Миркаримов

Номер патента: 1265889

Опубликовано: 23.10.1986

Авторы: Миркаримов, Пашкин, Пожаров, Хабибуллаев

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: анализа, газах, масс-спектрометрического, микропримесей

...и температура ней трального газа, электронная температура, концентрация заряженных частиц). Верхний предел ограничен искажениями измеряемых ионных токов,возникающими при столкновении между 15 ионами и нейтральными частицами впотоке газа через отверстие в выходной диафрагме масс-спектрометра.Конкретное значение давления внутри указанного интервала выбирается 20 исходя из того, что наибольшую точность дают измерения при Лл ре-рогде Л - характерный размер ЭРК (сточностью до постоянногокоэффициента, определяемогогеометрией ЭРК);Э - коэффициент диффузии йоново50при.единице давления.В этом случае оптимальное давлениеанализируемой смеси равно Э с Л хгде=1/1 сх- характерное времяреакциииона-реа-.гента с микропри-месью, с;к - константа...