Ноженков

Номер патента: 1071665

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Воронин, Ноженков, Семенов

МПК: C23C 15/00

Метки: антифрикционных, покрытий

...условий получения антифрикционного покрытия, при60 которых обеспечивается плавный переход по составу от материала подслоя, состоящего целиком из переходного металла, до наружного слоя,состоящего из халькогенида этого переходного металла. Приложенный к подложке отрицательный потенциал смещения обеспечивает бомбардировку растущего покрытия ионами гаэораэряднойплазмы. В результате на подложке привыбранном потенциале смещения осаждается практически чистый переходнойметалл, а халькоген удаляется. Значение потенциала смещения, при которомэто становится возможным, зависит от величины энергии связи между металлом и халькогеном, В общем случае оно должно быть не менее пятикратной величины энергии связи переходный металл - халькогенид...