Герчановская

Номер патента: 853589

Опубликовано: 07.08.1981

Авторы: Ванюрихин, Верещак, Герчановская

МПК: G02B 27/30

Метки: автоколлиматор, интерференционный

...Кестерса со светодедитедьнай гранью 4. Входная и вьиодная грани призмы3 обозначены соответственно 5 а и 55. Нв 25грань 6 призмы 3, обращенную к вращающемуся контролируемому объекту, нанесено отражающее покрытие с двумя прозрачными окнами 7, симметричными относительно светоделитедьной грани 4, На контроли руемом объекте, симметрично относительно грани 4, жестко закреплены двв идентичных приэменных отражателя 8, например триппель-призмы. Со . стороны выходной грани 5 а призмы 3 установлено приемко-регистрирующее устройство, котороевключает линзу 9, диафрагму 10, фотоприемник 11 и регистратор 12.А и Б - равные по величине потоки света,подученные делением иэдучения светоделительной гранью 4- база интерференционного авго- .коддимвтора.Принцип...

Номер патента: 693176

Опубликовано: 25.10.1979

Авторы: Ванюрихин, Герчановская

МПК: G01N 21/40

Метки: пластины, фазовой, эллипсометрического

...поворота анализатора до ф гашения света, по их полусумме можно получить точное значение разности Фаз (толщина), вносимой фаэовой пластиной.693176 Формула изобретения Составитель В. Иванюк а Техред Ч.фанта КорректорРедактор С ницкая Заказ 6064 Тираж 1073 ПодписноеИПИ Государственного комитета СССпо делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д./5 3 илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектн Па чертеже показана схема одного из вариантов эллипсометра - эллипсометра с четвертьволновым компенсатором Сенармона.Эллипсометр содержит источник излучения 1, поляризатор 2, исследуемую фазовую пластину 3, четвертьволновый компенсатор Сенармона 4, модулятор 5, анализатор 6, фоторегистрирующую систему 7.П р и м е р. На пути светового луча...