Травильный раствор
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1321048
Авторы: Захаров, Мананникова, Черпухина
Формула
ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий плавиковую кислоту, предельный спирт и азотсодержащее соединение, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки кварца, он содержит предельный спирт, выбранный из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый, а в качестве азотсодержащего соединения - диметилформамид при следующем соотношении компонентов, об. % :
Плавиковая кислота 40 - 60
Предельный спирт 10 - 40
Диметилформамид 10 - 40
Описание
Целью изобретения является повышение качества обработки кварца.
Вводимые компоненты, образуют комплексы с молекулами фтористоводородной кислоты, что способствует поверхностному травлению, уменьшая преимущественное проникновение фтористоводородной кислоты по дефектам вглубь кристалла, т. е. уменьшается неоднородность травления. Спирт выбирают из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый.
Перемешивание раствора способствует смене травителя и отводу продуктов реакции.
Травитель получают простым смешиванием в обычных условиях.
Полученные смеси используют для травления монокристаллического кварца с различными исходными по шероховатости поверхностями, Ra, мкм 0,02; 0,1; 0,16.
После травления пластин кварца на глубину 15 мкм получена шероховатость поверхностей, указанная в таблице.
Как видно из таблицы, у кварцевых пластин, предварительно прошедших шлифование порошком М-5 (Rа= 0,01 мкм) и М-10 (Rd= 0,16 мкм), после травления величина микронеровностей значительно уменьшается, а у полированных (Rd = 0,02 мкм) - увеличивается незначительно, т. е. травитель обладает полирующими свойствами.
(56) Авторское свидетельство СССР N 329690, кл. C 09 K 13/00, 1970.
Авторское свидетельство СССР N 628161, кл. C 09 K 13/06, 1976.
Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца. С целью повышения качества обработки кварца травильный раствор содержит, об. % : плавиковая кислота 40 - 60; предельный спирт, выбранный из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый, 10 - 40, диметилформамид 10 - 40. 1 табл.
Рисунки
Заявка
3928282/33, 16.07.1985
Захаров В. И, Мананникова Л. А, Черпухина Г. Н
МПК / Метки
МПК: C03C 15/00, C09K 13/08
Метки: раствор, травильный
Опубликовано: 30.05.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1321048-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления магниточувствительного полоскового элемента на основе тонкопленочного композитного магниторезистивного материала
Следующий патент: Способ подготовки образца из алмазного порошка
Случайный патент: Устройство для разделения грузов