Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси

Номер патента: 1137860

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Волынский, Гуржий, Дюнов, Елункина, Зотов, Иванов, Казакевич, Красовицкий, Лобов, Резниченко, Синчук, Татаринов

МПК: F25J 3/08, G05D 27/00

Метки: водорода, водородного, восстановления, кремния, непрерывной, отходящей, парогазовой, печей, полупроводникового, производстве, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости...

Номер патента: 1464638

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Иванов, Капралова, Лобов, Синчук, Соболева, Тимощенко, Шепель

МПК: F25J 3/08, G05D 27/00

Метки: водорода, непрерывной, парогазовой, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и распределении общего потока хладагента регенерированного водорода перед вводом его в очередной теплообменный аппарат на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу в зависимости от температуры конденсации компонентов регенерируемой парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени очистки регенерированного водорода, в поток регенерированного водорода, пропускаемого через теплообменник при температуре окружающей среды дополнительно вводят высокочистый водород,...

Номер патента: 1122836

Опубликовано: 07.11.1984

Авторы: Борзаковский, Евсеев, Соловьев, Старцев, Шабловский

МПК: E21F 5/00

Метки: парогазовой, пылеподавляющей, смеси

...в дополнительном трубопроводе.Иа фиг. 1 показана принцийиальная схема устройства для приготовления пыпеподавляющей смеси; на фиг, 2 - зависимости влагосодержания вых,лопных газов и запыленности воздуха.Устройство состоиг из барботаж ного бака 1 с патрубком 2 с отверстиями, соединенного с выхлопным коллектовомдвигателя внутреннего сго-; рания, расходного бака, трубопровода 4, соединяющего дно расходного. бака с дном барботажного, и дополнительного трубопровода 5 с встроенным в него терморегулятором 6, Средняя часть барботажного бака 1 соединека .трубопроводом 5 с дном расходного бака 3. Дно расходного бака 3 установлено на уровне средины барботажкого бака 1. К выхлопному отверстию 7 подсоединен трубопровод 8 для подачи пылеподавляющей...

Номер патента: 1489812

Опубликовано: 30.06.1989

Авторы: Ильвовский, Рабинович, Штраль

МПК: B01F 3/04

Метки: парогазовых, смесей

...- через штуцер 12 вывода, причем рубашка 31 охлаждения и штуцеры 11 и 12 укреплены в корпусе 28. На наружной трубке рубашки охлаждения 31 укреплен фланец 32 с гайкой 33, при помощи которых головка ввода 9 крепится в монтажном штуцере 8, Кроме того, головка 9 ввода включает в себя расположенную коаксиально с рубашкой 31 охлаждения капиллярную трубку 34 с входным штуцером 10 и выходным отверстием 35, которая укреплена одним своим концом в ниппеле 29, а другим - в наконечнике 36, причем наконечник прикреплен в наружной трубке рубашки 31 охлаждения.Устройство работает следующим образом.Блок 3, находящийся в слое термоизолятора 2, нагревается при помоши двух электронагревателей 5 до температуры, несколько превышающей температуру кипения...

Номер патента: 1640144

Опубликовано: 07.04.1991

Авторы: Иорудас, Курыгин, Светличный, Сухарев, Чикул

МПК: B04C 5/18, C10B 53/06

Метки: мелкозернистых, парогазовых, продуктов, разделения, смеси, частиц

...пылеспускного стояка 6. При этом через верхнюю трубу пь 5 леспус 1 сного стояка 6 вместе с пылью постоянно отсасывают до 10 Х поступаю- щих на очистку парогазовьгх продуктов и из нижней трубы 7 их сбрасывают Б объем камеры 1. 11 елкозернистое топли- во через патрубок 3 выводят из камеры 1 ф В табл,1 представлены данные содержания механических примесей в смо 1ле в зависимости от размера диаметраверхней трубы пылеспускного стояка,В табл.2 представлены данные содержания механических примесей в смоле Б зависимости от диаметра трубы 7.В табл.3 представлены данные содержания механических примесей в смоле в зависимости от глубины вводаверхней трубы пылеспускного стоякав трубу 7.Дальнейшее увеличение глубиныввода верхней трубы...