Патенты с меткой «маскирующего»

Номер патента: 723797

Опубликовано: 25.03.1980

Авторы: Накрышский, Овдин, Чернухин

МПК: C23C 13/00

Метки: маскирующего, покрытия, фотошаблона

...ние дефектности фотошаблона, п его разрешающей способности и стойкости,Достигается это тем, что в способе получения Маскирующего покрытия фото- шаблона путем ионно-плазменного распыления хромовой мишени распыление хрома проводят со скоростью 2,5- 5 нм/сек при ускоряющем напряжении на мишени 3,5-5 кВ.В процессе изготовления фотошаблонов минимальной шириной линии;.В4в Ф 1 Ф1Жв3Ф,Я 2 Ц 94с11 мкм на установке УРМЗ.279.014 нацу толщины, увеличению плотности стеклянные подложки размером 70 х 70 мм хрома в пленке и к увеличению связи ионно-плазменным распылением наносят пленки хрома с подложкой, пленку хрома толщиной 0,04-0,045 мкм. Таким образом, полученное маскиПо предлагаемому способу задается руюшее покрытие при малой толщине режим...

Номер патента: 1520676

Опубликовано: 07.11.1989

Авторы: Березин, Богданов, Браницкий, Дула, Ковалева, Кузьменков, Соколов, Соловьев, Шатохин

МПК: H05K 3/18

Метки: маскирующего, никелевого, покрытия, фотошаблонов

...примере 1 стеклянную пластинунаносили композицию, содержащую, мас . Е:Полибутилтитанат 2Хлорид палладия 0,02103-ный раствор30соляной кислоты 0,5Изоггропанол 97,48и сушили пр 120 С в течение 3 мин,Затем пластину с образовавшейся пленкой легированного хлоридом палладиягидрооксида титана, толщина которой35составила 0,01 мкм, обрабатывали,как в примере 1, в растворе гипофософита и никелировали при 70 С в течение 5 мин в растворе, содержащем:Нг.(СНСОО) 4 НО 3 г/.иНаНРО 2 НО 15 г/лСНзСООИа ЗН О 5 г/лСНСООН 2 млДо 1 л,45Промывку, судку и термообработкумаскирующего покрытия проводили, как.в примере 1. Эксплуатационные характеристики полученного покрытия былине хуже чем в примере 1.П р и м е р 3. На обработанную50как в примере 1 стеклянную...