Способ приготовления пленкообразующего раствора

Номер патента: 1400376

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Локтаев, Нисневич, Пайвель

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузии, источника, кремний, пленкообразующих, поверхностного, приготовления, примесей, растворов

Способ приготовления пленкообразующих растворов для получения поверхностного источника диффузии примесей в кремний, содержащих органический растворитель, воду, катализатор гидролиза тетраэтоксисилана, соединения легирующих примесей и тетраэтоксисилан, включающий растворение части компонентов, включая тетраэтоксисилан; гидролиз тетраэтоксисилана и растворение оставшихся компонентов в растворе гидролизованного тетраэтоксисилана, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров диффузионных слоев за счет повышения вязкости растворов, раствор гидролизованного тетраэтоксисилана перемешивают, нагревая до температуры 50 - 90oC, пока его объем не уменьшится в 1,2 - 2,5 раза.

Номер патента: 1684654

Опубликовано: 15.10.1991

Автор: Сперанская

МПК: G01N 27/48

Метки: группы, присутствии, рения, электрохимический, элементов

...Пики четко разделены, поэтому теллурне мешает определению рения в пределах 35концентрации рения 10 - 5,10 моль/л.На чертеже представлена анодная переменно-токовая полярограмма щелочныхрастворов, содержащих ренид и теллуридпри их концентрации 10 моль/л (диапазон 40тока 100), где приняты следующие обозначения: 1 - Ве(Ч = 10 моль/л; 2 - Те(Ч)= 10 моль/л.П р и м е р. В однокамерную ячейквводят 1,5-ную амальгаму натрия, 45 см 451 М раствора чаОН и удаляют растворенный в щелочи кислород, перемешивая раствор с амальгамой в течение 2 мин. Далеевводят раствор рения (И ) до его концентрации 10 моль/л в конечном объеме(50 смэ) 50раствора и осуществляют процесс восстановления рения (И) в ренид амальгамойнатрия беэ перемешивания,...

Номер патента: 1236497

Опубликовано: 07.06.1986

Авторы: Петренко, Сныткин

МПК: G06F 7/49

Метки: галуа, групп, мультипликативных, полей, формирования, элементов

...счетчика6. Поэтому на выходах счетчика 6 останется остаток а, числа А 1 по вьюбранному модулю Р, Под воздействиемсреза единичного импульса, поступившего с выхода элемента ИЛИ 13, формирователь 8 сформирует импульс, кота" .рый откроет элементы И 10 1 - 10-К, 40на первые входы которых поступает остаток а числа А с выхода счетчика6. Тем самым обеспечивается считывание остатка а, от числа А, по модулю Р на выходы устройства и его запись на регистр множимого блока 15.Импульс с выхода формирователя 8 импульсов поступит через элемент ИЛИ 17на вычитающий вход второго слагаемого сумматора 7 и через элемент 11 за держки на первый вход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 16, Элемент 11 задержкирассчитан на задержку импульсов наодин такт. За это время...

Номер патента: 1033585

Опубликовано: 07.08.1983

Автор: Андреев

МПК: H01L 21/306

Метки: антимонидов, группы, раствор, травления, третьей, элементов

...0,4-0,5Вода ОстальноеНаличие в составе раствора изопропилового спирта позволяет повысить активность раствора. Это объясняется тем, что изопропиловый спиртпроявляет высокие поверхностно-активные свойства в связи с большой подвиж.ностью водорода гидроксильной группы.уменьшение концентрации изопропилового спирта приводит к значительному снижению скорости травления,а увеличение ведет к перерасходуреактива и снижению эффективностипроцесса травления.ФВведение фтористого натрия в количестве 0,4-0,5 вес, позволяетодновременно с повышением активности раствора стабилизировать процессхимического травления за счет окислительно-восстановительной реакцииМежду компонентами полупроводникаи азотной кислоты. Фтористый натрий в водном растворе...

Номер патента: 1611879

Опубликовано: 07.12.1990

Авторы: Горшков, Елисеева, Иванов, Тимофеевская

МПК: B01J 47/06, C02F 1/42

Метки: второй, группы, концентрированных, металлов, примесей, растворов, солей, щелочных, элементов

...свойства карбоксильных катионитов.Пример иллюстрирует влияние температуры на равновесные характеристики ионитов с карбоксильными обменными группами. Измеряют зависимостиот температуры концентрационных констант (К) равновесия обмена двухзарядных и однозарядных катионов:ФЕМеп Х ЮК ----6 ЮИл+ ХМе+где У и Х - эквивалентные доли соот 20 ветствующих ионов металлов в равновесных фазахкатионита и раствора,из раствора смеси 2,5 г-экв/л МаС 1 ++ 0,08 г-экв/л СаС 1 с рН 7-10 на ка 25 тионитах различной структуры, содержащих карбоксильные обменные группы.Температура слабо влияет на равновесные характеристики полиамфолитов:иминодиацетатного АНКБи винилпи 30ридинового с 0 Б-пиколиновыми группировками ВПК, а также карбоксильногокатионита на основе...