Способ изготовления датчиков давления
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1318117
Автор: Козин
Описание
Способ изготовления датчиков давления, включающий формирование профилированной области кремниевого чувствительного элемента с тензорезисторами, имеющими контакт с внешними выводами через зоны кремния с повышенной проводимостью, настройку и присоединение электростатическим методом к чувствительному элементу стеклянной крышки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов датчика и упрощения процесса его настройки, в чувствительном элементе одновременно с формированием профилированной области под тензорезисторами создают дополнительную профилированную область, соединяют сформированные области вытравленной канавкой, одновременно с присоединением крышки присоединяют к чувствительному элементу стеклянное основание, перекрывающее обе профилированные области и соединяющую их канавку, настраивают датчик, а затем проводят разгерметизацию полости датчика со стороны профилированных областей путем разрушения перемычки дополнительно сформированной профилированной области.
Заявка
3966418/25, 14.10.1983
Козин С. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/50
Опубликовано: 27.04.2008
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1318117-sposob-izgotovleniya-datchikov-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления датчиков давления</a>
Предыдущий патент: Устройство беспроводной аварийно-вызывной шахтной сигнализации и связи
Следующий патент: Устройство для измерения вектора воздушной скорости вертолета
Случайный патент: Кормораздатчик для животноводческих помещений