Накрышский

Номер патента: 723797

Опубликовано: 25.03.1980

Авторы: Накрышский, Овдин, Чернухин

МПК: C23C 13/00

Метки: маскирующего, покрытия, фотошаблона

...ние дефектности фотошаблона, п его разрешающей способности и стойкости,Достигается это тем, что в способе получения Маскирующего покрытия фото- шаблона путем ионно-плазменного распыления хромовой мишени распыление хрома проводят со скоростью 2,5- 5 нм/сек при ускоряющем напряжении на мишени 3,5-5 кВ.В процессе изготовления фотошаблонов минимальной шириной линии;.В4в Ф 1 Ф1Жв3Ф,Я 2 Ц 94с11 мкм на установке УРМЗ.279.014 нацу толщины, увеличению плотности стеклянные подложки размером 70 х 70 мм хрома в пленке и к увеличению связи ионно-плазменным распылением наносят пленки хрома с подложкой, пленку хрома толщиной 0,04-0,045 мкм. Таким образом, полученное маскиПо предлагаемому способу задается руюшее покрытие при малой толщине режим...