Способ определения адгезии сухих пленочных фоторезистов
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ СУХИХ ПЛЕНОЧНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ, по которому наносят пленку фоторезиста на медную подложку, режущим инструментом надрезают светочувствительный слой пленки и определяют величину адгезии, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости определения, используют режущий инструмент с цилиндрической рабочей поверхностью, перемещают его под постоянным углом к слою пленки, измеряют максимальную ширину надреза, а величину адгезии определяют по максимальной ширине надреза и диаметру рабочей поверхности инструмента.
Описание
Целью изобретения является снижение трудоемкости определения.
На фиг. 1 приведена схема осуществления способа, вид сбоку; на фиг. 2 то же, вид сверху; на фиг. 3 режущий инструмент.
Инструмент содержит ручку 1 и наконечник 2 с рабочей поверхностью 3 цилиндрической формы и режущей кромкой 4, образованной пересечением под прямым углом рабочей поверхности 3 плоскостью 5.
Способ осуществляют следующим образом. Наносят пленку 6 фоторезиста на медную подложку 7, устанавливают наконечник 2 инструмента наклонно к слою пленки 6 и перемещают инструмент под постоянным углом наклона к пленке 6. Затем измеряют ширину d надреза 8 и сравнивают максимальное значение ширины d с диаметром S рабочей поверхности 3 инструмента. Адгезию слоя оценивают в баллах.
П р и м е р. На подложку 7 в виде фольгированного медью стеклотекстолита, очищенную декапированием 5% -ной серной кислотой и гидроабразивной зачисткой вращающимися полиамидными щетками в присутствии водно-пемзовой суспензии, при помощи ламинатора КП.63.46 наносят сухой пленочный фоторезист марки СПФ-АС-1 или СПФ-ВЩ-2.
Производят экспонирование фоторезиста на установке КП.63.41 с оптимальным, найденным предварительно временем экспонирования. Проэкспонированные образцы выдерживают в течение 30 мин в темноте при температуре 20
3оС для завершения темновой фотохимической реакции, затем удаляют (отслаивают) полиэтилентерефталатную пленочную основу фоторезиста. Если экспонирование проводили через фотошаблон, содержащий рисунок проводников печатной схемы, то образец может быть проявлен до определения адгезии фоторезиста (соответственно метилхлороформом или 2% -ным водным раствором карбоната натрия).Для проведения испытания кладут исследуемую подложку 7 с нанесенным фотоотвержденным светочувствительным слоем 6 на ровную твердую поверхность. Придерживая подложку 7 рукой, при помощи наконечника 2 режущего инструмента, держа его наклонно к подложке 7 под углом, близким к 45о, производят надрез 8 поверхности слоя 6 до подложки 7 длиной 10-15 мм. Перемещение инструмента с наконечником 2 осуществляют наклонно и под тем же углом к светочувствительному слою 6 в направлении наклона. Скорость движения инструмента 2-3 мм/с. Допускается использование линейки при надрезании светочувствительного слоя и для контроля скорости резания.
При помощи микроскопа МБС-2 определяют максимальную ширину d надреза 8 и сопоставляют ее с диаметром рабочей поверхности 3 (S) инструмента.
Адгезию слоя 6 оценивают в баллах:
1 балл ширина разреза меньше диаметpа окружности режущей кромки (d < S),
2 балла при условии, если S
d < 1,5S,3 балла при условии, если d
1,5.Адгезия слоя 6 считается хорошей, если она соответствует оценке 1 балл.
Адгезия неудовлетворительна, если она получает оценку 3 балла. При оценке 2 балла использование фоторезиста допускается (адгезия удовлетворительная), но при этом не исключается возможность частичного адгезионного разрушения слоя 6.
Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии сухих пленочных фоторезистов. Целью изобретения является снижение трудоемкости определения. На пленку 6 фоторезиста, нанесенную на медную подложку 7, устанавливают наконечник 2 инструмента наклонно к слою пленки 6. Перемещают инструмент под постоянным углом наклона к пленке 6, осуществляя надрез его рабочей поверхностью диаметром S с режущей кромкой, размещенной в плоскости, перпендикулярной оси наконечника 2. Измеряют ширину надреза и сравнивают ее с диаметром S. Адгезию оценивают в баллах, выбранных по соотношению d : S. 3 ил.
Рисунки
Заявка
4155954/28, 04.12.1986
Отделение Всесоюзного научно-исследовательского института электромеханики
Кузнецов В. Н, Погост В. А
МПК / Метки
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезии, пленочных, сухих, фоторезистов
Опубликовано: 20.04.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1422840-sposob-opredeleniya-adgezii-sukhikh-plenochnykh-fotorezistov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения адгезии сухих пленочных фоторезистов</a>
Способ определения адгезии пленки к подложке
Номер патента: 580485
Опубликовано: 15.11.1977
Авторы: Дроздова, Селиванов, Сиедин, Шмелев, Штраусе
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезии, пленки, подложке
...1 ми адгезпонными свойствами.Величина этой зоны зависит от различныхфакторов, связанных с методом формирования периметра адгезионного соединения, и составляет от нескольких единиц до нескольких десятков мкм, что сравнимо с размерами элемен580485 Формула изобретения 20 Составитель Г. Коновалова Техред И. Рыбкина Корректор Л, Котова Редактор И. Марголис Подписное Заказ 2583/3 Изд.942 Тираж 1109 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 тов контролируемых приборов, например, интегральных схем.Все это существенно снижает точность оценки адгезии между подложкой и участками фоторезиста, создающими защитную массу в процессе...
Инструмент для правки рабочей поверхности полировальника
Номер патента: 1689050
Опубликовано: 07.11.1991
Авторы: Архипов, Буванов, Вовк, Галанин, Мамонов, Маслов, Портнова
МПК: B24B 53/12
Метки: инструмент, поверхности, полировальника, правки, рабочей
...на нем деталей,П р и м е р . Инструмент изготавливают по известной технологии, принятой при производстве керамических материалов Включающей ОПОрэции дозировэния порош ковых компонентов заданного грануломат"т в, юа Натериал инструменталля правки Показания Время стабильноя работы, ч 2 г 1 О" 1 1 в Ситалл СО 11511 1 ОО о,ав в Полировальникменяет Формуиз-за повьапеяия температуры 22 10 4,ОЗ 1 О " 4,О,О З,5 1 О Керамика: 22 ХСА 1 Н 61 с 51 Н",о11, О О 1 12 О,15 О,ЗО Зг О,В 41 15ЗО,2во,о60,0 зоо З 4 З 400 15 О Оптимальные характеристики правильникаСлокно получить заготовкубольиого циаметраНизкая зффективность.10 55 10 071 24,5 0,05 6 Кварцевое стекло Составитель Н.БалашоваТехред М,Моргентал Корректор С.Черни Редактор Н.Гунько Заказ 3770...
Способ соединения рабочей и хвостовой частей составных инструментов, в частности, сверл, зенкеров, разверток и т. п.
Номер патента: 91314
Опубликовано: 01.01.1951
Автор: Ивлиев
МПК: B23B 51/12
Метки: зенкеров, инструментов, рабочей, разверток, сверл, соединения, составных, хвостовой, частей, частности
...пружины, плотно охватывающей соседние соосные наружные цилиндрические поверхности соединяемых частей, выполненные равными по диаметру. При этом, направление витков пружины является обратным направлению рабочего вращения инструмента.На чертеже изображен общий вид составного ступенчатого зенкера, отдельные части которого соединены посредством спиральной пружины.Рабочая часть 1 зенкера центрируется на цилиндрическом пальце 2 оправки. Соосные цилиндрические поверхности 3 и 4 зенкера и оправки выполнены равными по диаметру и охватываются цилиндрической пружиной 5, направление витков которой обратно направлению рабочего вращения инструмента.В начальный момент работы инструмента, в результате относительного углового смещения рабочей части...
Способ возведения изоляционного слоя при бесцеликовой разработке пологих и наклонных пластов угля склонного к самовозгоранию
Номер патента: 643646
Опубликовано: 25.01.1979
Авторы: Мильман, Сазонов, Стародумов, Сытников
МПК: E21C 41/04
Метки: бесцеликовой, возведения, изоляционного, наклонных, пластов, пологих, разработке, самовозгоранию, склонного, слоя, угля
...СЯОЙ для подлежащего Отработке выемочного столоа возводят на крепа конвейернок штрека отрабатываемого столба со стороны подлежащего отраЬлке столба одновременно с проведением конвейерного штрека отрабатываемого столба.Способ заключается в следующем,При подготовке выемочных столбов прн разработке пологих й наклонных пластов угля, склонного к самовозгоранию, во время проведения конвейерного штрека, отрабатываемого столба на крель указщщого штрека со стороны подлежащего отработке столба возводят нзоляшшнный слой, например гибкий изоляционный материм. После прохода Очистного забоя Отра. батываемого столба для предохранения отшива изоляции по замкам рзм крепи пробивают органный ряд и затем в полость между органнымРЯДОМ И ИЭОЛЯПИО 1 НП-,ГМ...
Устройство для анализа качества слоя угля на ленте конвейера
Номер патента: 1251959
Опубликовано: 23.08.1986
Авторы: Белоножко, Гейхман, Деняк, Кривонос, Онищенко
МПК: B03B 13/06, B65G 43/08
Метки: анализа, качества, конвейера, ленте, слоя, угля
...входом третьегоИР 40, нтгрой вход которого соединенс выходом первого БУ 33, а его выходявляется вторым выходом блока 16 запуска. Второй вход первого БУ 33является четвертым входом блока 16запуска. Выход второго ИР 4 является третьим выходом блока 16 эа- З 0пуска,Блок 7 работы выполнен в виде пяти блоков 44-48 умножеггця трех измерителей разно.тц ИР 49-51, трех у 5 суммагс ров 52-54 и трех задатчиков 55-57 коэффициентов. Первый вход блока 7 работы соединен с первлми входами ггервога БУ 44 и первого ИР 49. Второй вход блока 17 работы 40 соединен с вторым ходом первого ИР 49 и первым входом второго сумматора 53, второй вход которого соединен с третыю входом блока 17 работы и первым входом третьего сум матора 54, а третий вход соединен...
Предыдущий патент: Способ изготовления поверхностного электрода свинцового аккумулятора
Следующий патент: Тепловая труба
Случайный патент: Способ компенсации резонансной раскачки