Нетовский
Способ получения карбида кремния
Номер патента: 138238
Опубликовано: 01.01.1961
Авторы: Вуколов, Гасик, Кравченко, Моргулев, Нетовский, Рагулина
МПК: C01B 31/36
...что обеспечивает уменьшение вредных примесей.Ведение процесса под вакуумом позволяет попутно улавливать и использовать отсасываемые горючие газы, выделяемые в процессе нагревания и образования карбида кремния.При осуществлении способа могут быть использованы электропечи сопротивления с горизонтальным расположенным рабочим сопротивлением (керном).Конструкция печи и способ загрузки ее шихтовыми материалами остаются за небольшим изменением отдельных деталей прежними. Загруженную шихтовыми материалами печь одним из известных способов вдвигают в вакуумную камеру. Вакуумная камера выполняется из металла и снабжается двумя герметически закрывающимися крышками (дверями) с герметически вмонтированными в них токопроводами. Камера внутри...