Способ очистки пленок оксидных материалов от углеродсодержащих примесей
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1447182
Авторы: Александров, Селиверстов
Формула
Способ очистки пленок оксидных материалов от углеродсодержащих примесей, основанный на обработке изолирующей подложки с пленкой оксидного материала в озонокислородной смеси, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры очистки, устранения твердофазного легирования материалом подложки и улучшения диэлектрических свойств, одновременно с обработкой изолирующей подложки с пленкой оксидного материала в озонокислородной смеси проводят ее облучение УФ-светом с длиной волны 240 290 нм под углом 5 90o к подложке, причем концентрацию озона в озонокислородной смеси поддерживают в диапазоне 0,01 - 11,0 об.
Описание
Целью изобретения является снижение температуры очистки, устранение твердофазного легирования и улучшение диэлектрических свойств пленок оксидных материалов, что позволяет улучшить качество покрытий из этих материалов и повысить выход годных изделий, изготовляемых на их основе.
Примеры выполнения, иллюстрирующие особенности осуществления предлагаемого способа и свойства полученных пленок оксидных материалов, приведены в таблице.
Очистке подвергают такие оксидные материалы, как оксиды алюминия, индия, кремния, олова, титана, циркония, вольфрама, полученные термическим разложением металлоорганических соединений (алкильных и алкоголятных производных, ацетилацетанатов, пероксидов и карбонилов).
На чертеже графически показано отсутствие твердофазного легирования пленок оксидных материалов.
По данным Оже-спектров, обезуглероживание оксидных материалов протекает с сохранением бездефектной структуры оксидных пленок и отсутствием твердофазного легирования пленок материалом подложки: Оже-спектры пленок на металлическом кремнии до (а) и после (б) обработки озонкислородной смесью при 18oC в условиях облучения уф-светом, что ширина переходной зоны пленка-подложка остается постоянной
При этом оксидные покрытия однородны по составу по всей глубине, старого стехиометричны, не имеют сквозных пор и трещин.Изобретение позволяет снизить температуру очистки с 60 150oC до 18 25oC, устранить твердофазное легирование пленок оксидных материалов материалом подложки и улучшить такие их свойства, как диэлектрическая проницаемость, электрическая прочность и диэлектрические потери, что дает возможность улучшить качество покрытий из этих материалов и повысить выход годных изделий, изготовляемых на их основе.
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при создании просветляющих, изолирующих и полупроводниковых структур на основе высших оксидов металлов. Цель изобретения - снижение температуры очистки, устранение твердофазного легирования и улучшение диэлектрических свойств пленок. Изолирующие подложки обрабатываются в окислительной озонкислородной среде в присутствии УФ-излучения. Облучение УФ-светом проводят с длиной волны 240-290 нм под углом 5-90o к подложке. Концентрацию озона в озонкислородной смеси поддерживают 0,01-11,0 об.%. Использование способа позволяет снизить температуру очистки до 18-25oC и улучшить такие свойства пленки, как диэлектрическая проницаемость, электрическая прочность и диэлектрические потери. 1 табл., 1 ил.
Рисунки
Заявка
4075957/21, 15.05.1986
Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского
Александров Ю. А, Селиверстов Н. Н
МПК / Метки
МПК: H01G 4/10
Метки: оксидных, пленок, примесей, углеродсодержащих
Опубликовано: 20.03.1997
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1447182-sposob-ochistki-plenok-oksidnykh-materialov-ot-uglerodsoderzhashhikh-primesejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки пленок оксидных материалов от углеродсодержащих примесей</a>
Способ приготовления поливинилхлоридной пасты для получения пленки на подложке
Номер патента: 1134574
Опубликовано: 15.01.1985
Авторы: Дичманене, Жвиронайте, Жукас, Каминскас
МПК: C08J 5/18, C08L 27/06
Метки: пасты, пленки, подложке, поливинилхлоридной, приготовления
...74 . 1Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому является способ приготовления поливинилхлоридной пасты для получения пленки на подложке сме" шением 39-55 мас.ч. полимера с 36- 50 мас.ч. пластификатора - кубового остаткапроизводства диметилтерефталата, вызреванием, введением 0,5- 10 мас.ч. дибутилфталата, 0,5-10 мас.ч. наполнителя и 0,5-5 мас.чстабилиза" тора 4.Недостатком этого способа является миграция пластификатора на поверхность получаемой пленки. Пластификатор - кубовый остатокпроизвод- - ства диметилтерефталата, в своем химсоставе содержит множество веществ, таких как диметилтерефталат, изофталат, Птолуиловый эфир, метилбензоат, которые и мигрируют на поверхность пленки. Миграция...
Способ получения стеклянной пленки на подложке
Номер патента: 355114
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Замотайлов, Лаврентьев, Лебедев
МПК: C03C 17/02, C03C 17/27
Метки: пленки, подложке, стеклянной
...пленок на подложке, заключающийся в смешении 5 с органическим растворителем стеклообразующих окислов, нанесении на подложку с последующим нагревом до температуры размягчения.С целью повышения качества покрытий 10 стеклообразующие компоненты используют в виде чистых элементов, которые перед напылением на подложку переводят в окислы в кислородной плазме.На чертеже показана схема нанесения по крытий.В корпусе 1 размещены по сфере к8, 4, в центре сферы находится подл Катоды выполнены из чистых элементов, например, РЬ, Я, окислы которых входят в состав стекла. При помощи ионизаторов 6 кислород ионизируется. Ионы кислорода бомбардируют катоды 2, 3, 4, взаимодействуют с распыляемыми с катодов атомами, образуя на подложке 5 стекло.Предмет...
Иструмент для исследования адгезии пленки к подложке методом царапания
Номер патента: 448370
Опубликовано: 30.10.1974
Авторы: Воронов, Доничиев, Кубецкий, Лихтман, Стримбан
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезии, исследования, иструмент, методом, пленки, подложке, царапания
...расположенного на державке с возможностью установленного поворота относительно своей оси и имеющего соотношение радиусов тора, равное или большее 20.Такое выполнение обесйечивает увеличение долговечности инструмента.На фиг. 1 изображен предлагаемый инструмент, общий виа; на фиг. 2 -нндентер с тороидальной рабочей поверхностью в поперечном сечении. 1 технике опре-ой связи пленя по рхность торапленки, чем иовеч ности,тени з о цме вания ацгезии царапания, о нный с ней ин йс я тем, о долговечнос исследо методом и связа ющи ения е и,(72) Авторы А, Е, Лихтман изобретения Инструмент содержит цержавку 1 иустановленный на оси 2 индентер 3, имеющий тороидальную рабочую поверхность 4.Соотношение радиусов тора КС должно быть равно или...
Устройство для изготовления пластмассовой пленки с подложкой
Номер патента: 654154
Опубликовано: 25.03.1979
МПК: B29C 27/04
Метки: пластмассовой, пленки, подложкой
...гранями и имеетв сечении форму трапеции,оЭлектрод 5 имеет наклон около 45 по отношению к пере мешаюшемуся покры тию 6(пластмассовой пленки), Электрод 4 представляет собой алюминиевчю трубу с заземлением. Подложка обозначена поз.7 и 8,Работа устройства заключается в К электроду 5 подвод м напряжением. Поско аземлен, то между ним создается поле высоко оздаюшее разряд. Вслед алок 4 вращается, электсопровождает валок приблизительно на половину его оборота, вследствие чего покрытие 6 получает окисленный поверхностный слой, облегчающий склеивание покрытия 6 с подложкой 7.При получении покрытия с окисленными слоями с обеих сторон электроды 4 и 5 должны располагаться с каждой стороны покрытия 6. Это желательно в том случае, если...
Способ определения адгезионной прочности сцепления металлической пленки с подложкой
Номер патента: 729491
Опубликовано: 25.04.1980
Авторы: Боев, Дронов-Дувалджи, Иоффе, Стрелков
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезионной, металлической, пленки, подложкой, прочности, сцепления
...в момент касания подложки, а об адгезионной прочности о разности температур нагрева и охлажСущность спосоа заключается в следующем.На подложку с металлической пленкой наносят одним из известных способов другую Ометаллическую пленку с меньшим козффициен.том линейного расптиретптя. Подложку с образо.вавшейся биметаллической пленкой нагреваютс одной ее стороны, создавая градиент темпе.ратуры по длине подложки. Из-за разности ко. зффициентов линейного расширения металличеких плевок при нагреве возникает изгибакяциймоментотрывающий конец пленки от подлож.ки. Измеряют температуру нагрева в моментотслоения биметаллической пленки от подложки, после чего подложку охлаждают до техпор, пока биметаллическая пленка не приметпервоначальное...
Предыдущий патент: Твердотопливный ракетный двигатель
Следующий патент: Способ защиты металлических конструкций от почвенной коррозии
Случайный патент: Автоматический подсекатель