Патенты с меткой «монокристаллическихполупроводниковых»

Способ резки монокристаллическихполупроводниковых слитков

Загрузка...

Номер патента: 823147

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Кузнецов, Ременюк, Фомин, Шитя, Юшков

МПК: B28D 5/00

Метки: монокристаллическихполупроводниковых, резки, слитков

...слитки кремния длиной 100 мм, диаметром 60 мм, имеющие ориентацию торцовых поверхностей 001 и 111.Всего 39 слитков.С помощью стандартной рентгеноструктурной методики определяютположение в кристаллах плоскостей наилегчайшего скола, образующих с торцовыми поверхностями (которые совпадают с плоскостями реза) угол, наиболее близкий к 90 . Для слитков 15 с торцовыми поверхностями 001 - это плоскости типа 111, образующиеследы на торцах (плоскостях реза) в направлениях типа 110 и составляющие угол с плоскостью реза 90 (й 1 ). 2 О Для слитков с торцовыми поверхностями 111 -это плоскости типа 111, образующие следы на торцах (плоскостях реза) в направлениях типа 110 и сос 10 Количест- во порезанных пластин,шт Количество слитков, шт...