Способ определения параметров электронов в приповерхностных слоях вырожденных полупроводников

Номер патента: 704338

Автор: Коршунов

Описание

Способ определения параметров электронов в приповерхностных слоях вырожденных полупроводников, включающий освещение исследуемого образца и эталона - невырожденного полупроводника - монохроматическим поляризованным светом, измерение эллипсометрических параметров образца л и эьалона o на крае полосы собственного поглощения, определение длины волны света m, соответствующей минимальному значению эллипсометрического параметра л образца, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности и расширения пределов измерения параметров электронов, параметры л и o измеряют при изменении длины волны света и находят длину волны 1, меньшую m, но наибольшую из удовлетворяющих условию равенства параметров л и o, затем измеряют параметры при других углах падения на двух или более длинах волн j в интервале 1< j< m, находят минимальные значения параметров л и o, расчетным путем определяют эффективную массу и концентрацию электронов.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что параметр л измеряют на длине волны в интервале o m, где o - красная граница полосы собственного поглощения эталона, при угле падения, равном углу наибольшей поляризации, и по известным значениям концентрации и эффективной массы электронов расчетным путем определяют их подвижность.

Заявка

2609112/25, 20.04.1978

Научно-исследовательский институт механики МГУ им. М. В. Ломоносова

Коршунов А. Б

МПК / Метки

МПК: G01N 21/21

Метки: вырожденных, параметров, полупроводников, приповерхностных, слоях, электронов

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-704338-sposob-opredeleniya-parametrov-ehlektronov-v-pripoverkhnostnykh-sloyakh-vyrozhdennykh-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров электронов в приповерхностных слоях вырожденных полупроводников</a>

Похожие патенты