Способ изготовления арсенидгаллиевых структур

Номер патента: 1820784

Авторы: Мамонтов, Чернов

Описание

Способ изготовления арсенидгаллиевых структур, включающий имплантацию кремния в подложку из арсенида галлия, импульсный отжиг и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет исключения неуправляемого уширения профиля легирования и снижения удельного сопротивления подложки, охлаждение осуществляют со скоростью не более 250oС/с.

Заявка

4915273/25, 28.02.1991

Томский политехнический институт им. С. М. Кирова

Мамонтов А. П, Чернов И. П

МПК / Метки

МПК: H01L 21/26

Метки: арсенидгаллиевых, структур

Опубликовано: 27.01.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1820784-sposob-izgotovleniya-arsenidgallievykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления арсенидгаллиевых структур</a>

Похожие патенты