Микишка

Номер патента: 1663061

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Веселы, Микишка, Слезак

МПК: C30B 25/08

Метки: газовой, затвор, реактора, эпитаксии

...манжетами и уплотнительной кромкой нижнего подшипника, Газораспределительная система выполнена так, что часть чистого газа поступает в пространство манжет штока, а оттуда через центр штока подложкодержателя в реактор, Манжеты штока не соприкасаются с агрессивными материалами, используемыми в процессе эпитаксии, и охлаждаются протекающим газом. Вторая часть газа подводится в зазор между экраном и фланцем и полностью пропаласкивается газом. Экран термоэкранирует фланец и обеспечивает подогрев верхней части подложкодержателя возвратным излучением. Это конструктивное решение позволяет использовать для уплотнения вращающихся валов дешевых и доступных манжет и одновременно препятстует осаждению продуктов реакции надэкраном, которые являются...

Номер патента: 1541689

Опубликовано: 07.02.1990

Авторы: Веселы, Микишка, Слезак

МПК: H01L 21/205

Метки: реактор, эпитаксиальный

...в рассеивателе диаметр отверстий в заслонке в два раза больше величины диаметра в рассеивателе, причем шаг расположения отверстий в заслонке меньше шага расположений отверстий рассеивателя на величину диаметра отверстия последнего, а выходной фланецснабжен трубчатым охладителем газов.На Фиг. 1 приведен эпитаксиальныйреактор, общий вид в Фронтальнойпроекции; а на Фиг. 2 - то же, в горизонтальной проекции; на фиг. 3входной Фланец, фронтальная проекция;на фиг. ч - то же, горизонтальнаяпроекция; на фиг. 5 - разрез А-А наФиг, .; на фиг, 6 - взаимное распо 1ложение рассеивателя и заслонки; наФиг. , - выходной фланец, фронтальная7проекция, на Фиг. 8 - сечение Б-Б наФиг. 7.Реактор содержит опорную системувходной фланец 2, кварцевую трубу 3,...