Шепинова

Номер патента: 1086026

Опубликовано: 15.04.1984

Авторы: Боровинская, Бочко, Карюк, Кустов, Лященко, Маслов, Мержанов, Мошковский, Песоцкий, Шепинова, Шитя

МПК: C22C 14/00

Метки: абразивного, основе, титана, шихта

...ма териала 2 , содержащая углерод и кремний, имеющая следующий состав, мас.Е:Углерод 3-36Кремний 8-50Титан ОстальноеНедостатком известной шихты на основе титана для получения абраэивно", го материала являются низкие проиэнодительность шлифования пластин полупроводникового кремния (скорость съема 1 - 1,2 мкм/мин ) и качество поверхности шлифуемых полупроводникон 1,шероховатость 0,07=0,08 мкм) при использовании полученного из нее абразивного материалаЦелью изобретения является повышение производительности шлифования и качества поверхности шлифуемых по-. лупроводников.40Указанная цель достигается тем, что шихта на основе титана для получения абразинного материала, содержащая углерод и кремний, содержит компоненты при следующем...