Самыгина

Номер патента: 719398

Опубликовано: 07.05.1985

Авторы: Лепилин, Самыгина, Столичнов, Феофанова, Черняк

МПК: H01L 21/82

Метки: интегральных, мдп, схем

...второй и третьей фотолитографических операциях травления в среднем в два раза ниже, чемна первой, Помимо сказанного, лучшие результаты на первом травлении 10обусловлены возможностью визуального контроля травления по уменьшениюдиаметра пятна, соответствующегоневытравленной области пластины,При исчезновении пятна травление 15прекращают, вынимая пластину изтравителя, Яа следующих операцияхэта возможность отсутствует, таккак на пластине уже имеется рисунокпервого травления.Целью изобретения является снижение трудоемкости изготовленияи увеличение выхода годных интегральных схем.Поставленная цель достигается 25тем, что все окна в проводящем слоеполикристаллического кремния. вскрывают одновременно в одной операциифотолитографического...

Номер патента: 423206

Опубликовано: 05.04.1974

Авторы: Лепилин, Матвеев, Самыгина, Черн

МПК: H01L 21/48

Метки: интегральных, маркировки, схем, элементов

...известного способа являются сложность механических устройств для его 15 реализации, а также нанесение метки на полупроводниковом кристалле, из-за чего он целиком бракуется. Однако при изготовлении ряда приборов, например многоканальных коммутаторов на МОП-транзисторах, вы ход из строя одного канала не влияет на работоспособность остальных каналов, поэтому практически можно использовать все кристаллы, имеющие хотя бы один годный канал.25Предложенный способ маркировки элементов ицтегралы 1 ых схем отличается тем, что после измерения их электрических параметров риску наносят острием электроизмерительного зонда ца 11 оцтактцо 1 плонадке, соотВетствующей негодному элементу,Способ реалцзуется слсду 1 ощцм образом. Прп Обцаруже:1...