База патентов СССР

Способ изготовления кремниевых многослойных структур

Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки

Номер патента: 1568799

Авторы: Губарев, Нисневич

Описание

Способ изготовления кремниевых многослойных структур, включающий создание n-n+- или n-p+-двухслойной кремниевой структуры, формирование на ее поверхности маскирующего покрытия, формирование слоя p-типа диффузией акцепторных примесей со стороны слоя n-типа, формирование термическим окислением пленки окисла кремния, фотолитографическое вскрытие в ней окон со стороны слоя p-типа и формирование n+ - областей диффузией донорной примеси в окна пленки окисла кремния, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления структур за счет сокращения количества высокотемпературных операций, маскирующее покрытие формируют толщиной 0,2-0,4 мкм путем нанесения пленки окисла кремния, содержащей 0,33-6,3 мас.% окисла алюминия и 0,65-2,8 мас.% оксида бора, на обе стороны структуры, формирования слоя p-типа диффузией акцепторных примесей со стороны n-слоя проводят термообработкой структуры

Заявка

4600339/25, 28.10.1988

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Нисневич Я. Д, Губарев В. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/225

Метки: кремниевых, многослойных, структур

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1568799-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-mnogoslojjnykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых многослойных структур</a>

Похожие патенты

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Номер патента: 527989

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Милешко, Селиванова

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, легирования, оксидной, пленки, фосфором, электролит

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 1 10-4 - 10Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 1 10-2 - 5 10-1Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования окисной пленки кремния бором

Номер патента: 545210

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Милешко, Селиванова

МПК: H01L 21/306

Метки: бором, кремния, легирования, окисной, пленки, электролит

Электролит для легирования окисной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль и борную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств пленки, в его состав дополнительно введена азотная кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%:Борная кислота - 0,10 - 10,00Азотная кислота - 0,05 - 0,50Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Номер патента: 615785

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Волкова, Милешко, Нагучев, Чистяков

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, легирования, оксидной, пленки, фосфором, электролит

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы, он дополнительно содержит азотнокислый эрбий при следующем соотношении компонентов, мас.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 10-4 - 5,0Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,4Азотнокислый эрбий (пятиводный) - 0,25 - 1,0Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором

Номер патента: 616893

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Волкова, Милешко, Нагучев, Чистяков

МПК: H01L 21/228

Метки: бором, кремния, легирования, оксидной, пленки, электролит

Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств электролита, в его состав дополнительно введен гольмий азотнокислый при следующем соотношении компонентов, мас.%:Борная кислота - 5 - 15Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,15 - 0,35Гольмий азотнокислый (пятиводный) - 0,3 - 0,6Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования оксидной пленки кремния мышьяком

Номер патента: 682055

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Ломакина, Милешко, Чистяков

МПК: H01L 21/469

Метки: кремния, легирования, мышьяком, оксидной, пленки, электролит

Электролит для легирования окисной пленки кремния мышьяком, содержащий азотную кислоту и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости результатов легирования и увеличения срока годности электролита, дополнительно он содержит ортомышьяковую кислоту, а компоненты взяты в следующем соотношении, об.%:Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 4 - 5Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,5 - 10Этиленгликоль - Остальное

Предыдущий патент:

Следующий патент:

Случайный патент: Способ автоматического управления каскадом реакторов сульфатирования

В верх страницы