Касянин
Шихта на основе титана для получения мишеней преимущественно для ионно-плазменного напыления тонкопленочных резисторов
Номер патента: 1818864
Опубликовано: 15.05.1994
Авторы: Богатов, Бондарчук, Бунин, Касянин, Левашов, Мамян, Питюлин
Метки: ионно-плазменного, мишеней, напыления, основе, преимущественно, резисторов, титана, тонкопленочных, шихта
...готовят шйхту состава: 72 Т+4 С+24ство веществ, чем суммарно высокодиспер В, Термопрочность мишени 4. ТКС пленкисные соответствующйе порошки сажи и 5,О х 10 1/К, временная нестабильностьаморфного бора. Использование, в шихте 0,75.порошков карбида и диборида титана.по- П р и и е р 4. В условиях прототипазволяет повысить йористость мишеней доготовят шихту 57 Т+ 17 Сг+ 16 С+10-150 ь, что приводит к повышению термо 10 Й. Термопрочность мишени составпрочности ляла 2 цикла до разрушения. ТКС пленки,Отклойение состава шихтй за указан-: 9 х 10, временная нестабильность 1,2.ные пределы приводит к нарушению состава синтезированных продуктов и; П р и м е р 5. В условияхпримера 1ухудшению электрофизических характери готовят шихту состава 75 Т+ 9...