводами через зоны кремния с повышенной проводимостью, настройку и присоединение электростатическим методом к чувствительному элементу стеклянной крышки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов датчика и упрощения процесса его настройки, в чувствительном элементе одновременно с формированием профилированной области под тензорезисторами создают дополнительную профилированную область, соединяют сформированные области вытравленной канавкой, одновременно с присоединением крышки присоединяют к чувствительному элементу стеклянное основание, перекрывающее обе профилированные области и соединяющую их канавку, настраивают датчик, а затем проводят разгерметизацию полости датчика со стороны профилированных областей путем разрушения перемычки дополнительно сформированной профилированной области.

Заявка

3966418/25, 14.10.1983

Козин С. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/50

Метки: давления, датчиков

Опубликовано: 27.04.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1318117-sposob-izgotovleniya-datchikov-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления датчиков давления</a>

Похожие патенты