Шитя

Номер патента: 1086026

Опубликовано: 15.04.1984

Авторы: Боровинская, Бочко, Карюк, Кустов, Лященко, Маслов, Мержанов, Мошковский, Песоцкий, Шепинова, Шитя

МПК: C22C 14/00

Метки: абразивного, основе, титана, шихта

...ма териала 2 , содержащая углерод и кремний, имеющая следующий состав, мас.Е:Углерод 3-36Кремний 8-50Титан ОстальноеНедостатком известной шихты на основе титана для получения абраэивно", го материала являются низкие проиэнодительность шлифования пластин полупроводникового кремния (скорость съема 1 - 1,2 мкм/мин ) и качество поверхности шлифуемых полупроводникон 1,шероховатость 0,07=0,08 мкм) при использовании полученного из нее абразивного материалаЦелью изобретения является повышение производительности шлифования и качества поверхности шлифуемых по-. лупроводников.40Указанная цель достигается тем, что шихта на основе титана для получения абразинного материала, содержащая углерод и кремний, содержит компоненты при следующем...

Номер патента: 823147

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Кузнецов, Ременюк, Фомин, Шитя, Юшков

МПК: B28D 5/00

Метки: монокристаллическихполупроводниковых, резки, слитков

...слитки кремния длиной 100 мм, диаметром 60 мм, имеющие ориентацию торцовых поверхностей 001 и 111.Всего 39 слитков.С помощью стандартной рентгеноструктурной методики определяютположение в кристаллах плоскостей наилегчайшего скола, образующих с торцовыми поверхностями (которые совпадают с плоскостями реза) угол, наиболее близкий к 90 . Для слитков 15 с торцовыми поверхностями 001 - это плоскости типа 111, образующиеследы на торцах (плоскостях реза) в направлениях типа 110 и составляющие угол с плоскостью реза 90 (й 1 ). 2 О Для слитков с торцовыми поверхностями 111 -это плоскости типа 111, образующие следы на торцах (плоскостях реза) в направлениях типа 110 и сос 10 Количест- во порезанных пластин,шт Количество слитков, шт...