Гридчина

Номер патента: 845680

Опубликовано: 15.04.1987

Авторы: Гридчина, Сухов

МПК: H01L 21/205

Метки: кремния, пленок, поликристаллического

...проводят с тжиг в течение5-20 мин и диращивание п:ецки цо тре -буемой толщины при температуре царащи -вания затравочтого слоя 3 тттт Ьт)"т ат,т К р (,т 3 1 13 тт ГГ т З И:";Р.т Я Г Я (Т ЯЦР 13Ож1тт ,3 гтттттт;т(ттт " тт" тт г. -т Ц, тЬг" )3 г Г1, ) 1т Т "1 Р т т т11Х Рт:7;)( (И а 1 ЛИ а И г 3, 1; ( тт.3"г Р -Р 333 М ЗГ( ИР ЕЦК ) Р( ".:13 Гт:3 Ц(М ". РтР;)17 г;О.т,т:т" ,Г Г(т ЯЦЯЮ 7 Г Я 1 (г гИ (тг Г"Гт.т1 (тдг:Г 3 Мт)Ь.Г Иата Ь 1 а 3 Т РИИ Г ;в 13 ц ц(г(Х)ти; ЛЛ 51 Т 1 ИТбтт ( - Р 1" ТИ 7 1 (Ц У Ц(1 КЭИГТа тгти.т(.КГ -И К)ГМИИ я 1 НРбх 5 ИМИЙ ТИ(тт 33 т, ,аРГ"ц 1ЦКИ 1.1 3 й (Тгтпитт Т 1 Ь)Р го тле(; У)т тг)И тЕЕ 3 Г ; Ра т)Ц(тт(т,Гт г,3 т( ( , ( т, т 1 ггтг"51 ст) 3(Й Г ч 13:.(тттт 7 т К г Рг( ,"3 г 33;И тЕПИТап. 3 гтг3(пттни тРг)гти...