Семирунний
Способ сортировки поликристаллических корундовых подложек для свч-устройств
Номер патента: 1294226
Опубликовано: 15.09.1988
Авторы: Бархатов, Грязнова, Малышев, Плеханова, Поляков, Семирунний, Семко
МПК: H01L 21/66
Метки: корундовых, подложек, поликристаллических, свч-устройств, сортировки
...для подложек толщиной 10 и 1,010 м соответст венно в различныхмасштабах интервала25 дискретизации выборочных данных на отрезках одинаковой длины, Интервалыразбиения при построении гистограммвыбирались кратными удвоенной абсолютной ошибке измерения коэффициента светопропускания, равной 0,005с вероятностью 0,99.Полученные линейчатые гистограммы распрецеления выборочных данных-эУбо 1,0 1 О м (фиг,4,6); исходя изЗ 5 экспериментально обнаруженных интервалов смещения резонансных частотмикрополосковых фильтров, разбивались на три практически равные зо".ны изменения коэффициента пропуска 40 ния, аналогичные подложкам групп А,Б и В на фиг 1. Для подложек толщиной 0,5 1 О мсоответствующий интервал А охватывает значения коэффициентов...